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スケールユニット / Scale Unit/ Skaleneinheit
BS65-R
お買い上げいただき、ありがとうございます。
ご使用の前に、この取扱説明書を必ずお読みください。
お読みになった後は、後日お役に立つこともございますので、必ず保管してください。
Read all instructions carefully use.
To make full use of the unit's functions, read this manual through carefully, and keep it
properly for future references.
Lessen Sie diese Anleitung bitte aufmerksam und vollständig durch, um sich mit den
Funktionen und dem Betrieb des Geräts gut vertraut zu machen, und heben Sie die
Anleitung danach zum späteren Nachlesen griffbereit auf.
レーザスケール / LASERSCALE
取扱説明書 / Instruction Manual/ Bedienungsanleitung
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Kapitel
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Verwandte Anleitungen für Sony LASERSCALE BS65-Serie
Inhaltszusammenfassung für Sony LASERSCALE BS65-Serie
- Seite 1 スケールユニット / Scale Unit/ Skaleneinheit BS65-R お買い上げいただき、ありがとうございます。 ご使用の前に、この取扱説明書を必ずお読みください。 お読みになった後は、後日お役に立つこともございますので、必ず保管してください。 Read all instructions carefully use. To make full use of the unit's functions, read this manual through carefully, and keep it properly for future references. Lessen Sie diese Anleitung bitte aufmerksam und vollständig durch, um sich mit den Funktionen und dem Betrieb des Geräts gut vertraut zu machen, und heben Sie die Anleitung danach zum späteren Nachlesen griffbereit auf.
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Seite 3: Inhaltsverzeichnis
目 次 1. 特 長 ................2 このたびは、レーザスケールをお買上げいただき、まことに ありがとうございます。 本取扱説明書をよくお読みいただき、本品を十分ご活用いた 2. 使用上の注意事項 ............2 だければ幸いです。 3. 各部の名称 ..............3 一般的注意事項 4. 取付け上の注意事項 ............4 4-1. 取付けにあたって ............4 以下は当社製品を正しくお使いいただくための一般的注 4-2. 取付け時に準備するもの ........... 4 意事項です。個々の詳細な取扱上の注意は、本取扱説明 4-3. 取付けの前に ............... 5 書に記述された諸事項および注意をうながしている説明 4-3-1. 補正値について ............ 5 事項に従い、正しくお使いください。... -
Seite 4: 使用上の注意事項
1. 特長 2. 使用上の注意事項 ■ マグネスケール並みの扱い易さと信頼性。 • スケールユニットに使用している半導体レーザの波長 ■ 光波干渉計 (レーザ測長器) 並みの高精度、高分解能。 は可視帯域から外れた790 nm、最大出力は10 mWで ■ 温度・気圧・空気の乱れに左右されない安定測長。 す。 ■ 検出精度 (内挿誤差)、繰返し精度、ヒステリシス誤差が • スケールヘッドから出る光は目には見えませんが人体 いずれも1/100ミクロンオーダの超高精度測長。 に有害ですので、検出ヘッド部のカバーは絶対に取り 外さないでください。 光が漏れる可能性がありますので、通電時にスケール挿 入部分を覗き込まないでください。また､スケｰル以外の 物を差し込むことは絶対に行なわないでください。 • スケールには、それぞれ固有のスケールピッチの補正 値が記入されたラベルが 貼られています。ご使用前に 必ずこの値を接続する表示ユニットまたはインターポ レータに 設定してください。(5ページをご参照くださ い。) • スケールユニットのコネクタプラグには静電気保護用 キャップが付いていますので、表示ユニットまたはイン ターポレータ接続時まで取り外さないでください。... -
