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Pfeiffer Vacuum ASI 35 Betriebsanleitung
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Pfeiffer Vacuum ASI 35 Betriebsanleitung

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BETRIEBSANLEITUNG
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Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum ASI 35

  • Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG Übersetzung der Originalanleitung ASI 35 Modulares Lecksuchgerät...

  • Seite 2: Inhaltsverzeichnis

    Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis Zu dieser Anleitung ..........5 1.1 Gültigkeit .
  • Seite 3 Inhaltsverzeichnis 6.1.7 Fenster „Fließbild“ ........36 6.1.8 Fenster „Messung“...
  • Seite 4 Anhänge ............89 12.1 Spezifische Besonderheiten ASI 20 MD / ASI 30 / ASI 35 ... . 89...

  • Seite 5: Zu Dieser Anleitung

    Zu dieser Anleitung Zu dieser Anleitung 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Be- triebsanleitung beschreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung er- folgt nach den geltenden EU-Richtlinien.

  • Seite 6: Konventionen

    1.2 Konventionen 1.2.1 Sicherheitshinweise Die in den Handbüchern für Produkte von Pfeiffer Vacuum enthaltenen Sicherheitshin- weise richten sich nach den Zertifizierungsnormen UL, CSA, ANSI Z-535, SEMI S2, ISO 3864 und DIN 4844. Das vorliegende Dokument gibt Auskunft über folgende Gefahren-...

  • Seite 7: Piktogramme

    Zu dieser Anleitung 1.2.2 Piktogramme Verbot einer Handlung oder Tätigkeit im Zusammenhang mit einer Ge- fahrenquelle, deren Missachtung zu schwerwiegenden Unfällen führen kann Warnung vor der mit dem Piktogramm dargestellten Gefahr Gebot einer Handlung oder Tätigkeit im Umgang mit einer Gefahren- quelle, deren Missachtung zu schwerwiegenden Unfällen führen kann 1.2.3 Enthaltene Anweisungen/Abkürzungen oder...
  • Seite 8 Zu dieser Anleitung Zeigt an, ob die Ethernet-Option im Produkt ins- HLD1302577 - RS232 talliert ist, zeigt die MAC-Adresse an. MAC address XXXXXX / None Network MAC address xx:xx:xx:xx:xx:xx / None Den Service Center vorbehalten. Pu_GL : 1 Pu_N : 1 Mu_GL : 12856 Mu_N : 31 Mu_Cal : 1 Mu_LDS : 1800...

  • Seite 9: Sicherheit

    Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Sicherheitsmaßnahmen Informationspflicht Die für die Installation, Bedienung oder Wartung des Produkts zuständige Person muss die in dieser Betriebsanleitung beschriebenen Sicherheitshinweise gelesen haben und sie befolgen. Es obliegt dem Betreiber, sämtliche Bediener über die mit diesem Produkt, den ge- pumpten Flüssigkeiten oder der gesamten Anlage einhergehenden Gefahren aufzu- klären.

  • Seite 10: Schutzausrüstung

    Sicherheit WARNUNG Gefahren im Zusammenhang mit den verschiedenen Stromquellen Der Stromkreis sowie die Druckkreise (z. B. Stickstoffkreis) stellen durch ihre Energie potenzielle Gefahrenquellen dar. Diese Energiequellen sind vor jedem Eingriff in das Gerät zu verriegeln. WARNUNG Risiken in Verbindung mit Prozessgasen Die Lecksuche ist in einer für den Bediener und das Gerät sicheren Umgebung durch- zuführen.

  • Seite 11: Bestimmungsgemäße Verwendung

    Sicherheit WARNUNG Verbrennungsgefahr Die Produkte sind so ausgelegt, dass normalerweise keine Gefährdung des Benutzers durch Hitze auftreten kann. Unter bestimmten Betriebsbedingungen können jedoch Temperaturen entstehen, die besondere Aufmerksamkeit erfordern (Oberflächen > 70 °C bei an den Innenseiten der Abdeckungen angebrachten Teilen). Vor dem Eingriff am Gerät abwarten, bis es abgekühlt ist.

  • Seite 12: Transport Und Lagerung

    Transport und Lagerung 3 Transport und Lagerung Vergewissern Sie sich bei der Annahme der Lieferung, dass das Produkt während des Transports nicht beschädigt wurde. Sollte das Produkt beschädigt sein, setzen Sie sich mit dem Spediteur in Verbindung und informieren Sie den Hersteller. Wir empfehlen in jedem Fall: Das Produkt in seiner Originalverpackung zu belassen, damit es in dem sauberen Zu- stand bleibt, in dem es von unserem Werk ausgeliefert wurde, und es erst am endgül-...
  • Seite 13 Transport und Lagerung ● Zum Transportieren des Lecksuchgeräts wurde der Hebel des Steuerventils entfernt: der Hebel befindet sich in der Verpackung mit dem Lecksuchgerät (Charge mit den Teilen 2, 3 und 4). Zur Entfernung des Blindflansches ist das Anbringen des Hebels nicht nötig.

  • Seite 14: Produktbeschreibung

    4.1 Produktidentifikation Informationen zur eindeutigen Identifizierung des Produkts und zur Kontaktaufnahme mit Pfeiffer Vacuum finden Sie auf dem Typenschild des Produkts. Dieses Typenschild ist auf dem Lecksuchmodul abzulesen (2 Aufkleber: 1 an der Seite der Anschlussöffnung und 1 am Gestell des Moduls).

  • Seite 15: Lecksuchmodul

    Produktbeschreibung ● Das Lecksuchmodul und die Elektronikbox sind je nach gewählter Option durch 2 Ka- bel von 1,5 m/3,5 m/5 m/10 m angeschlossen. ● Die Elektronikbox und die industrielle Steuereinheit (Option/Zubehör) sind je nach ge- wählter Option mit einem Kabel von 1,8 m/5 m/10 m angeschlossen. 4.2.1 Lecksuchmodul Spektrometerzelle Eintrittsöffnung des Lecksuchgeräts –...

