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ESD-Messungen an beengten Plätzen
In Fällen, wo beengter Platz oder erhöhte Temperatur eine Rolle
spielen, verbindet man das 3M™ EM EYE Meter mit einer Fern-
antenne über ein Koaxialkabel. Die Fernantenne ist ein kleiner
Würfel mit den Maßen (2 x 2,5 x 2,5) cm und kann im Temperatur-
bereich von -55°C bis 165°C eingesetzt werden.
Halbleiter-Prüfstationen
Zur Prüfung von ICs befi ndet sich eine Prüfsockelanord-
nung in einer beengten Kammer, die auf niedrige oder hohe
Temperatur gebracht wird. Eine Fernantenne (CTC113 oder
CTC115), angeschlossen an das EM EYE Meter, ermöglicht
eine erweiterte Analyse.
EM EYE Meter-Einstellungen:
• ESD-Modell:
• Grenzwert:
• Abstand:
• Filter:
• Antenne:
Anbringung von Werkzeugen
Zur Erkennung von Entladungen vom Wafer auf die "Pick
and Place"-Einrichtung.
EM EYE Meter-Einstellungen:
• ESD-Modell:
• Grenzwert:
• Abstand:
• Filter:
Stapeleineinrichtungen
Zur Erkennung von Entladungen in HSA-Maschinen.
EM EYE Meter-Einstellungen:
• ESD-Modell:
• Grenzwert:
• Abstand:
• Filter:
38
CDM
3 V
3 in. (7,5 cm)
"ECHT" (True) ESD
CTC113 oder CTC115
CDM
10 V
4 in. (10 cm)
"ECHT" (True) ESD
CDM
3 V
3 in. (7,5 cm)
"ECHT" (True) ESD
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