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F-Theta Scanlinse
Die Tabelle unten listet die derzeit für den Arex™ 401 10C-X6X verfügbaren Standard-F-
Theta-Scanlinsen auf:
F-THETA SCANLINSE
Arbeitsabstand (WD)
Befestigungsabstand (FD)
Markierungsfläche (MA)
1. Ohne Linsen-Schutzdeckel. Wenn der Linsen-Schutzdeckel auf der Linse montiert ist, sind -6 mm vom
Kompatibilität der F-Theta Scanlinse:
angegebenen Wert zu berücksichtigen.
HINWEIS: Der Betriebsabstand ist der Abstand zwischen dem Zentrum der
Markierungsfläche (in der lokalen Ebene definiert) und dem letzten mecha-
nischen Rand der F-Theta-Scanlinse.
Die Betriebsabstandstoleranz ist als der ± 2-Sigma-Wert der Abweichung
vom Mittelwert des Betriebsabstands des geschätzten Gauß-Modells defi-
niert.
Beachten Sie die folgende Abbildung.
HINWEIS: Der Befestigungsabstand ist der Abstand zwischen dem Sockel
des Abtastkopfes und der Markierungsfläche.
Die Befestigungsabstandstoleranz ist als der ± 2-Sigma-Wert der Abwei-
chung vom Mittelwert des Befestigungsabstands des geschätzten Gauß-
Modells definiert.
Beachten Sie die folgende Abbildung.
WD: Betriebsabstand
FD: Befestigungsabstand
MA: Markierungsfläche
AB: Zielstrahl
FB: Fokussierungsstrahl
Abbildung 18: Markierungsfläche
HINWEIS: Bei Produkten, die mit den 160M oder 254M F-Theta-Scanlinsen
ausgestattet sind, wird die Fokusposition, welche der Punkt ist, an dem
sich der Fokussierungsstrahl mit dem Zielstrahl überschneidet, im Werk
voreingestellt.
ƒ
ƒ
= 160M
= 254M
1
mm 166 ± 1,5
269,5 ± 3
mm 199,5 ± 2,5
303 ± 4
mm² 100 x 100 160 x 160 180 x 180 210 x 210 285 x 285
MARKIERUNGSFLÄCHE SPEZIFIKATION
ƒ
ƒ
= 254L
= 330L
1
300,5 ± 4
397 ± 6
372 ± 5
480 ± 7
BENUTZERHANDBUCH
ƒ
= 420L
507 ± 9
576 ± 10
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