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primes HighPower-MicroSpotMonitor Kurzanleitung/Originalbetriebsanleitung Seite 21

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HighPower-MicroSpotMonitor
Abb. 8.5:
Einrichthilfe für den HP-MSM
Der Messebenenabstand beim HP-MSM entspricht der Entfernung der Abbildungsebene von der Oberkante
des Zyklons bzw. des Schutzglashalters. Dieser ist sowohl von dem Strahlweg (Standard, Strahwegsverlän-
gerung SWV, Justageobjektiv JO) als auch von der Wellenlänge abhängig (siehe Tab. 8.1).
Abb. 8.6:
Einrichthilfe für den HP-MSM-HB
Der Messebenenabstand beim HP-MSM-HB entspricht der Entfernung der Abbildungsebene von der Oberkan-
te der Montageplatte des Zyklons. Dieser ist sowohl von dem Strahlweg (Standard, Strahwegsverlängerung
SWV, Justageobjektiv JO) als auch von der Wellenlänge abhängig (siehe Tab. 8.1).
Messobjektiv
MOB HP-MSM, 5-fach
Vom Rand des Zyklons
Vom Rand des Schutzglashalters
MOB HP-MSM-HB, 5-fach
Tab. 8.1:
Messsebenenabstände
Revision 01/2018 DE
Laserstrahl
Einrichthilfe
Wellenlänge
in nm
Einrichthilfe
1064
1064
1064
Markierung der Einrichthilfe
Länge der
Messebenenabstand
in mm
Standard
32,1
32,1
84,6
84,6
32,8
in mm
SWV
JO
27,7
27,8
80,6
80,7
32,8
32,3
21

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