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INFICON CDG025D Gebrauchsanleitung Seite 21

Capacitance diaphragm gauge
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<ZERO> Adjust
4.2.1
Evakuieren Sie die Messröhre bis zu einem Druck entspre-
chend der nachfolgenden Tabelle:
F.S.
1100 mbar
1000 Torr/mbar
200 Torr/mbar
100 Torr/mbar
20 Torr/mbar
10 Torr/mbar
2 Torr/mbar
1 Torr/mbar
0.25 Torr/mbar
0.1 Torr/mbar
Wird die Nullpunkteinstellung bei zu hohem Enddruck
(>25% von F.S.) durchgeführt, kann Zero nicht erreicht
werden und die LED <RUN> blinkt. In diesem Fall erst die
Werkseinstellungen aktivieren und dann den Nullpunkt
erneut abgleichen (→
Die Messröhre mind. ¼ Stunde betreiben (bis Messwert
stabil ist).
tina49d1-c
(2009-06)
Empfohlener Enddruck
bei Nullpunkteinstellung
<6.65 × 10
-2
<5 × 10
<6.65 × 10
Torr
-2
<10
Torr
<1.33 × 10
-3
<5 × 10
Torr
<6.65 × 10
-3
<1.33 × 10
<10
Torr
-4
<5 × 10
<6.65 × 10
Torr
-4
<1.33 × 10
<10
Torr
-5
<5 × 10
<6.65 × 10
Torr
-5
<10
Torr
<1.33 × 10
-6
<5 × 10
<6.65 × 10
Torr
27).
0
-2
<5 × 10
Pa
0
-2
<5 × 10
Pa
-0
-2
Pa
<10
-1
-3
Pa
<5 × 10
-1
-3
Pa
<10
-2
-4
<5 × 10
Pa
-2
-4
Pa
<10
-3
-5
<5 × 10
Pa
-3
-5
Pa
<10
-4
-6
<5 × 10
Pa
mbar
mbar
mbar
mbar
mbar
mbar
mbar
mbar
mbar
mbar
21

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