Seite 5: 各部の名称
3. 各部の名称 取付ネジ (六角穴付ボルトM5×40) 平座金 (呼び5) 検出ヘッド部 スケール 基準プレート 取付ネジ (六角穴付ボルトM4×8) スライダ スケールクランプ 平座金 (呼び4) コネクタプラグ 小ネジ (M4×8) ケーブルクランプ スペーサ ヘッドケーブル 補正値ラベル スライダ スケール コネクタプラグ ケーブルクランプ... -
Seite 6: 取付け上の注意事項
4. 取付け上の注意事項 4-1. 取付けにあたって 4-2. 取付け時に準備するもの • スケ−ルと検出ヘッドは組合せて調整されています。複数 測定器 個のスケールユニットを取扱われる場合は、必ず同一梱包 • てこ式ダイヤルゲージ ............. 1台 内の組合せでご使用ください。万一スケールと検出ヘッド (2/1000 mmまたは1/1000 mm目盛りのもの) の組合せが分からなくなった場合は、包装カートンに記載 されているNo.でご確認ください。 • ダイヤルゲージスタンド ..........1台 • 取付位置 (アッベ誤差) と周囲の環境 (温度, 湿度, 振動, 塵 • オシロスコープ ..............1台 挨) について十分ご検討ください。 2現象 X-Y表示可能なもの • 検出ヘッドのケーブルは動力線と同一ダクトに通さないで 入力感度... -
Seite 7: 補正値について
4-3. 取付けの前に 4-3-1. 補正値について 4-3-2. 補正値のセット方法 スケールのホログラム格子ピッチP は約0.55 μmですが、 表示ユニット (BRシリーズ) またはインターポレータ (BDシ 検出信号ピッチP は原理的にこの1/4の約0.14 μmです。こ リーズ) 取扱説明書の「補正値の設定」の項をご覧くださ い。 の値はスケールごとに若干の違いがあります。そのため、正 確な移動量を得るためには各スケール固有のピッチ補正を加 注意 える必要があります。 表示ユニット (BRシリーズ) およびインターポレータ (BDシ 補正値とは20 ℃温度下でのスケールユニット固有の検出ピッチ リーズ) の補正値は出荷時オールゼロが設定されています。 ＝ 0.1379 ` ` ` ` μm の下4桁を表します。 この状態ではアラームが出力されご使用になれません。必ず ご使用前に必ずスケールの補正値を表示ユニットまたはイン... - Seite 8 5. 取付け・調整方法 次の手順で行なってください。 (詳細は該当ページをご参照ください。) 5-1. 取付面の準備 ........................6 5-2. スケールの取付け ......................7 5-3. スライダの取付け ......................9 5-4. 信号調整 ........................... 10 5-4-1. 信号調整準備 ......................10 5-4-2. アジマス調整 ......................10 5-5. 取付け・調整終了 ......................11 5-1. 取付面の準備 1 取付面の範囲 (図中斜線部) と面精度を確認してください。 型名 2 取付けネジ座標の精度を確認してください。 BS65-160R −...
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Seite 9: スケールの取付け
5-2. スケールの取付け 2 スケールクランプを図のように取付けネジを用い、がた 1 用意された取付面にほこり等が無いことを確認後、基準 がある程度 (仮締めから1∼2回転戻す程度) にセットし プレートを下図のようにマシンガイドに対し平行に取付 ます。 けます。 (締め付けトルク 1.4N･m) 図中、左側が基準穴となっています。てこ式ダイヤル BS65-160R, 360R, 560R, 760R, 960R ゲージで平行度の確認を行ないながら右側で調整してく ださい。 M4×8 基準プレート 平座金 (呼び4) BS65-160R, 360R, 560R, 760R, 960R スケールクランプ M4×8 (2本) 平座金 (呼び4) スペーサ 突き当て基準面 BS65-260R, 460R, 660R, 860R BS65-260R, 460R, 660R, 860R M4×8 基準プレート... - Seite 10 4 スケールをスケールクランプと取付面の間に挿入し、突 5 スケールを熱的に安定化させるために、この状態で１時 き当て基準面に軽く押し当てます (注意)。基準面に押し 間以上放置してください。 当てながら図に示すスケールクランプ (2個使いのものは 6 残りのスケールクランプをA→B→A････の順序で交互に 左側) の取付ネジをA→B→A･･･の順序で交互に少しずつ 締め付けていきます。 少しずつ締め付けます。 (最終締付けトルク 1.4 N･m) (最終締付トルク 1.4 N･m) BS65-160R, 360R, 560R, 760R, 960R BS65-160R, 360R, 560R, 760R, 960R BS65-260R, 460R, 660R, 860R BS65-260R, 460R, 660R, 860R 注意 スケールを基準面に突き当てるときは、下図左のように基準...
