INFICON SKY CDG045 Gebrauchsanleitung

SKY™ Capacitance
Diaphragm Gauge
CDG045
CDG045-H
Gebrauchsanleitung
inkl. Konformitätserklärung
tina07d1-b
Produktidentifikation
Im Verkehr mit INFICON sind die Angaben des Typen-
schildes erforderlich. Tragen Sie deshalb diese Angaben ein.
INFICON AG, LI-9496 Balzers
Model:
PN:
SN:
V
Gültigkeit
Dieses Dokument ist gültig für Produkte mit den Artikel-
nummern:
CDG045:
0 Þ Torr
1 Þ Pa
2 Þ mbar
0 Þ !"-Rohr
1 Þ DN 16 ISO-KF
2 Þ DN 16 CF-R
3 Þ 8 VCR
360-010
0 Þ 10
... 1000 Torr (F.S.)
-1
1 Þ 10 ... 100 Torr (F.S.)
-2
2 Þ 10 ... 10 Torr (F.S.)
-3
4 Þ 10 ... 1 Torr (F.S.)
-4
5 Þ 10
... 0.1 Torr (F.S.)
-5
0 Þ 1.33×10
... 133322 Pa (F.S.)
1
1 Þ 1.33×10
... 13332.2 Pa (F.S.)
0
2 Þ 1.33×10
... 1333.22 Pa (F.S.)
-1
4 Þ 1.33×10 ... 133.322 Pa (F.S.)
-2
5 Þ 1.33×10 ... 13.3322 Pa (F.S.)
-3
0 Þ 1.1×10 ... 1100 mbar (F.S.)
-1
1 Þ 10 ... 100 mbar (F.S.)
-2
2 Þ 10
... 10 mbar (F.S.)
-3
4 Þ 10
... 1 mbar (F.S.)
-4
5 Þ 10 ... 0.1 mbar (F.S.)
-5
CDG045-H High Speed:
-4
371-030 (10 ... 1 Torr (F.S.),
-5
371-031
(10 ... 0.1 Torr (F.S.),
-4
371-032
(10 ... 1 Torr (F.S.),
-5
371-033
(10 ... 0.1 Torr (F.S.),
Sie finden die Artikelnummer (PN) auf dem Typenschild.
Nicht beschriftete Abbildungen entsprechen dem Vakuuman-
schluss DN 16 ISO-KF. Sie gelten sinngemäss auch für die
anderen Vakuumanschlüsse.
Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbe-
halten.
Alle Massangaben in mm.
Bestimmungsgemässer Gebrauch
Die temperaturgeregelten SKY™ Capacitance Diaphragm
Gauges der Serien CDG045 und CDG045-H sind Vakuum-
Messröhren und erlauben die Absolutdruck-Messung von
Gasen in unterschiedlichen Messbereichen (® "Gültigkeit").
Die Messröhren können mit einem INFICON Messgerät oder
mit einem kundeneigenen Auswertegerät betrieben werden.
Funktion
Die CDG-Messröhren bestehen aus einem keramischen
kapazitiven Aufnehmerelement und einer Elektronik, die die
Kapazität in ein Gleichspannungs-Ausgangssignal um-
wandelt.
Das Ausgangssignal ist linear mit dem zu messenden Druck
und unabhängig von der zu messenden Gasart.
Um Ablagerungen von Prozess- und Prozessnebenprodukten
zu vermeiden, wird der Sensor geheizt und konstant auf
(0304)
45 °C geregelt.
Warenzeichen
SKY™
VCR®
Sicherheit
W
Verwendete Symbole
GEFAHR
Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher
Art.
Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umwelt-
schäden.
Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeach-
ten kann zu Störungen oder geringfügigen Sachschäden
führen.
Personalqualifikation
Fachpersonal
Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen
nur durch Personen ausgeführt werden, welche die ge-
eignete technische Ausbildung besitzen und über die nöti-
gen Erfahrungen verfügen oder durch den Betreiber ent-
sprechend geschult wurden.
