7.3. Kugelgestrahlte Oberflächen
Die physikalische Natur von kugelgestrahlten Oberflächen führt zu Messungen der
Schichtdicke, in denen zu hohe Messwerte angegeben werden. Die mittlere
Schichtdickeicke über die Spitze kann wie folgt bestimmt werden.
Methode 1:
a. Der Sensor sollte nach Kapitel 7.2. kalibriert werden. (Ein - oder
Mehrpunktkalibrierung). Verwenden Sie eine glatte Kalibrierungsprobe mit
dem gleichen Krümmungsradius und dem gleichen Substrat wie die spätere
Messprobe.
b. Führen Sie etwa 10 Messungen mit der unbeschichteten, kugelgestrahlten
Probe durch, um den Mittelwert A zu ermitteln.
c. Führen Sie nun etwa 10 weitere Messungen mit der beschichteten,
kugelgestrahltem Testprobe durch, um den Mittelwert B zu erhalten.
d. Die Beschichtungsdicke T = (B-A) ± S. "S" ist die höhere Standardabweichung
von Schritt b und Schritt c.
Methode 2:
a. Der Sensor sollte nach 7.2. kalibriert werden. (Ein - oder
Mehrpunktkalibrierung) auf der kugelgestrahlten Probe.
b. Führen Sie nun etwa 10 Messungen mit der kugelgestrahlten Testprobe durch,
um einen Mittelwert zu erhalten, der dann als Endbeschichtungsdicke
verwendet werden kann.
7.4. Löschen der Kalibrierung
Der Benutzer kann zum Löschen der Kalibrierung neue Anwendungen zu starten.
Bei inkorrekten Kalibrierungen ist es auch notwendig die Kalibrierdaten zu löschen.
a. Drücken Sie die " -Taste" einmal, um in den Menü-Modus ("Root"
Verzeichnis) zu gelangen.
b. Drücken Sie die "
aktivieren und drücken Sie dann die " -Taste", um in das Kalibriermenu zu
gelangen.
c. Drücken Sie die "
löschen" auszuwählen. (Hinweis: Der Benutzer kann entscheiden, ob nur ein
Teil der Daten gelöscht werden soll. Für Details sehen Sie sich bitte das Menü
an.)Durch Drücken der " -Taste" wird die Funktion „Alles löschen" aktiviert
und sämtliche Daten werden gelöscht. Ein Dialogfenster mit der
Sicherheitsabfrage wird angezeigt.
d. Drücken Sie die " -Taste" einmal, um die Auswahl zu bestätigen und gehen
Sie zurück, oder drücken Sie " -Taste", um die Aktion abzubrechen.
-Taste" oder "
-Taste" oder "
-22-
-Taste", um den Kalibriermodus zu
-Taste", um den Menüpunkt "Alles