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Seite 11: スライダの取付け
5-3. スライダの取付け 1 取付ける機械のテーブルを移動させ、スケールのほぼ中 7 両端にスケールクランプを同様に締め付けます。 央位置にスライダの取付け中央位置を合わせます。 (最終締め付けトルク 1.4 N･m) 2 スライダを付属の取付ネジにより仮止めします。 BS65-260R, 460R, 660R, 860R スライダ取付ネジ (六角穴付ボルトM5×40) 平座金 (呼び5) スケール スペーサ スケールクランプ スライダ BS65-360R, 560R, 760R, 960R スペーサ 8 スケール面に油や塵挨の付着がないことを確認します。 汚れがある場合は、アルコールを含ませたガーゼで拭き 取ります。... -
Seite 12: 信号調整
5-4. 信号調整 5-4-1. 信号調整準備 5-4-2. アジマス調整 表示ユニット (BRシリーズ) またはインターポレータ (BDシ 下図に示したような方向をアジマス方向と呼ぶことにしま リーズ) とスケールユニットBS65-Rを接続します。 す。スライダの向きを調整すると、規定値 (振幅1.6 Vp-p) 以 上の安定した出力信号を得ることができます。 1 スケールユニットのヘッドコネクタ部静電気保護用 キャップを取り外し、表示ユニットまたはインターポ レータの HEAD INに接続します。 注意 • コネクタピンには絶対に手を触れないでください。静 電気により内部の電気部品が壊れる恐れがあります。 輸送時などコネクタを接続しないときは、必ず保護 キャップを取付けてください。 アジマス方向 • ヘッドコネクタの着脱は、必ずインターポレータの電 アジマス方向 源を切ってから行なってください。 1 スライダ取付ネジをゆるめます。 2 表示ユニットまたはインターポレータのシグナル調整部 のカバーを外します。 2 左右どちらか一方のネジを締め付けて支点とし、スライ ダを図のように回転させ、リサージュの振幅が最大とな 3 オシロスコープのCH1プローブをS (SIN) とG (GND) に... -
Seite 13: 取付け・調整終了
5-5. 取付け・調整終了 5-6. 内蔵原点について 1 レーザスケールスケールユニットの光学式内蔵原点は一 ケーブルを付属のケーブルクランプと小ネジ (M4×8) で固 定します。 方向原点を採用しています。したがって、スケールとス ライダの相対的な移動方向で、原点検出を下図のとおり スケール 行なってください。 (逆方向で原点検出を行なうと原点精度が悪化します。) 標準仕様の場合 スケール 小ネジ (M4×8) スライダ ケーブルクランプ 2 原点検出位置は標準仕様の場合、スケール有効長の中央 を基準に、左右50 mmピッチで刻まれています。各有効 注意 長における原点位置については、12ページをご参照くだ 締付け部の安定化とスケール周辺の熱的安定化をはかるた さい。 め、取付け後3時間程度放置してからご使用ください。 3 原点の検出については、ドグを用いて検出する方法と、 付属の原点マスクラベルにより、不必要な原点をマスク する方法があります。 原点マスクラベル スケール... -
Seite 14: 原点検出位置
6. 仕様 5-7. 原点検出位置 項 目 BS65-R 有 効 長 160/260/360/460/560/660/760/860/960 mm 最 大 測 定 長 有効長＋10 mm (左右各5 mmずつ) 中央 全 長 有効長＋36 mm 0.1＋0.4 L/100 µm p-p (＜460) 3 µm p-p (≧460) 精 度 (20 ℃にて) L＝有効長 (mm) 0.05 µm (BD60接続時) 繰... -
Seite 15: 外形寸法図
7. 外形寸法図 BS65-160R∼960R L3 × N L3 × N M-M4 スケールクランプ取付ネジ 2-M4 基準プレート取付ネジ 11.5 11.5±0.2 2-M5 スライダ取付ネジ ケーブル長 3000 M-M4 スケールクランプ取付ネジ 2-M4 基準プレート取付ネジ スケールクランプが偶数枚の場合 (BS65-260R / -460R / -660R / -860R) 3-Ø5 5-Ø5 +0.05 2-Ø5 Ø4 +0.05 Ø4 +0.05 Ø4 穴 基準穴... -
Seite 17: Notes To Users
RADIATION WHEN OPEN. AVOID DIRECT EXPOSURE TO BEAM. PRODUCT COMPLIES WITH DHHS RULES 21 CFR SUBCHAPTER J APPLICABLE AT DATE OF MANUFACTURE. SONY MANUFACTURING SYSTEMS CORPORATION CAUTION 2-933-274-01 1-10 KIYOKU-CHO, KUKI-SHI, SAITAMA 346-0035 JAPAN DO NOT REMOVE COVER REFER SERVICING TO QUALIFIED PERSONNEL. -
Seite 18: Features
TABLE OF CONTENTS 1. FEATURES • Simple use and high reliability common for all NOTES TO USERS ............15 Magnescale products. GENERAL PRECAUTIONS ..........15 • High-accuracy measuring using high-precision WARNING ................ 15 hologram grating. • Stable measuring unaffected by temperature, CAUTION ................. -