  • Seite 16: Industrielle Steuereinheit (Option / Zubehör)

    Produktbeschreibung 4.2.3 Industrielle Steuereinheit (Option / Zubehör) Beschreibung: Markierung A (siehe 4.3). 4.3 Schnittstellen-Anschlüsse START STAND-BY INPUTS/OUTPUTS SERIAL PROFINET INPUTS/OUTPUTS SERIAL PROFIBUS DP-V1 Abb. 2: Schnittstelle Mensch/Maschine Industrielle Steuereinheit Anschluss für die Standard-Fernbedie- SD-Karte nung Anschluss Buzzer (separat zu bestellen) Elektronikbox Anzeige-LED Lecksuchgerät eingeschal- USB-Anschluss (USB)

  • Seite 17: Testmethoden

    Produktbeschreibung Abb. 2: Schnittstelle Mensch/Maschine 37-poliger E/A D-Sub-Stecker (INPUTS / Schalter / Sicherungsautomat OUTPUTS) (3)(4)(5) RS-232-Anschluss (SERIAL) Lecksuchmodul 15-poliger D-Sub-Stecker für Elektronik- Einlässe des Lecksuchgeräts (Ansaugöffnung) boxkabel / Vakuumblock (siehe 4.2.1) 25-poliger D-Sub-Stecker für Elektronik- Anschluss für die Standard-Schnüffelsonde boxkabel / Vakuumblock ( 2) Anzeige-LED 24 V vorhanden Anschluss für die Smart-Schnüffelsonde...
  • Seite 18 Produktbeschreibung Die gemessene Leckrate ist keine exakte Messung des Lecks. da die Schnüffelsonde nur einen Teil des Prüfgasstroms auffängt, der aus dem Teil entweicht. Dieser ist abhän- gig von der Entfernung zwischen der undichten Stelle und der Spitze der Sonde sowie der Lage der Undichtigkeit zur Sonde.

  • Seite 19: Installation

    Installation 5 Installation 5.1 Befestigung der unterschiedlichen Module Abmessungen der 3 Module (siehe 11.3). Die Zeichnungen der einzelnen Module sind in der CD-Rom und der Betriebsanleitung enthalten. WARNUNG Gefahr in Verbindung mit dem Einbau in die Ausrüstung Dieses Produkt ist ein Lecksuchgerät für den Einbau. Es muss in eine Ausrüstung ein- gebaut werden: es kann nicht alleinstehend verwendet werden, zum Beispiel auf einer Werkbank.

  • Seite 20: Elektronikbox

    Installation ● Das Nutzvolumen zur Integration ist mit der Option/dem Zubehör Schnüffeln größer: die Abmessungen entnehmen Sie bitte der Betriebsanleitung für die Option/das Zu- behör Schnüffeln. HINWEIS Belüftung des Lecksuchgeräts Bei unzureichender Belüftung besteht die Gefahr einer Schädigung von Komponenten durch Überhitzung: Umgebungstemperatur einhalten.
  • Seite 21 Installation Abb. 5:Einsetzen der Befestigungslaschen ● Das Lecksuchgerät wird mit einem Blech für die Befestigung der Elektronikbox in ei- ner Halbrackbucht geliefert (eine Zeichnung des Blechs ist in der CD-Rom der Be- triebsanleitung enthalten). Abb. 6:Elektronikbox mit Halbrackblech Vorsichtsmaßnahmen für die Befestigung des Bedienfelds und der Elektronikbox in 1 Rackformat: Gut: die Elektronikbox und das industrielle Bedienfeld müssen getrennt in der Anlage des Kunden befestigt werden.

  • Seite 22: Industrielle Steuereinheit

    Installation Füße An die Elektronikbox sind 4 Gummifüße geschraubt. Sie dienen der Positionierung auf der Box auf einem Tisch. Diese 4 Füße können an andere Seiten der Elektronikbox ge- schraubt werden. Abb. 8:Befestigungspunkte der Füße Lüftung Die Elektronikbox ist mit einem internen Lüfter ausgestattet, der mit einem Schutzfilter außen verbunden ist.
  • Seite 23 Installation Die Zeichnungen der industriellen Steuereinheit sind in der CD-Rom und der Betriebs- anleitung enthalten. SD-Karte Die Steuereinheit wird mit einer SD-Card geliefert. Für das Entnehmen/Einsetzen der SD-Card einen feinkantigen nicht-metallischen Gegenstand verwenden. Befestigung Der Plan für ein Blech zur Befestigung einer Elektronikbox in 1 Rackformat ist auf der CD-Rom der Betriebsanleitung verfügbar (die Anfertigung dieses Blechs geht auf Kosten des Kunden).

  • Seite 24: Anschließen Des Prüflings Oder Der Anlage

    Verbindungen werden in diesem Kapitel beschrieben. ASI 35 8+18 7+17 6+17 5+17 5+17 Abb. 10:Fließbild des Lecksuchmoduls ASI 35 Spektrometerzelle 17 Blindflansch DN 16 ISO-KF Internes Kalibrierleck 18 Blindflansch DN 25 ISO-KF Turbomolekularpumpe SplitFlow 50 für die Kalibrierventil...

  • Seite 25: Anschluss Am Grobleckeinlass

    Installation HINWEIS Gefahr einer Verunreinigung durch Feststoffe Bei Vorhandensein von Partikeln wird empfohlen, den Einlass des Lecksuchgeräts zu schützen. Einen Einlassfilter einbauen (siehe Zubehör Kapitel). GEFAHR Explosionsgefahr. Für die Suche nach Lecks mit 'Wasserstoff' als Prüfgas ist unbedingt hydriertes Stick- stoffgas (Gemisch aus 95 % N und 5 % H ) zu verwenden.

  • Seite 26: Anschluss An Die Normallecköffnung

    Installation ASI 35 8+18 7+17 6+17 Abb. 11:Fließbild Anschluss des Grobleckmodus Eintrittsöffnung DN 16 ISO-KF des Lecksuch- 13 Testventil 1 (Grobleckmodus) geräts – Grobleckmodus 10 Installation des Kunden 14 Vorevakuierungsventil 11 Gepumpter Bereich oder Raum 16 Vorpumpe (separat zu bestellen) 12 Pumpenaggregat ●...

