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Pfeiffer Vacuum CMR 371 Betriebsanleitung Seite 19

Ceramic capacitance gauge
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Nullpunkteinstellung bei den gleichen konstanten Umgebungs-
bedingungen und bei gleicher Einbaulage durchführen, bei
denen die Messröhre normalerweise verwendet wird.
Das Ausgangssignal ist von der Einbaulage abhängig. Die
Änderung von vertikal stehender zu waagrechter Einbaulage
beträgt:
4.2.1
<ZERO> Adjust
Evakuieren Sie die Messröhre bis zu einem Druck entspre-
chend der nachfolgenden Tabelle:
BG 5138 BDE / B
F.S.
1000 Torr/hPa
100 Torr/hPa
10 Torr/hPa
1 Torr/hPa
0.1 Torr/hPa
Wird die Messröhre mit einem Messgerät betrieben,
muss die Nullpunkteinstellung für das ganze System am
Messgerät erfolgen: Zuerst die Messröhre abgleichen
und anschließend das Messgerät.
Während der Aufwärmphase und bei Atmosphärendruck
ist der Nullpunktabgleich verriegelt, um Fehlbe-
dienungen zu verhindern.
F.S.
<5×10
1100 hPa
<5×10
110 hPa
<5×10
11 hPa
<5×10
1.1 hPa
<5×10
0.11 hPa
Wird die Nullpunkteinstellung bei zu hohem Enddruck
durchgeführt (>25% von F.S.), kann Zero nicht erreicht
werden und die LED <STATUS> blinkt grün. In diesem
Fall erst die Werkseinstellungen aktivieren und dann den
Nullpunkt erneut abgleichen (→  22).
(2019-07)
U / 90°
≈2 mV
≈10 mV
≈50 mV
≈300 mV
≈1.8 V
Empfohlener Enddruck
bei Nullpunkteinstellung
-2
-2
hPa
<4×10
-3
-3
hPa
<4×10
-4
-4
hPa
<4×10
-5
-5
hPa
<4×10
-6
-6
hPa
<4×10
-2
Torr
<5×10
mbar
-3
Torr
<5×10
mbar
-4
Torr
<5×10
mbar
-5
Torr
<5×10
mbar
-6
Torr
<5×10
mbar
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