Inhaltsverzeichnis
Werbung
TECHNISCHE SPEZIFIKATIONEN
F-Theta Scanlinse für Arex™ 130-X6X und 150-X6X
Die Tabelle unten listet die derzeit für den Arex™ 130-X6X und 150-X6X verfügbaren
Standard-F-Theta-Scanlinsen auf:
F-THETA SCANLINSE
Betriebsabstand (WD)
Befestigungsabstand (FD)
Markierungsfläche (MA)
(*) NICHT VERFÜGBAR für 130-X6X
WD: Betriebsabstand
FD: Befestigungsabstand
MA: Markierungsfläche
AB: Zielstrahl
FB: Fokussierungsstrahl
30
AREX™ 400
F-Theta Scanlinsen-Durchmesser M85
mm
mm
mm²
HINWEIS: Der Betriebsabstand ist der Abstand zwischen dem Zentrum der
Markierungsfläche (in der lokalen Ebene definiert) und dem letzten mecha-
nischen Rand der F-Theta Scanlinse.
Die Toleranz des Betriebsabstands ist definiert als der Wert ± 2-Sigma der
Abweichung vom Mittelwert des Betriebsabstands des geschätzten Gauß-
Modells.
Beachten Sie die folgende Abbildung.
HINWEIS: Der Befestigungsabstand ist der Abstand zwischen dem Sockel
des Abtastkopfes und der Markierungsfläche.
Die Toleranz des Betriebsabstands ist definiert als der Wert ± 2-Sigma der
Abweichung vom Mittelwert des Betriebsabstands des geschätzten Gauß-
Modells.
Beachten Sie die folgende Abbildung.
Abbildung 18: Markierungsfläche
HINWEIS: Bei Produkten, die mit den 160S, 254S, 160L und 100L F-Theta-
Scanlinsen ausgestattet sind, wird die Fokusposition, welche der Punkt ist,
an dem der Fokussierungsstrahl sich mit dem Zielstrahl überschneidet, im
Werk voreingestellt.
ƒ
ƒ
= 160L
= 254L
178 ± 3.5
301 ± 4
214 ± 4.5
372 ± 5
100 x 100
170 x 170
ƒ
ƒ
= 330L
= 420L*
397 ± 6
507 ± 9
480 ± 7
576 ± 10
210 x 210
285 x 285
Werbung
Inhaltsverzeichnis