  • Seite 27: Anschluss An Den Feinleckeinlass

    5.2.6 Anschluss an den Feinleckeinlass ● Die Installationsanweisungen müssen befolgt werden (siehe 5.2.3). ● Technische Daten (siehe 11.2). ● Hohe He-Pumpgeschwindigkeit. ● Sehr gute Empfindlichkeit. ASI 35 7+17 6+17 5+17 Abb. 13:Fließbild Anschluss des Feinleckmodus Eintrittsöffnung DN 16 ISO-KF des Lecksuch- Eintrittsöffnung DN 25 ISO-KF des Lecksuchge-...

  • Seite 28: Anschluss Im Schnüffeltestmodus

    Installation ASI 35 7+17 Abb. 14:Fließbild Anschluss Grobleck, Normal und Feinleck Eintrittsöffnung DN 16 ISO-KF des Lecksuch- Eintrittsöffnung DN 16 ISO-KF des Lecksuch- geräts – Grobleckmodus geräts – Feinleckmodus Eintrittsöffnung DN 16 ISO-KF des Lecksuch- Eintrittsöffnung DN 25 ISO-KF des Lecksuch- geräts –...

  • Seite 29: Anschluss Des Auslasses

    Installation WARNUNG Gefahren in Zusammenhang mit einer unsachgemäßen elektrischen Installation Der Betreiber trägt die Verantwortung für den sicheren Betrieb nach der Installation. Das Produkt ist an eine den lokalen Sicherheitsvorschriften entsprechende Anlage anzuschließen. Das Produkt darf nicht selbst umgebaut oder verändert werden. Wenden Sie sich bei konkreten Anfragen an Ihr ServiceCenter.

  • Seite 30: Einstellen

    Installation Abb. 15:Anschluss der Messröhre Installation des Kunden Zu prüfendes Teil oder zu prüfender Raum Messröhre Pumpenaggregat Vorevakuierungsventil (V PREV Testventil 1 (V TEST1 Testventil 2 (V TEST2 Testventil 3 (V TEST3 Vorumpe 10 Vakuum-Modul 11 Elektronikbox 12 37-poligen E/A Option 5.5.2 Einstellen 3 einstellbare Schwellenwerte ermöglichen jeweils das Schalten eines Relaisausgangs.

  • Seite 31: Einstellung Des Atmosphärischen Drucks Und Des Grenzdrucks

    Installation Abb. 16:Aktivierung der Relais 5.5.3 Einstellung des atmosphärischen Drucks und des Grenzdrucks Beziehen Sie sich auf die mit der verwendeten Messröhre gelieferte Anleitung. 5.6 Erste Inbetriebnahme Überprüfen, ob die Vorpumpe des Kunden an das Lecksuchgerät angeschlossen ist und unter Spannung steht. Den Anschluss mit dem Netzkabel (im Lieferumfang enthalten) an das Stromnetz anschließen.

  • Seite 32: Betrieb

    Betrieb 6 Betrieb 6.1 Steuereinheit Die industrielle Steuereinheit im Halbrackformat ist als Option oder als Zubehör erhält- lich. Sie ist über eine Schnittstelle mit dem Lecksuchgerät verbunden und ermöglicht: – die Anzeige von Informationen zum Test – das Aufrufen der verfügbaren Funktionen –...

  • Seite 33: Kontrast - Helligkeit - Bildschirm-Energiesparmodus

    Betrieb "Weiße" Taste: Taste nicht programmierbar, zeigt Informationen Taste "Messwert": Anzeige der gemessenen Leckrate Pfeiltasten zum Blättern in Menüs Aufrufen des Störungs-/Warnungsfensters Ausgewählter Wert programmierbar Tasten für die Programmierung von Werten Zur nächsten Funktion/Anzeige/Einstellung Zurück zur vorherigen Anzeige Zurück zur vorherigen Anzeige und Bestätigen der Änderungen Zurück zur vorherigen Anzeige ohne Bestätigen der Änderungen Ausgewählte Datei löschen Einstellung eines...

  • Seite 34: Anwendungsfenster

    Betrieb 6.1.3 Anwendungsfenster Folgende Bildschirminhalte dienen als Beispiel: die Anzeige kann je nach Lecksuchgerät und den Parametern variieren. Abb. 18: Beispielhafte Darstellung der einzelnen Fenster 1 Fenster „Standard“ (Begrüßungsanzeige) Informationen zum laufenden Test 2 Fenster „Grafik“ Analyse und Aufzeichnung der Leckrate und/oder des Eingangsdrucks 3 Fenster 'Fließbild' Prinzipschaltbild des Lecksuchgeräts und Zustand der Ventile 4 Fenster 'Einstellungen'...

  • Seite 35: Fenster 'Standard

    Betrieb 6.1.4 Fenster 'Standard' Informationen zum Test: bei der Durchführung eines Tests am häufigsten aufgerufene Anzeige. Ziffernanzeige der Leckrate (grün ≤ Schaltpunkt Dicht/Undicht < rot) Balkenanzeige der Leckrate (Skala einstellbar) Status des Lecksuchgeräts und Testmodus Zugang zu Fehlermeldungen Anzeige für Stummschaltung Anzeige für Belüftung (außer ASI 30/35) Balkenanzeige des Spektrometerdrucks Einheit der Leckrate...

  • Seite 36: Fenster „Grafik

    Betrieb 6.1.6 Fenster „Grafik“ Analyse und Aufzeichnung der Leckrate und/oder des Eingangsdrucks. 1 Löschen/Anzeigen/Speichern eines Verlaufs 2 Verlauf der Prüfgas-Leckrate (rot) 3 Skala der Prüfgas-Leckrate (rot) 4 Zeitachse 5 Skala des Einlassdrucks (blau) 6 Verlauf des Einlassdrucks (blau) 7 Anzeigen/Ausblenden des Fensters "Messen" (siehe 6.1.8) ASI 30/35: Verlauf des Eingangsdrucks (6) = 10 kontinuierlich, wenn kein Druckmess- gerät angeschlossen ist.

