Pfeiffer Vacuum ASI 35 Bedienungsanleitung Seite 95

Beschreibung
Fragt die Parameters des
zur internen Kalibrierung
verwendeten Testlecks (in-
ternes oder externes Testl-
eck) an
(HV/S) 3)
1) Korrekturfaktor
2) Prüfgas
3) Kalibrierte Leckeinstellung
Befehl [C]
Antwort [R]
[C] ?FEMT C
R
[R] xCFyzaabbccddd-
deeff C
R
Detail
x = 2: Wasserstoff
x = 3: Helium 3/3-Masse
x = 4: Helium 4/Helium
CF: Kalibrierte Leckrate
C
y: Einheit (idem ?UN )
R
z = D: „Externe" Leckposition
z = E: „Interne" Leckposition mit geschlossenem Ventil
z = O: „Intern" Leckposition mit geöffnetem Ventil
z = N: Kein Testleck
z = S: Leckposition „externer Schnüffler"
z = C: Leckposition „Konzentration"
z = M: Leckposition „Anlage"
aa: Temperaturkoeffizient (1/10 von %)
bb: Referenztemperatur (°C)
cc: Abnahme/Jahr (%)
dddd: Jahr der Kalibrierung
ee: Temperatur (°C) des internen/externen Testlecks
ff: Monat der Kalibrierung
Beispiel [R]: 4100-091E30200220192201
Das verwendete Testleck ist ein internes Helium 4/Helium
Testleck mit geschlossenem Ventil. Die Leckrate liegt bei
1 · 10 -7 mbar·l/s: Sie variiert um 3 %/°C, bei einer Referenz-
temperatur von 20 °C. Die Abnahme liegt bei 2 %/Jahr. Die
Umgebungstemperatur liegt bei 22 °C. Die Kalibrierung er-
folgte im Januar 2019.
4) Grenzwert
5) Nur ASM 306S
Serielle Schnittstelle RS-232
C
R
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