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PI L-738 Serie Benutzerhandbuch Seite 44

Präzisions-kreuztisch
Inhaltsverzeichnis

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10 Technische Daten
Tische mit Schrittmotor
Bewegen
Aktive Achsen
Stellweg
Winkelfehler xry
(Neigen)
Winkelfehler xrz
(Gieren)
Winkelfehler yrx
(Neigen)
Winkelfehler yrz
(Gieren)
Geradheit / Ebenheit ±2
Orthogonalität
Geschwindigkeit
Positionieren
Integrierter Sensor
Sensorsignal
Rechnerische
Auflösung
Kleinste Schrittweite
Unidirektionale
Wiederhol-
genauigkeit
Bidirektionale
Wiederhol-
genauigkeit
Referenzschalter
Wiederhol-
genauigkeit
Referenz- und
Endschalter
40
Version: 1.1.3
L-738.051100 / L-738.051111 / L-738.051112
X, Y
102 × 102
±40
±20
±40
±20
±96,963
35
L-738.051100
L-738.051111
Inkrementeller
Linearencoder
Sin/cos, 1 V Spitze-
Spitze, 20 µm
Signalperiode
10,0
0,001
0,2
0,05
0,2
0,05
±2
±0,5
<1
<1
Gabellichtschranke, Öffner, 5V, NPN
L-738.051112
Inkrementeller
Linearencoder
A/B-Quadratur,
TTL
0,01
0,05
0,05
±0,5
<1
MP183D
L-738 / V-738 Präzisions-Kreuztisch
Einheit
Toleranz
mm
µrad
typ.
µrad
typ.
µrad
typ.
µrad
typ.
µm
typ.
µrad
typ.
mm/s
max.
Einheit
Toleranz
µm
µm
typ.
µm
typ.
µm
typ.
µm
typ.

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