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Pfeiffer Vacuum ASI 35 Bedienungsanleitung Seite 113

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Beschreibung
Einrichten des zur internen
Kalibrierung verwendeten
Testlecks (internes oder ex-
ternes Testleck)
(HV/S)
3)
Einrichten der Informationen
des Master 1 Testlecks
(S)
3)5)
Einrichten der Informationen
des Master 2 Testlecks
(S)
3)5)
Einrichten der Informationen
des Master 3 Testlecks
(S)
3)5)
Einrichten der Informationen
des Master 4 Testlecks
(S)
3)5)
Einrichten der Informationen
des Master 5 Testlecks
(S)
3)5)
1) Korrekturfaktor
2) Prüfgas
3) Kalibrierte Leckeinstellung
Befehl [C]
[C] =FEMxyCFzaabbccddd-
C
deeff
R
[C] =FES1xCFy-
zaabbccddd-
deeffgggggggggg
C
R
[C] =FES2xCFy-
zaabbccddd-
deeffgggggggggg
C
R
[C] =FES3xCFy-
zaabbccddd-
deeffgggggggggg
C
R
[C] =FES4xCFy-
zaabbccddd-
deeffgggggggggg
C
R
[C] =FES5xCFy-
zaabbccddd-
deeffgggggggggg
C
R
Detail
x = 2: Wasserstoff
x = 3: Helium 3/3-Masse
x = 4: Helium 4/Helium
y = D: Externes Testleck
y = E: „Interne" Leckposition mit geschlossenem Ventil
y = O: „Intern" Leckposition mit geöffnetem Ventil
y = N: Kein Testleck
y = S: Leckposition „externer Schnüffler"
y = C: Leckposition „Konzentration"
y = M: Leckposition „Anlage"
z: Einheit (idem ?UN
C
)
R
CF: Wert des internen Testlecks
aa: Temperaturkoeffizient (1/10 von %)
bb: Referenztemperatur (°C)
cc: Abnahme/Jahr (%)
dddd: Jahr der Kalibrierung
ee: Temperatur (°C) des internen/externen Testlecks
ff: Monat der Kalibrierung
Beispiel [C]: =FEM4E100-09130200220192201
Das verwendete Testleck ist ein internes Helium 4/Helium
Testleck mit geschlossenem Ventil. Die Leckrate liegt bei
1 · 10
-5
mbar·l/s: Sie variiert um 3 %/°C, bei einer Referenz-
temperatur von 20 °C. Die Abnahme liegt bei 2 %/Jahr. Die
Umgebungstemperatur liegt bei 22 °C. Die Kalibrierung er-
folgte im Januar 2019.
x = 2: Wasserstoff
x = 3: Helium 3/3-Masse
x = 4: Helium 4/Helium
CF: Kalibrierte Leckrate
y: Einheit (idem ?UN
C
)
R
z = D: Externes Testleck
z = E: „Interne" Leckposition mit geschlossenem Ventil
z = O: „Intern" Leckposition mit geöffnetem Ventil
z = N: Kein Testleck
z = S: Leckposition „externer Schnüffler"
z = C: Leckposition „Konzentration"
z = M: Leckposition „Anlage"
aa: Temperaturkoeffizient (1/10 von %)
bb: Referenztemperatur (°C)
cc: Abnahme/Jahr (%)
dddd: Jahr der Kalibrierung
ee: Temperatur (°C) des internen/externen Testlecks
ff: Monat der Kalibrierung
gggggggggg: Name des Master Testlecks (10 Zeichen ob-
ligatorisch)
Beispiel [C]: =FES14100-091E30200220192201Master 1
Das verwendete Testleck ist ein internes Helium 4/Helium
Testleck mit geschlossenem Ventil. Die Leckrate liegt bei
1 · 10
-7
mbar·l/s: Sie variiert um 3 %/°C, bei einer Referenz-
temperatur von 20 °C. Die Abnahme liegt bei 2 %/Jahr. Die
Umgebungstemperatur liegt bei 22 °C. Die Kalibrierung er-
folgte im Januar 2019. Der Name lautet Master 1.
4) Grenzwert
5) Nur ASM 306S
Serielle Schnittstelle RS-232
C
R
113/166
C
R

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