Seite 19: Operating Precautions
2. OPERATING PRECAUTIONS • The wavelength of the semi-conductor laser used for • A static electricity proof cap is attached to the connector this scale unit is 790 nm that is out of the visible range, plug of the scale unit. Do not remove this cap until and the maximum output is 10 mW. -
Seite 20: Names Of Parts
3. NAMES OF PARTS Set screw (M5 x 40 hex. socket-head cap screw) Plain washer (5) Detector head assembly Scale Reference plate Set screw (M4 x 8 hex. socket-head cap screw) Slider Scale clamp Plain washer (4) Connector plug Small screw (M4 x 8) Cable clamp Spacer Head cable... -
Seite 21: Mounting Precautions
4. MOUNTING PRECAUTIONS 4-1. When Mounting 4-2. Mounting Requirements • The scale and the detector head are adjusted to each Measuring Instruments other. • Lever type dial gauge (scale pitch: 2/1000 mm/0.00008" If more than one scale unit is to be used, only combine or 1/1000 mm/0.00004") .... -
Seite 22: Before Mounting
4-3. Before Mounting 4-3-1. Compensation Value 4-3-2. Compensation Value Setting The hologram grating pitch P of the scale is approximately See the section “Compensation Value Setting” of the display 0.55 µm/22 µinch, while the detector signal pitch Ps is unit (BR series) or interpolator (BD series) operating theoretically 1/4 of it, that is 0.14 µm/5.5 µinch. -
Seite 23: Mounting And Adjustment
5. MOUNTING AND ADJUSTMENT Follow the procedure below. (For details refer to the corresponding pages.) 5-1. Mounting Surface Preparations ................. 21 5-2. Scale Mounting ....................22 5-3. Slider Mounting ....................24 5-4. Signal Adjustment ....................25 5-4-1. Signal Adjustment Preparations ..............25 5-4-2. -
Seite 24: Scale Mounting
5-2. Scale Mounting 1 Check there is no dust, etc. on the mounting surface, and 2 Attach the scale clamp loosely by using the mounting mount the reference plate parallel to the machine guide, screw, as shown in the figure. as shown in the figure. - Seite 25 5 Leave the scale in this condition for over one hour until the 4 Insert the scale between the scale clamp and the mounting scale temperature stabilizes. surface while pressing the scale lightly against the reference abutment surface (Note). Tighten alternately screws A 6 Fix the remaining scale clamps by alternately tightening and B of the scale clamp shown in the figure, gradually.
