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BETRIEB
Turbopumpe Ein-Auschalten:
(siehe 6.1 - 6.4*)
Vor dem ersten Einschalten:
– Betriebsmittel eingefüllt? (siehe Installation)
Vor jedem Einschalten:
– Bei Kühlwasser vom Netz: Zufluß öffnen.
– Sperrgaszufuhr öffnen (siehe 4.6*).
Einschalten:
– Mit Schalter S1 an der TCP.
– Läuft die Turbopumpe nicht an, Reset-Taste S3 an
der TCP 5 Sekunden lang drücken (eventuell
mehrfach).
Vor dem Abschalten:
HV-Ventil schließen, danach Turbopumpe minde-
stens noch 15 Minuten mit Sperrgas betreiben.
Abschalten: Mit Schalter S1.
– Sperrgaszufuhr schließen (siehe 4.6*).
– Bei Kühlwasser vom Netz: Zufluß absperren.
Heizung Ein-Ausschalten (wenn installiert):
Einschalten:
Durch Betätigen des Schalters S2. Erst nach Über-
schreiten des Drehzahlschaltpunktes wird die Hei-
zung eingschaltet.
Ausschalten:
Mit dem Ausschalten der Turbopumpe bzw. mit
Schalter S2 (an der TCP).
Fluten: (siehe 4.5*)
– Manuell: Durch Öffnen der Belüftungsschraube
im Flutanschluß 14.
– Automatisch: Nach dem Ausschalten der Turbo-
pumpe bzw. bei Stromausfall sofort oder verzö-
gert (Belüftungsschraube ersetzt durch Flutventil
TVF oder TSF).
Stillsetzen: (siehe 6.5*)
– Turbopumpe ausschalten, fluten und aus der
Anlage demontieren;
– Turbopumpe gemäß 7.1.1* reinigen, evakuieren
und mit N2 oder trockener Luft fluten;
– Vorvakuum- und Flutanschluß verschließen;
– Turbopumpe senkrecht auf den Kunststoffüßen
abstellen und für trockene Lagerung sorgen.
INSTANDHALTUNG
Permanentmagnetlager-hochvakuumseitig: war-
tungsfrei. Kugellager-vorvakuumseitig: umlaufge-
schmiert (Intervall für Lagerwechsel je nach Bean-
spruchung und Verschmutzung).
Betriebsmittel: "F3" ca. 65 ml
– Erstfüllung: Siehe Installation
– Wechsel: Spätestens nach einem Jahr (siehe
7.2*). Bei ungünstigen Bedingungen öfter. Einfül-
len (mit Injektionsspritze) bzw. Ablassen siehe
Pos.38/39.
Reinigung: (siehe 7.1* und 7.1.1*)
– Leichte Verschmutzung: Reinigung in reinem
Alkohol. Achtung! Einschlägige Vorschriften im
Umgang mit Lösungsmitteln beachten.
– Starke Verschmutzung: Reinigung durch
BALZERS-Service.
Lagerwechsel: (siehe 7.4 - 7.4.2*)
– Ersatzteilpaket-Lagerwechsel:
Bestell-Nr. PM 568 010 -T
Einsendung zur Reparatur:
– Nur schadstofffrei (siehe 1.1* und 8.2*).
*In der Betriebsanweisung PM 800 302 BD,E,F
6
OPERATION
Turbo pump switching ON and OFF:
(see 6.1 - 6.4*)
Before switching on for the first time:
– Has the pump fluid been filled in ? (see Installati-
on).
Always before switching on:
– With mains cooling water: open supply.
– Open sealing gas supply (see 4.6*).
Switching on:
– With push-button S1 on the TCP.
– If the turbo pump does not start, press the Reset
push-button S3
for 5 seconds (if necessary, several times).
Before switching off:
Close high vacuum valve and let the pump run for
at least 15 minutes with sealing gas.
Switching off: with push-button S1.
– Close off sealing gas supply (see 4.6*).
– With mains cooling water: close supply.
Switching the heater ON/OFF (if fitted):
Switching on:
With push-button S2. Only when the rotation speed
switchpoint is exceeded is the heating switched on.
Switching off:
By switching off the turbo pump or with push-but-
ton S2 (on the TCP).
Venting: (see 4.5*)
– Manually: by opening the venting screw in ven-
ting connection 14.
– Automatically: after switching off the turbo pump
or, in the event of a power failure, immediately or
delayed (venting screw replaced by Venting Valve
TVF or TSF).