Grundlegende Sicherheitsvermerke
· Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Pro-
zessmedien die einschlägigen Vorschriften und halten Sie
die Schutzmassnahmen ein.
Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen zwischen Werk-
stoffen und Prozessmedien.
DN 16 ISO-KF)
DN 16 ISO-KF)
8 VCR)
8 VCR)
1)
Bei p < 1 mbar und T
geregelten Messröhren die Linearität von der thermischen
Transpiration (gasartabhängig) maximal in der Grössen-
ordnung der Nullpunktstabilität beeinflusst.
Siehe K. F. Poulter et al., Vacuum 33, 331 (1983); W. Jitschin
and P. Röhl, J. Vac. Sci. Technol. A, Vol. 5, No. 3, 1987.
1)
INFICON GmbH
Swagelok Marketing Co.
WARNUNG
Vorsicht
¹ T wird bei den temperatur-
Messröhre Vakuum
· Alle Arbeiten sind nur unter Beachtung der einschlägigen
Vorschriften und Einhaltung der Schutzmassnahmen zu-
lässig. Beachten Sie zudem die in diesem Dokument an-
gegebenen Sicherheitsvermerke.
· Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine
eventuelle Kontamination. Beachten Sie beim Umgang mit
kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften und
halten Sie die Schutzmassnahmen ein.
Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer
weiter.
Verantwortung und Gewährleistung
INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewähr-
leistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen
· dieses Dokument missachten
· das Produkt nicht bestimmungsgemäss einsetzen
· am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, Änderungen
usw.) vornehmen
· das Produkt mit Zubehör betreiben, welches in den zu-
gehörigen Produktdokumentationen nicht aufgeführt ist.
Die Verantwortung in Zusammenhang mit den verwendeten
Prozessmedien liegt beim Betreiber.
Technische Daten
Messbereich
® "Gültigkeit"
Genauigkeit 0.15% des Messwerts
Auflösung
360-X1X ... 362-X1X 0.0015% F.S.
364-X1X, 365-X1X 0.0025% F.S.
371-030 ... 371-033 0.0025% F.S.
Temperatureinfluss auf
Nullpunkt 0.0025% F.S./ °C
360-X1X ... 364-X1X 0.0050% F.S./ °C
365-X1X
0.0025% F.S./ °C
371-030, 371-032 0.0050% F.S./ °C
371-031, 371-033
Temperatureinfluss auf Bereich
360-X1X ... 365-X1X 0.01% des Messwerts/ °C
371-030 ... 371-033 0.01% des Messwerts/ °C
Gasartabhängigkeit keine
Ausgangssignal (Messsignal)
Messbereich 0 ... +10.0 V
Spannungsbereich –11 ... +11.0 V
Beziehung Spannung-Druck linear
Ausgangsimpedanz 200 W (kurzschlussfest)
Minimale Lastimpedanz
10 kW
Ansprechzeit
360-X1X ... 362-X1X 30 ms
364-X1X, 365-X1X 100 ms
371-030 ... 371-033 30 ms
Identifikation der Messröhre
Widerstand 13.2 kW
gegen Speisungserde
Speisung
GEFAHR
Die Messröhre darf nur an Speise- oder Mess-
geräte angeschlossen werden, die den Anforde-
rungen der geerdeten Schutzkleinspannung
(SELV-E nach EN 61010) entsprechen. Die Lei-
tung zur Messröhre ist abzusichern.
Versorgungsspannung
an der Messröhre
an Pin 7 +15 VDC ±5%
oder Pin 11
+18.0 ... +26.4 VDC
Leistungsaufnahme
(speisespannungsabhängig)
während Aufheizphase 9 ... 19 W
bei Betriebstemperatur 4 ... 5 W
Interne Sicherung 1 AT, automatisch rück-
stellend (Polifuse)
Messröhre ist gegen Verpolung der Versorgungsspannung
geschützt.
2)
INFICON Messgeräte erfüllen diese Forderungen.
1)
1)
2)