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Verunreinigung der Vakuumkammer durch Rückströmung von Betriebsmittel
Nach dem Abschalten der Vakuumpumpe besteht die Gefahr von Verunreinigung des angeschlosse-
nen Vakuumsystems durch Rückströmungen.
► Fluten Sie die Vakuumkammer unabhängig von ihrer Größe innerhalb von 30 Sek.
► Sperren Sie die Ansaugleitung, bei längerem Flutvorgang nach dem Abschalten der Vakuum-
pumpe, mit einem zusätzlichen Absperrventil ab.
Drehschieberpumpen der HenaLine haben auf der Ansaugseite ein integriertes Rückschlagventil. Das
Rückschlagventil schließt beim Abschalten der Vakuumpumpe selbsttätig und vermeidet so die Rück-
strömung von Gas und Betriebsmittel in die Ansaugleitung.
Vorgehen
1. Schalten Sie die Vakuumpumpe bei Bedarf in jedem Druckbereich aus.
2. Trennen Sie den Steuereingang bzw. trennen Sie die Antriebselektronik sicher vom Netz.
3. Verwenden Sie ein zusätzliches Absperrventil in der Ansaugleitung zur Aufrechterhaltung des Va-
kuums in der Vakuumkammer.
4. Ziehen Sie das Netzkabel und trennen Sie die Vakuumpumpe von der Netzversorgung.
HINWEIS
Betrieb
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