Shutting down:(see 6.5*)
– Switch off turbo pump, vent and remove from the
pumping station;
– Clean turbo pump as per 7.1.1*, evacuate and
vent with N2 or dry air;
– Close fore-vacuum and venting connection;
– Stand turbo pump vertically on its synthetic legs
and ensure dry storage conditions.
MAINTENANCE
Permanent magnetic bearing - high vacuum side:
maintenance-free. Ball bearing - fore-vacuum side:
circulatory lubrication system (bearing change
intervals contingent on load and contamination
levels).
Pump fluid: "F3" approx. 65 ml
– Initial filling: see "Installation".
– Change: not later than after 1 year, (see 7.2*). For
draining and filling using a syringe refer to positi-
ons 38/39.
Cleaning: (see 7.1* and 7.1.1*)
– Light contamination - clean in pure alcohol.
Caution:
Relevant regulations concerning the handling of
solvents must be observed.
– Heavy contamination - cleaning by BALZERS Ser-
vice.
Replacing the bearings: (see 7.4* and 7.4.2*)
– Spare parts pack for bearing replacement:
Order nr. PM 568 010 -T.
Returning for repair:
– Only if free from harmful substances (see 1.1*
and 8.2*).
* In Operating Instructions PM 800 302 BD,E,F
FONCTIONNEMENT
Mise en marche/à l'arrêt de la pompe turbo:
(voir 6.1 - 6.4*)
Avant la première mise en marche:
– Pompe remplie avec du fluide moteur? (voir Installation)
Avant chaque mise en marche:
– Pour l'eau de refroidissement venant du réseau:
ouvrir le débit.
– Ouvrir l'alimentation de gaz de blocage (voir 4.6*).
Mise en marche:
– Avec l'interrupteur S1 à la TCP.
– Si la pompe turbo ne démarre pas, appuyer sur la
touche RAZ S3 à la TCP pendant 5 Secondes (plu-
sieurs fois éventuellement).
Avant la mise à l'arrê:
– Fermer la valve de vide élevé, ensuite faire mar-
cher la pompe turbo encore au moins 15 minutes
avec le gaz de blocage.
Mise à l'arrêt: Avec l'interrupteur S1.
– Fermer l'alimentation du gaz de blocage (voir 4.6*).
– Pour l'eau de refroidissement venant du réseau:
bloquer le débit.
Mise en marche/Arrêt du chauffage (si installé):
Mise en marche:
En actionnant l'interrupteur S2. Seulement après le
dépassement du point de commutation de la vites-
se de rotation, le chauffage sera mis en marche.
Mise à l'arrêt:
Par l'arrêt de la pompe turbo ou avec l'interrupteur
S2 (à la TCP).
Remise à l'air: (voir 4.5*)
– Manuellement: Par l'ouverture de la vis d'aérati-
on sur le raccord de remise à l'air 14.
– Automatique: Après l'arrêt de la pompe turbo ou
pendant une coupure de courant immédiatement
ou temporisée (vis d'aération remplacée par une
soupape de remise à l'air TVF ou TSF).
Immobilisation: (voir 6.5*)
– Arrêter la pompe turbo, faire la remise à l'air et la
démonter du système;
– Nettoyer la pompe turbo suivant 7.1.1*, l'évacuer et
faire la remise à l'air avec N2 ou avec de l'air sec;
– Fermer le raccord de vide primaire et de remise à l'air.
– Placer la pompe turbo verticalement sur les pieds en
matière plastique et la stocker dans un endroit sec.
ENTRETIEN :
Paliers à aimants permanents-côté vide élevé: sans
entretien. Roulement à billes-côté vide primaire:
lubrifié par circulation,(intervalles pour le change-
ment des paliers suivant l'usage et lasalissure.)
Fluide moteur: "F3" env. 65 ml
– Premier remplissage: voir installation
– Vidange: au plus tard au bout d'un an (voir 7.2*).
Plus souvent pour les cas d'utilisation dans des
conditions défavorables. Remplir (avec une serin-
gue d'injection) ou vidanger voir Pos. 38/39.
Nettoyage: (voir 7.1* et 7.1.1*)
– Encrassement léger: nettoyage avec de l'alcool
pur. Attention! Considérer les prescriptions con-
cernant la manipulation des solvants.
– Encrassement fort: Nettoyage effectué par le ser-
vice après-vente BALZERS.
Remplacement des paliers: (voir 7.4* et 7.4.2*)
– Jeu de pièces de rechange pour le changement
des paliers:
Numéro de commande: PM 568 010 -T.
Expédition pour la réparation:
– Les pièces doivent être exemptes de produits
nocifs, (voir 1.1* et 8.2*)
* Dans les instructions de service
*
PM 800 302 BD,E,F
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