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Pfeiffer Vacuum TTR 91 Betriebsanleitung Seite 25

Pirani-transmitter

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► Beachten Sie die Konstanten zur Umrechnung von Messsignal und Druck.
► Rechnen Sie das Messsignal in den Druck um:
► Rechnen Sie den Druck in das Messsignal um:
6.2 Effektiven Druck mit Korrekturfaktoren ermitteln
Das Messsignal ist gasartabhängig. Die Kennlinien gelten für Stickstoff (N
Luft und Kohlenstoffmonoxid (CO).
p [hPa]
10
2
8
6
4
2
10
1
8
6
4
2
10
0
8
6
4
2
10
–1
8
6
4
2
10
–2
8
6
4
2
10
–3
10
Abb. 8:
Im Druckbereich < 1 hPa ist die Anzeige linear.
Gasart
Luft, Sauerstoff (O
Wasserstoff (H
Kohlenstoffdioxid (CO
Wasserdampf
Helium (He)
Die angeführten Korrekturfaktoren sind Mittelwerte.
((U - c) / 1,286)
p = 10
U = c + 1,286 × log
p
10
Water vapor
–3
10
–2
2
4
6
2
4
6
Angezeigter Druck
Gas- und Dampfgemische
Prozessgase sind häufig Gas- und Dampfgemische. Eine genaue Erfassung von Gas- und
Dampfgemischen ist nur mit Partialdruck-Messgeräten möglich, z. B. mit einem Quadrupol-
Massenspektrometer.
), Kohlenstoffmonoxid (CO), Stickstoff (N
2
)
2
)
2
H
2
10
–1
10
0
2
4
6
2
4
), Sauerstoff (O
2
He
Ne
Air
O
2
CO
N
2
CO
2
Ar
Freon 12
Kr
Xe
10
1
10
2
6
2
4
6
p
[hPa]
eff
Korrekturfaktor (C)
)
1,0
2
0,5
0,9
0,5
0,8
Betrieb
), trockene
2
25/46

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Diese Anleitung auch für:

Ttr 91 sTtr 96 s