  • Seite 37: Funktionstasten

    Betrieb Abb. 20: Taste [Messung] und entsprechendes Fenster 5 Anzeige für aktivierte Korrekturfunktion der Leckrate 6.1.9 Funktionstasten Die Funktionstasten werden verwendet, um Funktionen einzuleiten bzw. zu beenden und Schaltpunkte einzustellen (siehe 7.7.2). Durch die Belegung der Funktionstasten ist es möglich, dem Bediener nur bestimmte Funktionen zugänglich zu machen.

  • Seite 38: Starten Eines Testzyklus

    Betrieb 6.3.2 Starten eines Testzyklus 2 Testmethoden sind möglich: Vakuumtest oder Schnüffeltest (siehe 4.4). Vakuumtest Bereiten Sie den Prüfling auf den Test vor (siehe 4.4.1). Als Testmethode ’Vakuumtest’ auswählen (siehe 7.4.1). Das Lecksuchgerät in den Stand-by-Betrieb schalten. Im Stand-by-Betrieb entspricht die angezeigte Leckrate dem Untergrund des Lecksuch- geräts.

  • Seite 39: Speichern Und Laden Der Konfiguration Des Produkts

    Es werden alle Geräteeinstellungen heruntergeladen, mit Ausnahme der folgenden Pa- rameter, die vom Bediener konfiguriert werden müssen: – Sprache – Serielle Verbindung (außer ASM 310) – Datum und Uhrzeit – Temperatureinheit (außer ASI 35) – Druckeinheit. Kalibrierung 6.7.1 Zweck Durch die Kalibrierung wird überprüft, dass das Lecksuchgerät die für die Messung des gewählten Prüfgases und die Anzeige der richtigen Leckrate erforderliche Einstellung...

  • Seite 40: Kalibrierlecks

    Betrieb 6.7.2 Kalibrierlecks Jedes Kalibrierleck wird mit einem Eichzertifikat geliefert. Internes Kalib- Externes Kali- Mindestwert Maximalwert rierleck brierleck ≈ 1·10 mbar·l/s 1·10 mbar·l/s ≈ 1·10 Pa·m 1·10 Pa·m ≈ 3·10 mbar·l/s 1·10 mbar·l/s ≈ 3·10 Pa·m 1·10 Pa·m ≈ 5·10 mbar·l/s 1·10 mbar·l/s...

  • Seite 41: Kalibrierung Maschine

    Betrieb ●Modus = identisch mit dem für die Verbindung mit dem Lecksuchgerät genutzten An- schluss (Beispiel: Verbindung über den Normal-Anschluss -> ’Normal’-Modus aus- gewählt) (siehe 5.2). ●Testmethode = Vakuum (siehe Menü Test) ●Art des Kalibrierlecks = extern (siehe Menü Spektro) ●Kalibrierung = Bediener (siehe Menü...

  • Seite 42: Kalibrierung Mit Einer Parallel Geschalteten Pumpeneinheit

    Betrieb Überprüfen, ob das Lecksuchgerät sich im Stand-by-Betrieb befindet. Funktionstaste [Autokal] drücken, um die Kalibrierung zu starten. Folgen Sie den Anweisungen, die das Lecksuchgerät anzeigt: [Vor] drücken, um zum nächsten Schritt weiterzugehen. Am Ende der Kalibrierung wechselt das Lecksuchgerät wieder in den Stand-by-Betrieb. 6.7.6 Kalibrierung mit einer parallel geschalteten Pumpeneinheit Ist das Lecksuchgerät an eine Anlage mit eigener Pumpeneinheit angeschlossen, wird lediglich ein Teil des Lecks durch das Lecksuchgerät gemessen.
  • Seite 43 Betrieb Artikelnummer des Adapters (siehe 10). Die folgenden Parameter sind zu überprüfen (bei Bedarf korrigieren): ●Testmethode = Schnüffeltest (siehe Menü Test) ●Art des Kalibrierlecks = Ext. Schnüffeltest (siehe Menü Spektro) ●Kalibrierung = Bediener (siehe Menü Extras) Das Prüfgas für das externe Kalibrierleck auswählen (siehe Menü Spektro). Parameter und Wert des verwendeten externen Kalibrierlecks kontrollieren (siehe Menü...

  • Seite 44: Dynamische Kalibrierung

    Betrieb Schnüffelsonde an das Lecksuchgerät anschließen (siehe 6.7.4). Halten Sie die Schnüffelsonde in die Konzentration. Das Lecksuchgerät kann in den Stand-by-Betrieb oder den Schnüffeltest geschaltet sein. Funktionstaste [Autokal] drücken, um die Kalibrierung zu starten. Folgen Sie den Anweisungen, die das Lecksuchgerät anzeigt: [Vor] drücken, um zum nächsten Schritt weiterzugehen.

  • Seite 45: Erweiterte Einstellungen

    Erweiterte Einstellungen 7 Erweiterte Einstellungen 7.1 Fenster „Grafik“ Das Fenster „Grafik“ durch wiederholtes Drücken von aufrufen. 7.1.1 Beschreibung Analyse und Aufzeichnung der Leckrate und/oder des Eingangsdrucks. Abb. 23:Fenster „Grafik“ 1 Löschen/Anzeigen/Speichern eines Verlaufs 2 Verlauf der Prüfgas-Leckrate (rot) 3 Skala der Prüfgas-Leckrate (rot) 4 Zeitachse 5 Skala des Einlassdrucks (blau) 6 Verlauf des Einlassdrucks (blau)

  • Seite 46: Aufzeichnung

    Erweiterte Einstellungen Beispiel: Leckrate = 5·10 Pa·m /s (5·10 mbar·l/s) ● automatische Skala von 2 Dekaden: Skala von 1·10 bis 1·10 Pa·m (1·10 bis 1·10 mbar·l/s) ● automatische Skala von 4 Dekaden: Skala von 1·10 bis 1·10 Pa·m (1·10 bis 1·10 mbar·l/s) Aufzeichnung Drücken Sie auf [Aufzeichnung].

