Betrieb
VACUU·BUSAdressen
für Prozess A und B
-> Beispiel
von Prozess A zu
Prozess B wechseln
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Zuordnung *VACUU·BUS-Adressen
Komponente
Saugleitungsventil
Belüftungsventil
Vakuumsensor, kapazitiv
Vakuumsensor Pirani
Referenzsensor
Im Fehlerfall einer Komponente wird nur der Prozess gestoppt, der
diese Komponente zugeordnet ist, z. B. Störung an Vakuumsensor VS-
C 1 -> Prozess A stoppt -> Fehlermeldung Prozessanzeige A.
Alle anderen VACUU·BUS-Komponenten sind global und werden von
beiden Prozessen verwendet, z. B. Kühlwasserventil WATER‑V.
Prozessanzeige von A auf B umschalten
ð Hinteren Druckbogen antippen.
R
Prozess B vorn.
R
Bedienung Prozess B freigegeben.
R
Bedienung Prozess A gesperrt.
VACUU·BUS-Na-
me
Prozess A
INLET-V
VENT-V
VS-C
VS-P
VS-REF
20901095_DE_PC5xx_6xx select Serie_V1.5_171022
Adress-Nr.
Prozess B
1, 3
2, 4
1, 3
2, 4
1, 3
2, 4
1, 3
2, 4
1, 3
2, 4