Technische Daten - thyracont VSP63E Betriebsanleitung

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7 Technische Daten

Messprinzip
Messbereich
Max. Überlast
Genauigkeit
Wiederholbarkeit
Materialien mit
Vakuumkontakt
Reaktionszeit
Betriebstemperatur
Lagertemperatur
Ausheiztemperatur
Spannungsversorgung
VSP/VCP-EtherCAT-200116
Wärmeleitfähigkeit Pirani,
gasartabhängig
VSP: 1000 - 1,0x10
VCP: 1000 - 5,0x10
10 bar abs.
VSP:
1000 ... 20 mbar: ca. 30% v. Messwert
-3
20 ... 2,0x10 mbar: 10% v. Messwert
VCP:
1000 ... 10 mbar: ca. 30% v. Messwert
-2
10 ... 1,0x10 mbar: 10% v. Messwert
VSP: 20 ... 2,0x10
VCP: 10 ... 1,0x10
VSP: Edelstahl 1.4307, Wolfram, Nickel, Glas
VCP: Edelstahl 1.4307, Platin/Rhodium, Nickel,
Glas
40 ms
5 ... 60 C
-40 ... +65 C
max. 150 C am Flansch
(Spannungsversorgung ausgeschaltet)
20 - 30 VDC
-4
mbar (750 - 1,0x10
-4
mbar (750 - 5,0x10
-3
mbar: 2% v. Messwert
-2
mbar: 5% v. Messwert
-4
Torr)
-4
Torr)