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S900-02-882 Issue A
In die Vorvakuumleitung der Rootspumpe sollte ein Absperrventil eingebaut werden, mit dem die Pumpe vom
Kammer- oder Vakuumsystem getrennt werden kann.
3.6.1
Vakuumeinlassrohrleitung
Stellen Sie sicher, dass keine Fremdkörper (Partikel) in die Pumpe gelangen können. Diese können ansonsten
schwere Schäden und den vorzeitigen Ausfall innenliegender Pumpenteile verursachen
Sorgen Sie dafür, dass die Vakuumleitung dicht ist. Installieren Sie einen flexiblen Anschluss zwischen dem
Rootspumpeneinlass und der Vakuumleitung, um Vibrationen zu reduzieren und ein Verziehen des
Rootspumpengehäuses zu vermeiden. Um Vibrationen möglichst auszuschließen, muss das Rohrleitungssystem
vorschriftsmäßig abgestützt werden. Das Rootspumpengehäuse darf nicht zum Abstützen langer Leitungsstrecken
verwendet werden.
Die Installation eines voll geöffneten Hochvakuumventils wird empfohlen, um die Inbetriebnahme zu erleichtern und
den Grenzdruck der Pumpe ohne Gasdurchsatz kontrollieren zu können. Mit diesem Ventil kann die Vakuumpumpen
vom Vakuumsystem getrennt werden. Zur Überprüfung der einwandfreien Funktion der Vakuumpumpe wird der
Einbau eines Vakuumdruckmessers empfohlen. Im Rootspumpeneinlass bzw. in die Vorvakuumleitung ist ein
Belüftungsventil einzubauen. Ein Filterschalldämpfer ist einzubauen, damit keine Fremdstoffe in das System
eindringen können.
Achten Sie darauf, dass das Vakuumsystem und die Anschlussleitungen sauber und frei von Schweißspritzern,
Verschmutzungen oder Strahlmittel sind.
Um das Eindringen von Fremdstoffen zu vermeiden, empfiehlt Edwards den Einbau von Einlassfiltern und Fallen. Bei
der Verwendung von Einlassfiltern oder Fallen werden häufigere Ölwechsel empfohlen.
Unter Umständen müssen andere Geräte wie Zwischenstufen-Temperaturschalter, Timer, Vakuumdruckschalter usw.
eingebaut werden, um die Rootspumpe gegen thermische und mechanische Überlastungen zu schützen. Dies ist von
der Größe der Rootspumpe, der Kapazität der Vorpumpe und der Kammergröße anhängig.
3.6.2
Zubehör-Anschlussrohrleitungen
Im Rootspumpengehäuse sind Anschlussöffnungen für Zubehör vorgesehen. Diese Anschlüsse können zum Anschluss
von Belüftungsventilen und Vakuumdruckmessern verwendet werden. Vakuumdruckmesser sind wie folgt
anzuschließen: Den 0,5-Zoll O-Ring-Stopfen (0,75-16 gerades Gewinde) gegen ein Vakuumkugelventil austauschen
und an einen erhöht angeordneten Vakuumdruckmesser anschließen. Das Ventil ist mit einem kurzen Rohr in einiger
Entfernung vom heißen Gehäuse der Rootspumpe zu halten.
Alle Vakuumverbindungen mit Gewinde sind mit einem flüssigen Gewindedichtmittel (Loctite 714 oder gleichwertiges
Mittel) zu versehen. Dichtband darf bei Gewindeverbindungen nicht verwendet werden, da es immer geringe
Undichtigkeiten aufweist.
3.6.3
Abgasrohrleitung
Die Abgasleitungen von Rootspumpen könnensich an manchen Betriebspunkten auf über 70
o
(160
F) erhitzen. Unter extremen Bedingungen können sich die Oberflächen der Rootspumpe auf
o
bis zu 190
sind ausreichende Schutz- und Warnvorrichtungen vorzusehen.
Die Abgasleitungen sind entsprechend dem Durchmesser der Rootspumpen-Abgasauslässe zu bemessen. Abgase, die
Pumpenöl und Prozessgase enthalten können, müssen entsprechend den örtlichen Vorschriften bzw. den Vorschriften
der Länder oder des Staates sicher gehandhabt werden.
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VORSICHT
WARNUNG
o
C (375
F) erhitzen. Zum Schutz von Personen gegen hohe Oberflächentemperaturen
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
© Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten.
o
C
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