  • Seite 47: Löschen Der Grafik

    Erweiterte Einstellungen Wird der Speicher bei einer laufenden Aufzeichnung voll (kein Platz mehr vorhanden), wird die Aufzeichnung automatisch beendet. Statt der Taste [Aufzeichnen] erscheint die Taste [Sp voll]. 7.1.4 Löschen der Grafik Aktuelles Fenster Fenster „Grafik“ anzeigen (siehe 7.1.1). Drücken Sie auf [Löschen] (1) und bestätigen Sie die Meldung. Die laufenden oder bereits abgeschlossenen Aufzeichnungen werden durch das Lö- schen des aktuellen Fensters nicht gelöscht.
  • Seite 48 Erweiterte Einstellungen Der zu vergrößernde Bereich kann geändert werden, indem Sie die Ecken oder Kanten mit den Fingern ziehen. Zoom rückwärts Zoom rückwärts steht nur bei Aufzeichnungen zur Verfügung. Den zu reduzierenden Bereich ((1) dann (2)) festlegen: Rückkehr zur ursprünglichen Grafik.

  • Seite 49: Speichern Einer Aufzeichnung

    Erweiterte Einstellungen 7.1.6 Speichern einer Aufzeichnung Mit dieser Funktion kann die letzte Aufzeichnung für eine erneute Anzeige oder Analyse am PC auf der SD-Karte gesichert werden. Die Sicherung erfolgt nicht automatisch. Sie haben die Möglichkeit, eine Bildschirmkopie der Aufzeichnung (.bmp) zu speichern oder eine Datei (.txt) mit allen Messwerten anzulegen.

  • Seite 50: Baumstruktur Der Menüs „Einstellungen

    Erweiterte Einstellungen 7.2.1 Baumstruktur der Menüs „Einstellungen“ Die folgende Tabelle zeigt die ursprüngliche Einstellung der Parameter des Lecksuchge- räts. Beim Ausschalten des Lecksuchgeräts bleiben alle gespeicherten Werte und Para- metereinstellungen für die nächste Inbetriebnahme erhalten. Sie können verschiedene Konfigurationen des Lecksuchgeräts speichern und in das Ge- rät laden (siehe 7.8.13).
  • Seite 51 Erweiterte Einstellungen SPEKTRO Auswahl Auswahl - Grenze Werkseinstellun- des Einstellbe- reichs Prüfgas Helium 4 / Helium 4 Helium 3 / Wasserstoff Verwendeter Heizfaden 1 / 2 Heizfaden Aus / Ein Zustand Heizfaden 0 - 100 % 100 % Kalibrierleck Prüfgas Helium 4 / Helium 4 Helium 3 /...
  • Seite 52 Erweiterte Einstellungen WARTUNG Auswahl Auswahl - Grenze Werkseinstellun- des Einstellbe- reichs Information Pumpen HV-Pumpe 1 Status Drehung Synchro Drehzahl (min TMP-Information Zugang zu allgemei- nen Informationen Ereignisspeicher Vakuum Kalibrierverlauf Vakuum Letzte Wartung Wartungsarbeit 1 Datum Anz. Stunden Inspektion durch Wartungsarbeit 2 Datum Anz.
  • Seite 53 Erweiterte Einstellungen KONFIGURATION Auswahl Auswahl - Grenze Werkseinstellun- des Einstellbe- reichs Bildschirmeinstellun- Helligkeit Hoch / Niedrig Hoch Kontrast 0 - 100 Schlafmodus Ohne/ Ohne 15 min / 30 min / 1 h / 2 h / Funktion Paging Ohne Fernbedienung RC 500 WL verbunden - Ohne Fernbedienung RC 500 WL verbunden Aus / Ein...
  • Seite 54 Erweiterte Einstellungen VORWÄRTS Auswahl Auswahl - Grenze Werkseinstellun- des Einstellbe- reichs Lecksuche Startverzögerung 0 - 1 h 1 Min. 30 Sek. Druckmesser des Messröhre TPR / PCR / TPR / PCR Lecksuchgeräts LINEAR Position Standard Standard Max. Maßstab (mbar) (wenn 'linear') 0.1 - 50000 1000 Externe Messröhre...
  • Seite 55 Erweiterte Einstellungen VORWÄRTS Auswahl Auswahl - Grenze Werkseinstellun- des Einstellbe- reichs Eingang/Ausgang Serielle Schnittstelle 2 Typ Not used / Anybus Anybus (E/A 15-polig, wenn Parameter Betriebsart wenn Pro- Profibus / Profinet / Profibus Profibus / Profinet) fibus Ethernet/IP wenn Pro- Profinet finet Zustand...
  • Seite 56 Erweiterte Einstellungen VORWÄRTS Auswahl Auswahl - Grenze Werkseinstellun- des Einstellbe- reichs Eingang/Ausgang E/A Stecker Quick View E/A konfiguriert auf 37-poli- gen Anschluss (E/A 37-polig, wenn Option) Analoger Output 37-gnd Zuwei- Siehe BA für 37-poli- Mantissa sung ge E/A-platine Wert Nach Zuweisung 36-gnd Zuwei- Logarithmisch...

  • Seite 57: Menü Schaltpunkte

    Erweiterte Einstellungen VORWÄRTS Auswahl Auswahl - Grenze Werkseinstellun- des Einstellbe- reichs Eingang/Ausgang E/A Stecker Digitale Relais- 5 - 24 Zuwei- Siehe BA für 37-poli- Drücken Sie spt # 1 (37-poliger E/A, wenn Ausgänge sung ge E/A-platine Option) Aktivie- NO / NC rung 4 - 23 Zuwei-...