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Seite 26: Slider Mounting
5-3. Slider Mounting 1 Move the machine table and adjust the mounting center 7 Fasten scale clamps on both ends of the scale with the of the slider to the center of the scale. same torque. (Final fastening torque : 1.4 N •... -
Seite 27: Signal Adjustment
5-4. Signal Adjustment 5-4-1. Signal Adjustment Preparations 5 Set the input coupling switches of CH1 and CH2 of the Connect the display unit (BR series) or interpolator (BD series) to the BS65-R scale unit. oscilloscope to GND and adjust the oscilloscope to locate the signal in the center of the screen. -
Seite 28: Azimuth Adjustment
5-4-2. Azimuth Adjustment 5 Move the scale, and make sure that the amplitudes A and A stable output signal higher than the specifications (amplitude : 1.6 Vp-p) can be gained by adjusting the slider B of the Lissajous’ figure (see the figure below) are 1.6 Vp-p direction. -
Seite 29: Completion Of Provided And Adjustment
5-5. Completion of Provided and 5-6. Built-in reference point Adjustment 1 A mono-directional reference point has been adopted as Secure the cable with the supplied cable clamp and the supplied small screw (M4 x 8). the optical-type built-in reference point for the Laserscale scale unit. -
Seite 30: Reference Ponit Detection Locations
6. SPECIFICATIONS 5-7. Reference point detection locations Spcification BS65-R Measuring length 160/260/360/460/560/660/760/860/960 mm 6.30"/10.24"/14.17"/18.11"/22.05"/25.98"/ 29.92"/33.86"/37.80" Center Measuring length + 10 mm /0.39" Max.travel (5 mm/0.20" on each side) Measuring length + 36 mm/1.42" Overall length 0.1 + 0.4L/100 µmp-p (4.0 + 4 L µinchp-p ) (<460) Scale accuracy 3 µmp-p (118 µinchp-p ) (≥460) ×... -
Seite 31: Outside Dimensions
7. OUTSIDE DIMENSIONS BS65-160R — 960R L3 × N L3 × N M-M4 Scale clamp mounting screw 60/2.36" 11.5/ 11.5±0.2/ 50/1.97" 2-M4 Reference plate mounting screw 0.453" 5/0.2" 0.453"±0.008" 25/0.98" 25/0.98" 25/0.98" 25/0.98" 25/0.98" 25/0.98" 25/0.98" 6/0.24" 7.8/ 0.31" 0.79" 55/2.17"... -
Seite 33: Hinweise Für Den Benutzer
RADIATION WHEN OPEN. AVOID PRODUCT COMPLIES WITH DHHS RULES 21 DIRECT EXPOSURE TO BEAM. CFR SUBCHAPTER J APPLICABLE AT DATE OF MANUFACTURE. SONY MANUFACTURING SYSTEMS CORPORATION 1-10 KIYOKU-CHO, KUKI-SHI, CAUTION 2-933-274-01 SAITAMA 346-0035 JAPAN DO NOT REMOVE COVER REFER SERVICING TO MANUFACTURED AT ISEHARA PLANT QUALIFIED PERSONNEL. -
Seite 34: Merkmale
INHALTSVERZEICHNIS 1. MERKMALE • • • • • Einfache Handhabung und Hohe Zuverlässigkeit wie bei HINWEISE FÜR DEN BENUTZER ........31 allen Magnescale-Produkten ALLGEMEINE VORSICHTSMASSNAHMEN ....31 • • • • • Äußerst genaue Messung mit Hilfe von hochpräzisem ACHTUNG ............... 31 Hologramm-Beugungsgitter •... -
