HighPower-MicroSpotMonitor
Abb. 8.5:
Einrichthilfe für den HP-MSM
Der Messebenenabstand beim HP-MSM entspricht der Entfernung der Abbildungsebene von der Oberkante
des Zyklons bzw. des Schutzglashalters. Dieser ist sowohl von dem Strahlweg (Standard, Strahwegsverlän-
gerung SWV, Justageobjektiv JO) als auch von der Wellenlänge abhängig (siehe Tab. 8.1).
Abb. 8.6:
Einrichthilfe für den HP-MSM-HB
Der Messebenenabstand beim HP-MSM-HB entspricht der Entfernung der Abbildungsebene von der Oberkan-
te der Montageplatte des Zyklons. Dieser ist sowohl von dem Strahlweg (Standard, Strahwegsverlängerung
SWV, Justageobjektiv JO) als auch von der Wellenlänge abhängig (siehe Tab. 8.1).
Messobjektiv
MOB HP-MSM, 5-fach
Vom Rand des Zyklons
Vom Rand des Schutzglashalters
MOB HP-MSM-HB, 5-fach
Tab. 8.1:
Messsebenenabstände
Revision 01/2018 DE
Laserstrahl
Einrichthilfe
Wellenlänge
in nm
Einrichthilfe
1064
1064
1064
Markierung der Einrichthilfe
Länge der
Messebenenabstand
in mm
Standard
32,1
32,1
84,6
84,6
–
32,8
in mm
SWV
JO
27,7
27,8
80,6
80,7
32,8
32,3
21