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5-7. 原点検出位置
50
×
BS65-160R
BS65-260R
BS65-360R
BS65-460R
BS65-560R
BS65-660R
BS65-760R
BS65-860R
BS65-960R
12
中央
LN
50
×
RN
L
スケール全長L (mm)
原点数
196
3
296
5
396
7
496
9
596
11
696
13
796
15
896
17
996
17
6. 仕様
項
有
効
最 大 測 定 長
全
精 度 (20 ℃にて)
繰 返 精 度 (2σ)
も ど り 誤 差
位
原
繰 返 精 度
点
方
LN
RN
温 度 膨 張 係 数
1
1
使 用 温 度 範 囲
2
2
保 存 温 度 範 囲
3
3
ケ ー ブ ル 長
4
4
光
5
5
検
出
方
6
6
7
7
8
8
付属品
9
7
基準プレート
スペーサ
スケールクランプ
六角穴付ボルト M4×8
六角穴付ボルト M5×40
平座金 (呼び4)
平座金 (呼び5)
ケーブルクランプ
小ネジ
M4×8
原点マスクラベル
取扱説明書
精度表
目
BS65-R
長
160/260/360/460/560/660/760/860/960 mm
有効長＋10 mm (左右各5 mmずつ)
長
有効長＋36 mm
0.1＋0.4 L/100 µm p-p (＜460)
3 µm p-p (≧460)
L＝有効長 (mm)
0.05 µm (BD60接続時)
0.05 µm (BD60接続時)
置
中央および中央から左右へ50 mmごと
±0.1 µm
向
片方向
8×10
−6
10∼30 ℃ (結露不可)
−10∼50 ℃
3 m
源
半導体レーザ (インクリ, 原点各1)
式
回折格子走査式
有 効 長
160
260
360
460
1
1
1
1
2
2
4
4
3
4
5
6
8
10
12
14
2
2
2
2
8
10
12
14
2
2
2
2
1
1
1
1
1
1
1
1
5
5
10
10
1
1
1
1
1
1
1
1
℃
−1
560
660
760
860
960
1
1
1
1
1
6
6
8
8
10
7
8
9
10
11
16
18
20
22
24
2
2
2
2
2
16
18
20
22
24
2
2
2
2
2
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
10
15
15
20
20
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
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