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Pfeiffer Vacuum TTR 91 Betriebsanleitung Seite 40

Pirani-transmitter

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Technische Daten und Abmessungen
14 Technische Daten und Abmessungen
14.1 Allgemeines
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
Tab. 9:
mbar l/s
Pa m
sccm
Torr l/s
atm cm
Tab. 10:
14.2 Technische Daten
Parameter
Messbereich (Luft, O
Maximaldruck (absolut)
Messprinzip
Genauigkeit (N
Auflösung
Wiederholbarkeit (Luft)
Transmitterabgleich
Tab. 11:
Parameter
Ausgangssignal (Messsig-
nal)
Ausgangsimpedanz
Lastimpedanz (minimale Last)
Ansprechzeit
Transmitteridentifikation
40/46
mbar
bar
1
1 · 10
1000
1
0,01
1 · 10
1
1 · 10
10
0,01
1,33
1,33 · 10
Umrechnungstabelle: Druckeinheiten
mbar l/s
1
10
3
/s
-2
1,69 · 10
1,33
1,01
3
/s
Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz
, CO, N
)
2
2
)
5 × 10
2
1 × 10
100 – 1000 hPa
1 × 10
Mess- und Druckwerte
Spannungsbereich
Messbereich
Fehlersignal
Beziehung Spannung-Druck
Pa
hPa
-3
100
1
1000
1 · 10
5
1
0,01
-5
100
1
-3
1000
10
-3
133,32
1,33
2
1 Pa = 1 N/m
sccm
Pa m
3
/s
0,1
59,2
1
592
-3
1
1,69 · 10
0,133
78,9
0,101
59,8
Wert
5 × 10
≤ 1000 kPa
Wärmeleitung nach Pirani
±50 % des Messwerts
-4
– 1 × 10
-3
hPa
±15 % des Messwerts
-3
– 100 hPa
±50 % des Messwerts
1 % des Messwerts
-3
2 % des Messwerts
– 100 hPa
Taster für ATM- und HV-Abgleich
kPa
Torr | mm Hg
0,1
0,75
100
750
1 · 10
-3
7,5 · 10
0,1
0,75
1
7,5
0,133
1
Torr l/s
atm cm
0,75
0,987
7,5
9,87
-2
1,27 · 10
1,67 · 10
1
1,32
0,76
1
-4
– 1000 hPa
Wert
0 – +10,3 V
+1,9 – +10,0 V
0 V – +0,5 V
+0,1 V (Filamentbruch)
1,286 V/Dekade, logarithmisch
2 × 4,7 Ω, kurzschlussfest
> 10 kΩ, kurzschlussfest
80 ms
27,0 kΩ gegen Versorgungserde
(Spannung an Pin 4 ≤ 5 V)
-3
3
/s
-2

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Diese Anleitung auch für:

Ttr 91 sTtr 96 s