  • Seite 58: Funktion Verseuchung

    Erweiterte Einstellungen – Schließen Sie entweder einen Kopfhörer oder Lautsprecher (maximale Leistung: 0,5 W) an den Ausgängen des 15-/37-poligen Steckverbinders an (siehe Betriebsanlei- tung 15- oder 37-poliger E/A). – Oder schließen Sie einen Buzzer an der Steuereinheit an (siehe 5.1.3). Der Kopfhörer, Lautsprecher oder Buzzer sind separat zu bestellen.

  • Seite 59: Schaltpunkt Dicht/Undicht Für Vakuumtest

    Erweiterte Einstellungen Drücken Sie im Fenster „Einstellungen“ auf [Schaltpunkte]. Untergrund Max Die Funktion aktivieren. Anzuwendenden Schaltpunkt einstellen. 7.3.4 Schaltpunkt Dicht/Undicht für Vakuumtest Der Schaltpunkt Dicht/Undicht für den Vakuumtest legt die Akzeptanzschwelle für im Va- kuumtest „akzeptierte/zurückgewiesene“ Teile fest: – Gemessene Leckrate ≤ Schaltpunkt Dicht/Undicht: Teil akzeptiert –...

  • Seite 60: Zusätzlicher Druck-Schaltpunkt

    Erweiterte Einstellungen 7.3.7 Zusätzlicher Druck-Schaltpunkt Bei einer Ausstattung der Anlage mit einem externen Messgerät (separat zu bestellen), können 3 zusätzliche Druck-Schaltpunkte durch Eingänge/Ausgänge parametriert und verwaltet werden (siehe Betriebsanleitung 37-poliger E/A) (siehe 5.5): – Druck-Schaltpunkt 1: Schwellwert der Umschaltung in den Grobleckmodus –...

  • Seite 61: Testmodus

    Erweiterte Einstellungen Drücken Sie im Fenster „Einstellungen“ auf [Lecktest]. Korrektur Vakuum / Die Anwendung des Korrekturfaktors aktivieren. Den anzuwendenden Korrekturfaktor einstellen, sofern dieser bekannt ist. Korrektur Schnüffel- Ist dieser nicht bekannt, klicken Sie ab der Funktionstaste [Korrektur]auf [Au- test to Kor]: Berechnung des anzuwendenden Korrekturfaktors und automatische Anwendung.

  • Seite 62: Memo-Funktion

    Erweiterte Einstellungen Drücken Sie im Fenster „Einstellungen“ auf [Lecktest] [Testzyklus Ende]. Testende Die Funktion aktivieren. Funktion aktiviert bei Einstellung auf 'automatisch'. Zeit Vorevak. Optionale Einstellung bei Einstellung auf 'automatisch'. Automatische Steuerung der Dauer der Vorevakuierung aktivieren. (wenn Vakuum- Die maximal zulässige Zeit für die Vorevakuierung einstellen. test) Wenn der Lecktest bei Erreichen der maximal zulässigen Dauer immer noch in Vore- vakuierung läuft, wird der Test abgebrochen und das Teil verworfen.

  • Seite 63: Menü Spektro

    Erweiterte Einstellungen Wir empfehlen, diese Funktion zu verwenden, wenn ein großer und stabiler Prüf- gas-Untergrund vorhanden ist. Durch diese Funktion ermöglicht die Messung ei- ner Leckrate von kleiner als: – 2 Dekaden im Vakuum-Testmodus: 5·10 Pa·m /s (5·10 mbar·l/s) maximal. –...

  • Seite 64: Kalibrierleck

    Erweiterte Einstellungen Heizfaden Gibt an, ob der verwendete Heizfaden gezündet ein-oder ausgeschaltet ist, bei ein- geschaltetem Lecksuchgerät. Zustand Heizf. Leistungsindikator der Spektrometerzelle. Werkseinstellung: zwischen 90 % und 100 % Normalbetrieb: zwischen 10 % und 100 % Durch die normale Abnutzung an einigen Zellbestandteilen wird dieser Wert im Laufe der Zeit reduziert, ohne dass dabei die Messgenauigkeit des Lecksuchgeräts beein- trächtigt würde.

  • Seite 65: Lecksuchgerät

    Gibt die Betriebsdauer der Pumpe seit der letzten Rücksetzung des Zählers an. Intervall Wert des Zählers einstellen. Bei Erreichen des eingestellten Werts wird eine Informationsmeldung angezeigt. Zähler zurück- Drücken Sie [Zähler zurücksetzen] , um den Zähler zurückzusetzen. setzen Hochvakuumpumpe 1: MDP 5011 (ASI 30) - SplitFlow 50 (ASI 35)

  • Seite 66: Information Messeinheit

    Erweiterte Einstellungen 7.6.3 Information Messeinheit Abb. 38: Information Messeinheit 1 Einlassdruck 2 Schaltpunkt Dicht/Undicht der aktuellen Testmethode 3 Liste der aktivierten Funktionen 4 Wartung der Vorpumpe oder der Hochvakuumpumpe 5 Kalibrierungsinformationen 6 Informationen über die Firmware des Lecksuchgeräts. Um diese Informationen schnell über die Steuereinheit aufrufen zu können, kann eine Funktionstaste mit [Information] belegt werden (siehe 7.7.2).

  • Seite 67: Kalibrierverlauf

    Erweiterte Einstellungen Datum und Uhrzeit des Ereignisses Beschreibung des Ereignisses Ereignis = Fehler (Exxx) oder Warnung (Wxxx) oder Ereignis (Ixxx) Liste der Fehler und Warnungen: siehe Liste der Warnungen/Störungen in der War- tungsanleitung. Liste der Ereignisse: Code Ereignis Beschreibung I300 Lufteinlass Lufteinlass I301...

  • Seite 68: Menü Optionen

    Erweiterte Einstellungen 7.7 Menü Optionen Drücken Sie im Fenster „Einstellungen“ auf [Optionen]. 7.7.1 Zeit – Datum – Einheit – Sprache Die Aktualisierung dieser Einstellungen wird bei der ersten Inbetriebnahme des Leck- suchgeräts automatisch angefordert: die Einstellungen können später jederzeit geändert werden.

