Ausheizen - thyracont VSM77D Betriebsanleitung

4.4
Soll die Vakuumkammer mit angeflanschtem VSM ausgeheizt werden, so darf
die Temperatur am Sensorflansch 160 °C keinesfalls überschreiten.
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Status LED grün
Normalbetrieb / Magnetron aus
Status LED grün
Normalbetrieb / Magnetron ein
Set
Status LED orange
Initialisiere
Nachjustieren
Set
Status LED grün
Normalbetrieb

Ausheizen

Die Spannungsversorgung des Transmitters muss während des
Ausheizens der Kammer ausgeschaltet sein. Anderenfalls kann
es zu Schäden an der Elektronik kommen!
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3s
Status LED
orange
Justieren
Set
Automatische
Justierung von
Nulldruck oder
Atmosphärendruck
Pirani
1s grün
Status LED grün
Normalbetrieb
13
Status LED
schnell blinkend
langsam blinkend
Dauerleuchten
10s grün
Status LED grün
Normalbetrieb
Status LED rot
3s
Justierfehler
Status LED grün
Normalbetrieb
VSM-de-171005