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Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Die temperaturgeregelten Ceramic Capacitance Gauges der
Serie CMR 37X sind Vakuum-Messröhren und erlauben die Ab-
solutdruck-Messung von Gasen in unterschiedlichen Messbe-
reichen (→ 3).
Funktion
Eine keramische Membran wird durch den Druck ausgelenkt.
Diese Auslenkung wird kapazitiv gemessen und durch die digi-
tale Elektronik in ein analoges, lineares Ausgangssignal umge-
wandelt.
Das Ausgangssignal ist unabhängig von der zu messenden Gas-
art.
Der auf konstant 45°C geheizte Sensor erlaubt sehr genaue
Druckmessungen. Durch die Temperaturregelung werden Um-
gebungseinflüsse weitgehend vermieden. Bei Prozessanwen-
dungen wird die Ablagerung von Prozess- und Prozessneben-
produkten reduziert.
Marke
®
VCR
Swagelok Marketing Co.
Patente
EP 1070239 B1, 1040333 B1
US Patente 6528008, 6591687, 7107855, 7140085
Lieferumfang
1× Messröhre CMR 37X in Reinraumverpackung
1× Taststift
1× Kalibrierzertifikat
1× Betriebsanleitung deutsch
1× Betriebsanleitung englisch
1× Betriebsanleitung französisch
4
BG 5138 BDE / B
(2019-07)
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