Überwachung Des Betriebszustands; Ausschalten Und Fluten - Pfeiffer Vacuum HiPace 10 Betriebsanleitung

Betrieb
6.4 Überwachung des Betriebszustands
Betriebsanzeige über
LED
Temperaturüberwa-
chung
6.5

Ausschalten und Fluten

Ausschalten
20
LEDs an der Antriebselektronik zeigen grundlegende Betriebszustände der Turbopumpe
an. Eine differenzierte Fehler- und Warnungsanzeige ist nur bei Betrieb mit DCU oder
HPU möglich.
LED Symbol Dauer Aus
Grün keine ausreichende
Spannungsversor-
gung
Gelb keine Warnung
Rot kein Fehler
Bei unzulässiger Motortemperatur oder unzulässig hoher Gehäusetemperatur wird die
Antriebsleistung reduziert. Dies kann zum Unterschreiten des eingestellten Drehzahl-
schaltpunktes und damit zum Abschalten der Turbomolekularpumpe führen.
Nach dem Ausschalten ist die Turbopumpe zu fluten, um Verunreinigungen durch zu-
rückströmende Partikel aus dem Vorvakuumbereich zu vermeiden.
 Vorvakuum schließen: Vorpumpe ausschalten oder Vorvakuumventil schließen.
 Turbopumpe am Bediengerät oder über Fernbedienung ausschalten.
 Pumpe hochvakuumseitig in minimal 5 s auf Atmosphärendruck fluten.
Blitzen Blinken
(1/12 s aktiv) (1/2 s aktiv)
Pumpstand "AUS" Pumpstand "AUS"
Drehzahl ≤ 1Hz
Drehzahl > 1 Hz
Dauer Ein
Pumpstand "EIN"
Warnung
Fehler