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Antriebsspindel
Sicherheits-
abdeckung
VAKUUMSYSTEM
Abbildung 1-2. Rotorkammer
Das Vakuumsystem wird automatisch aktiviert, wenn
•UV7TV—
gedrückt werden. Die Einschaltung kann aber auch direkt durch
•X79WWI—
Drücken der
-Taste erfolgen. Die drei mit 750, 200 und
<20 markierten Vakuum-LEDs befinden sich in der Mitte der oberen
Anzeige und geben die Stufe des Kammerdrucks in Mikron an.
Am Ende eines Laufs muß die Kammer belüftet werden (durch Drücken der
•X79WWI—
-Taste), damit sich der Kammerdeckel öffnen läßt. Nach dem
Öffnen des Deckels wird die Temperatur in der Kammer auf annähernd
Raumtemperatur gebracht, um eine Ansammlung von Kondensationsflüssigkeit
in der Kammer zu verhindern. Damit die Kammer möglichst trocken und
sauber bleibt, sollte der Deckel nach Möglichkeit geschlossen bleiben.
Ein Abführsystem beseitigt einen großen Teil der Feuchtigkeit aus dem
Bereich der Vakuumpumpe und aus der Vakuumkammer. Ist die Zeit zum
Erreichen des Vakuum jedoch sehr lang, liegt die Ursache wahrscheinlich
bei übermäßig hoher Feuchtigkeit im System. Informationen zur Behe-
bung dieses Problems sind Teil 4 zu entnehmen.
Beschreibung
Photoelektrische
Einrichtungen
Radiometer
und
ENTER/RECALL
1-5
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