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MICRO-EPSILON capaNCDT 6110/IP Betriebsanleitung Seite 41

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Anhang | Anhang
Vakuumdurchführung
UHV/B
capaNCDT 6110 / 6120
25
13,5
6
Schweißnaht
Vakuumdurchführung triax
mit CF16 Flansch
Maximale Leckrate 1x10e-9 mbar · l s-
Kompatibel zu Stecker Typ B
1
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