Seite 35: Vorsichtsmassnahmen Vor Inbetriebnahme
2. VORSICHTSMASSNAHMEN VOR INBETRIEBNAHME • Der Steckverbinder des Maßstab ist mit einer Kappe zum • Der Halbleiterlaser des Maßstab strahlt unsichtbares Laserlicht mit einer Wellenlänge von 790 nm und einer Schutz vor statischer Aufladung versehen. Diese maximalen Ausgangsleistung von 10 mW ab. Schutzkappe darf erst dann abgenommen werden, wenn •... -
Seite 36: Bezeichnung Der Teile
3. BEZEICHNUNG DER TEILE Befestigungsschraube (M5 x 40, Innensechskant-Kopfschraube) Unterlegscheibe (5) Detektorkopfeinheit Maßstab Bezugsplatte Befestigungsschraube (M4 x 8, Innensechskant-Kopfschraube) Schieber Skalenklemme Unterlegscheibe (4) Steckverbinder Kleinschraube (M4 x 8) Kableschelle Abstandstück Detektorkopfkabel Kompensationswertvermerk Schieber Maßstab Steckverbinder Kableschelle... -
Seite 37: Vorsichtsmassnahmen Bei Der Montage
4. VORSICHTSMASSNAHMEN BEI DER MONTAGE 4-2. Montageanforderungen 4-1. Während der Montage • Skale und Detektorkopf sind aufeinander abgestimmt. Meßinstrumente Sollen mehrere Skalen verwendet werden, so dürfen sie • Meßuhr mit Hebelgestänge n u r m i t d e n i m V e r s a n d k a r t o n m i t g e l i e f e r t e n (Skalenteilung : 2/1000 mm oder 1/1000 mm) .... -
Seite 38: Vor Der Montage
4-3. Vor der Montage 4-3-1. Kompensationswert 4-3-2. Einstellen des Kompensationswerts Der Hologramm-Gitterabstand P der Skale beträgt ca. S i e h e h i e r z u A b s c h n i t t “ E i n s t e l l u n g d e s 0,55 µm, der Detektorsignalabstand Ps dagegen theoretisch Kompensationswerts”... -
Seite 39: Montage Und Einstellungen
5. MONTAGE UND EINSTELLUNGEN Führen Sie das folgende Verfahren aus. (Näheres hierzu finden Sie auf den folgenden Seiten.) 5-1. Vorbereitung der Montagefläche ................37 5-2. Skalenmontage ...................... 38 5-3. Schiebermontage ....................40 5-4. Signaleinstellung ....................41 5-4-1. Vorbereitungen zur Signaleinstellung .............. 41 5-4-2. -
Seite 40: Skalenmontage
5-2. Skalenmontage 1 Zunächst müssen Sie sicherstellen, daß die Montagefläche 2 Die Skalenklemme mit der Befestigungsschraube staubfrei ist. Danach ist die Bezugsplatte gemäß der provisorisch anbringen (siehe folgende Abbildung). folgenden Abbildung so anzubringen, daß sie parallel zur Maschinenführung ausgerichtet ist (Anziehmoment : BS65-160R, 360R, 560R, 760R, 960R 1,4 N•m). - Seite 41 4 Die Skale zwischen Skalenklemme und Montagefläche 5 Lassen Sie die Skale eine Stunde lang in dieser Lage, bis einführen und dabei die Skale leicht gegen die sich die Skalentemperatur stabilisiert hat. Bezugsstoßfläche drücken (siehe Hinweis). Die Schrauben 6 Die übrigen Skalenklemmen durch abwechselndes A und B an der Skalenklemme abschwechselnd langsam festdrehen.
