Technische Daten - thyracont VSM77D Betriebsanleitung

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7

Technische Daten

VSM77 ∅40
VSM78 ∅52
Messprinzip
Messbereich
Max. Überlast
Genauigkeit
Wiederholbarkeit
Materialien mit
Vakuumkontakt
Anodenmaterial
VSM-de-171005
Downloaded from www.Manualslib.com
40
70
Wärmeleitfähigkeit Pirani / Kaltkathode (invertiertes Magnetron)
gasartabhängig
1000 - 5x10
10 bar abs.
1000 - 10 mbar: ca. 30 % v. Messwert
-3
10 - 2x10
-3
2x10 - 1x10
10 - 1 x 10
-2
1 x 10 -1 x 10
Edelstahl 1.4307, Wolfram, Nickel, Glas, Molybdän,
Al O Keramik
2 3
Molybdän
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VSM79 ∅70
-9 -9
mbar (750 - 5x10 Torr)
mbar: 10 % v. Messwert
-8
mbar: 25 % v. Messwert
-2
mbar: ca. 2% v. Messwert
-8
mbar: ca. 7% v. Messwert
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