  • Seite 69: Anwendungsfenster

    Erweiterte Einstellungen Abb. 40: Zweck der Zuweisung Auswahl der Funktion 'Korrektur' (1) mit den Pfeiltasten Abb. 41: Auswahl der Funktion Die Funktionstaste [Modus] (2) durch mehrmaliges Drücken auswählen (ausgewähl- te Taste ist weiß hinterlegt). Abb. 42: Auswahl der Funktionstaste Einstellung bestätigen (3): die Funktionstaste (2) besitzt jetzt die Funktion [Korrek- tur].
  • Seite 70 Erweiterte Einstellungen 1 Reihenfolge der angezeigten Fenster bei Drücken der Taste 2 Anwendungsfenster „Standard“ wird immer angezeigt 3 Verfügbare Fenster 4 Anzeigen/Ausblenden des Anwendungsfensters Die Reihenfolge der Fenster kann verändert werden: Nummer für die Reihenfolge berüh- ren (Beispiel: [3.]) und zum Auswählen der neuen Stelle mit den Tasten verändern, anschließend bestätigen.

  • Seite 71: Bildschirmeinstellungen

    Erweiterte Einstellungen Drücken Sie im Fenster „Einstellungen“ auf [Konfig.] [Anwendungsfenster] [Param. Stan- dardfenster] [Balkenanzeige]. Zoom Grenzwert Aktivieren des Zooms auf den Grenzwert. Mit der Funktion Zoom Grenzwert kann der Schaltpunkt Dicht/Undicht auf 2 Dekaden zentriert auf der Balkenanzeige angezeigt werden. Skalenanfang Einstellen des Skalenanfangs der Balkenanzeige.
  • Seite 72 Erweiterte Einstellungen Passwort ändern Drücken Sie im Fenster „Einstellungen“ auf [Optionen] [Zugang/Passwort]. Geben Sie das Passwort (standardmäßig '5555') ein und bestätigen Sie es. Drücken Sie [Passwort ändern]. Geben Sie das neue Passwort ein und bestätigen Sie. Das Passwort wird in der Steuereinheit gespeichert.Wenn ein Passwort verges- sen wurde, kann es mit RS-232 wieder gefunden werden: siehe RS-232 Betriebs- anleitung.
  • Seite 73 Erweiterte Einstellungen ● Funktionstasten verborgen. ● Einlassdruck und Zelldruck verborgen. ● Taste gültig. ● Gemessene Leckrate und Schaltpunkt Dicht/Undicht nur im Lecktest angezeigt. Abb. 50: Anzeige bei mittlerer Zugriffsberechtigung Bei eingeschränkter oder mittlerer Zugriffsberechtigung kann kurzzeitig auf 6 Me- nüs im Fenster „Einstellungen“ zugegriffen werden, um eine Einstellung vorzu- nehmen.

  • Seite 74: Menü Extras

    Erweiterte Einstellungen Drücken Sie [Autorisierung]. Ändern der Zugriffsberechtigung: siehe oben für Informationen zu den Zugriffsbe- schränkungen der verschiedenen Berechtigungsstufen. Änderung der Zugriffsberechtigung durch einen Bediener mit voller Zugriffsbe- rechtigung. Drücken Sie im Fenster „Einstellungen“ auf [Optionen] [Zugang/Passwort]. Geben Sie das aktuelle Passwort (standardmäßig '5555') ein und bestätigen Sie es. Drücken Sie [Autorisierung].

  • Seite 75: Lecksuche: Externe Messröhre

    Erweiterte Einstellungen Einstellen Drücken Sie im Fenster „Einstellungen“ auf [Erweitert] [Lecksuche] [Druckmessung des Lecksuchers]. Messröhre Keine automatische Erkennung der Messröhre bei Anschluss. Wählen Sie den Typ der externen Messröhre aus. Max. Maßstab Nur für lineare Messung (mbar) Einstellen des Betriebsbereichs der Messröhre: auf der Messröhre angegebe- nen Wert verwenden.

  • Seite 76: Lecksuche: Spektrometerzelle

    Erweiterte Einstellungen ● Verwendung der externen Messröhre zur Übernahme des Drucks des Lecksuchge- räts: –Der externen Druckmesssung einen Analogausgang des 37-poligen E/A-Steckers zuordnen: siehe Betriebsanleitung der 37-poligen E/A-Schnittstelle. Mögliche Messröhren ● Das Messgerät und das Kabel sind separat zu bestellen. ●...
  • Seite 77 Erweiterte Einstellungen HINWEIS Kalibrierung des Lecksuchgeräts 20 Minuten nach der Spannungszuschaltung ist es zur optimalen Nutzung des Leck- suchgeräts erforderlich, eine Kalibrierung des Lecksuchgeräts durchzuführen. Darüber hinaus muss eine weitere Kalibrierung ● mindestens einmal am Tag durchgeführt werden, ● um die Messgenauigkeit bei Feinlecktests zu optimieren, ●...

  • Seite 78: Lecksuche: Dynamische Kalibrierung

    Erweiterte Einstellungen Häufigkeit Einstellen der Schaltpunkte (Zyklen und Uhrzeiten), bei denen eine Überprüfung der Kalibrierung ausgelöst wird. Die erste erreichte Schwelle löst die Überprüfung aus. Um diese Funktion über die Steuereinheit aufzurufen, kann eine Funktionstaste mit [Kontrolle Kal] belegt werden. Eine Überprüfung der Kalibrierung kann auch jederzeit vom Bediener gestartet werden: 2 Mal innerhalb von weniger als 5 Sekunden die Funktionstaste [AUTO- KAL] drücken, wenn sich das Lecksuchgerät im Stand-by-Betrieb befindet.

  • Seite 79: Signalverarbeitung

    Erweiterte Einstellungen Der berechnete Koeffizient muss zwischen 0,5 und 3 betragen. Im gegenteiligen Fall er- scheint eine Fehlermeldung. Den Test anhalten und die Funktion Memo deaktivieren (Logikeingang oder RS). Koeffizientenberechnung der dynamischen Kalibrierung anhalten. Beispiel: Zielwert = 1,0 · 10 Wert der anzupassenden angezeigten Leckrate: 5,0·10 1,0·10 Koeffizient = ------------ = 2...