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Seite 42: Schiebermontage
5-3. Schiebermontage 1 Den Maschinentisch verstellen, und das Montagezentrum 7 Die Skalenklemmen an beiden Enden mit dem gleichen des Schiebers mit der Skalenmitte fluchten. Drehmoment anziehen. (Gesamtanziehmoment : 1,4 N•m) 2 Den Schieber mit der mitgelieferten Befestigungsschraube festziehen. BS65-260R, 460R, 660R, 860R Befestigungsschraube für Schieber (M5 x 40, Innensechskant-Kopfschranbe) Unterlegscheibe (5) -
Seite 43: Signaleinstellung
5-4. Signaleinstellung 5-4-1. Vorbereitungen zur Signaleinstellung 5 Die Eingangskopplungsschalter von CH1 und CH2 am Zähler (BR-Serie) bzw. Interpolator (BD-Serie) mit Maßstab BS65-R verbinden. Oszilloskop auf GND stellen, und das Oszilloskop so einstellen, daß das Signal in der Schirmmitte angezeigt 1 Die Schutzkappe vom Kopfsteckverbinder der wird. -
Seite 44: Azimuteinstellung
5-4-2. Azimuteinstellung 5 Die Skale bewegen und sicherstellen, daß die Amplituden Durch entsprechendes Verstellen der Schieberausrichtung A und B der Lissajou-Figur (siehe folgende Abbildung) läßt sich ein stabiles Ausgangssignal mit höherer Amplitude über die ganze Skalenlänge mindestens einen Wert von als vorgeschrieben (1,6 Vss) erzielen. -
Seite 45: Abschluß Von Montage Und Einstellung
5-6. Interner Bezugspunkt 5-5. Abschluß von Montage und Einstellung 1 Ein monodirektionaler Bezugspunkt wird als interner Das Kabel mit der mitgelieferten Kabelschelle und einer kleinen Schraube (M4 × 8, mitgeliefert) sicher befestigen. optischer Bezugspunkt für die Laserscale-Maßstabseinheit verwendet. Demgemäß sollte die Bezugspunkterfassung Maßstab in den relativen Bewegungsrichtungen von Maßstab und Schieber durchgeführt werden, wie im folgenden Diagramm... -
Seite 46: Bezugspunkt-Erkennungspositionen
6. TECHNISCHE DATEN 5-7. Bezugspunkt Erkennungspositionen Festlegung für BS65-R Meßlänge 160/260/360/460/560/660/760/860/960 mm Maximaler Laufweg Meßlänge + 10 mm Mitte Gesamtlänge Meßlänge + 36 mm 0,1 + 0,4 L/100 µmp-p (<460) Skalengenauigkeit 3 µmp-p (≥460) (bei 20 °C) L = Meßlänge : mm 0,05 µm (Bei Anschluß... -
Seite 47: Aussenabmessungen
7. AUSSENABMESSUNGEN BS65-160R — 960R L3 × N L3 × N M-M4 Befestingungsschraube für Skalenklemme 2-M4 Befestingungsschraube für Bezugsplatte 11,5 11,5±0,2 2-M5 Befestingungsschraube für Schieber Kabellänge 3000 M-M4 Befestingungsschraube für Skalenklemme 2-M4 Befestingungsschraube für Bezugsplatte (BS65-260R, 460R, 660R, 860R) +0,05 +0,05 Ø4 Ø4... - Seite 48 ソニーマニュファクチュアリングシステムズ株式会社 〒346-0035 埼玉県久喜市清久町1-10 Sony Manufacturing Systems Corporation 1-10 Kiyoku-cho, Kuki-shi, Saitama 346-0035 Japan http://www.sonysms.co.jp/ BS65-R 2009.4 2-996-515-64 Printed in Japan ©1995 Sony Manufacturing Systems Corporation このマニュアルは再生紙を使用しています。...