  • Seite 80: Menü Eingang/Ausgang

    Erweiterte Einstellungen In den meisten Fällen ist eine stabile Signalverarbeitung zu empfehlen. Eine schnelle Signalverarbeitung ist für Anwendungen mit sehr kurzer Zykluszeit sinn- voll: z. B. bei dynamischen Messungen mit automatisierten Lecksuch-Systemen. 7.8.9 Menü Eingang/Ausgang Drücken Sie im Fenster „Einstellungen“ auf [Extras] [Eingang/Ausgang]. 7.8.10 Eingang/Ausgang: Serielle Schnittstellen #1 und #2 Drücken Sie im Fenster „Einstellungen“...

  • Seite 81: Eingang/Ausgang: E/A Stecker

    Verwendung Fernbedienung mit Kabel (Modell RC 500). HLT 5xx Protokoll zur Unterstützung des Protokolls der Lecksuchgeräte HLTxxx. Liste der Befehle des mit dem ASM 340/ASI 35 kompatiblen Protokolls. (Siehe Betriebsan- leitung für die RS-232-Schnittstelle). HLT 2xx Protokoll zur Unterstützung des Protokolls der Lecksuchgeräte HLT 2xxx.

  • Seite 82: Service

    Erweiterte Einstellungen Jede im Handel erhältliche SD-Karte mit beliebigem Speicherplatz kann verwen- det werden, außer Karten mit Hochkapazitätstechnologie. Achten Sie darauf, dass die SD-Karte nicht schreibgeschützt ist (Meldung „SD- Karte nicht gefunden“ wird angezeigt). 7.8.14 Service Zugriff auf das Menü Service mit Passwort. Nur für die Service-Center.

  • Seite 83: Wartung / Austausch

    Wartung / Austausch 8 Wartung / Austausch HINWEIS Haftungsausschluss Pfeiffer Vacuum übernimmt keine Haftung für Personen- oder Sachschäden, die auf- grund unsachgemäß ausgeführter Wartung entstehen. Der Haftungs- und Gewährleis- tungsanspruch erlischt. 8.1 Wartungsintervalle und -zuständigkeiten Die am Lecksuchgerät durchzuführenden Wartungsarbeiten werden in der Wartungs- anleitung des jeweiligen Produkts beschrieben.

  • Seite 84: Service

    Transportbedingungen einschicken. Bei Fehlen bzw. Unvollständigkeit der Erklärung zur Kontaminierung und/oder dem Ein- satz einer nicht geeigneten Transportverpackung, behält es sich Pfeiffer Vacuum vor eine kostenpflichtige Dekontamination durchzuführen und/oder das Produkt zu Lasten des Versenders wieder zurück zu schicken.

  • Seite 85: Zubehör

    Zubehör 10 Zubehör Benennung Bestell-Nr. Standard-Schnüffelsonde Siehe Herstellerkatalog Pfeiffer Vacuum Verlängerung für Standard-Schnüffelsonde (10 m) 090216 Smart-Schnüffelsonde (3 m) BG 449 207 -T Smart-Schnüffelsonde (5 m) BG 449 208 -T Smart-Schnüffelsonde (10 m) BG 449 209 -T Helium 4 Kalibrierleck Siehe Herstellerkatalog Pfeiffer Vacuum Adapter für externes Kalibrierleck DN 25 ISO-KF...

  • Seite 86: Technische Daten Und Maßbilder

    Technische Daten und Maßbilder 11 Technische Daten und Maßbilder 11.1 Allgemeines Grundlagen für die technischen Daten der Lecksuchgeräte Pfeiffer Vacuum : ● Technische Daten nach Norm: –AVS 2.3: Verfahren zum Kalibrieren von Gasanalysegeräten des Typs Massenspek- trometer. –EN 1518: Zerstörungsfreie Prüfung. Dichtheitsprüfungen. Charakterisierung von massenspektrometrischen Lecksuchgeräten.

  • Seite 87: Maße

    Technische Daten und Maßbilder Gewicht Industrielle Steuereinheit (Option 1,3 kg / Zubehör) 11.3 Maße Lecksuchmodul Elektronikbox 1 Abnehmbare Füße (siehe 5.1.2) 2 Abnehmbare Befestigungslasche (nicht montiert, mit dem Lecksuchgerät mitgeliefert) (siehe 5.1.2)
  • Seite 88 Technische Daten und Maßbilder Industrielles Bedienfeld (Option oder Zubehör) 1 Das Kabel ist nicht mit dem industriellen Steuereinheit eingebaut.

  • Seite 89: Anhänge

    Anhänge 12 Anhänge 12.1 Spezifische Besonderheiten ASI 20 MD / ASI 30 / ASI 35 ASI 20 MD ASI 30 ASI 35 Elektronikbox 1 Stromkasten Niedrigspannung und 1 Strom- 1 Einheitskasten für mehrere Spannungen kasten Hochspannung Vorderseite des Rackformats 19”...

  • Seite 90: Konformitätserklärung

    Verantwortlicher für die technischen Beschreibungen ist Herr Arnaud FAVRE, Pfeiffer Vacuum SAS [vereinfachte Aktiengesellschaft], 98, avenue de Brogny · B.P. 2069, 74009 Annecy cedex. ASI 35 Bestell-Nr. Sxxx0x0xMM9A (x ist eine Option des Konfigurators) Harmonisierte Normen und angewendete, nationale Normen und Spezifikationen:...

  • Seite 91: Kompetenz In Theorie Und Praxis

    VAKUUMLÖSUNGEN AUS EINER HAND Pfeiffer Vacuum steht weltweit für innovative und individuelle Vakuumlösungen, für technologische Perfektion, kompetente Beratung und zuverlässigen Service. KOMPLETTES PRODUKTSORTIMENT Vom einzelnen Bauteil bis hin zum komplexen System: Wir verfügen als einziger Anbieter von Vakuumtechnik über ein komplettes Produktsortiment.

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