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2 Technische Daten
Turbomolekularpumpe
Turbomolecular pump
Anschlußnennweite
Nominal connection
of diameter
Eingang
Inlet
Ausgang
Outlet
Saugvermögen für
Volume flow rate for
Stickstoff N
Nitrogen N
2
Helium He
Helium He
Wasserstoff H
Hydrogen H
2
Kompressionsver-
Compression
hältnis für
ratio for
N
N
2
He
He
H
H
2
Max. Gasdurchsatz bei
Max. throughput with
2)
Nenndrehzahl
rated rotation speed
Max. Gasdurchsatz bei
Max. throughput with
8)
Stand-by Drehzahl
stand-by rotation speed
3)
Theoretischer Enddruck
Theoretical ultimate pressure
4)
Enddruck 1
Ultimate pressure 1
4)
Enddruck 2
Ultimate pressure 2
4)
Enddruck 3
Ultimate pressure 3
Nenndrehzahl
Rated rotation speed
Stand-by Drehzahl
Stand-by rotation speed
5)
Hochlaufzeit
Run-up time
Betriebsmittel
Pump fluid
Füllmenge
Filling quantity
Kühlart: Serienmäßig
Type of cooling: Standard
6)
Kühlwasserbedarf
Cooling water requirement
Zul. Kühlwassertemperatur
Permissible cooling water
temperature
Zulässige
Permissible ambient
Umgebungstemperatur
temperature
Heizmanschette
Heating jacket
Leistungsaufnahme der
Power input of heater
Heizung
Sperrgasmenge
Sealing gas volume
Zulässiges Magnetfeld,
Permissible magnetic field,
7)
max.
max.
Gewicht
Weight
Empfohlene Vorpumpe,
Recommended backing pump,
min.
min.
Antriebselektronik
Electronic drive unit
1)
1 mbar l/s = 60 sccm.
2)
Mit empfohlener Vorvakuumpumpe und
TCP 600 gemessen. Beim Überschreiten
des angegebenen Gasdurchsatzes sinkt
die Pumpendrehzahl ab. Hierdurch wird
die Einstellzeit (Einpendeln Druck-Gas-
durchsatz) länger. Bei Gasdurchsatz
> 5 mbar l/s muß mit Stand-by Betrieb
gefahren werden.
3)
Der Wert, dem sich der Druck innerhalb
des Messdoms asymptotisch nähert. Er
ist der niedrigste Druck, der mit der
Pumpe erreicht werden kann
(lt. DIN 28 428).
4)
Erläuterungen siehe Abschnitt 2.3.
5)
bis 90 % der Nenndrehzahl mit
TCP 380/TCP 600.
6)
Bei maximaler Gaslast sind bis zu 80 l/h
Kühlwasser erforderlich.
7)
Bei stärkeren Magnetfeldern Abschir-
mung auf Anfrage.
8)
Gemessen mit einer Vorpumpe von
3
120 m
/h.
2 Technical Data
2
2
2
2
2)
8)
3)
4)
4)
4)
5)
6)
7)
1)
1 mbar l/s = 60 sccm.
2)
Measured with the recommended
backing pump and TCP 600.
If the gas throughput stated is exceeded,
the pump rotation speed reduces. The set
time is hereby longer (levelling out pres-
sure-gas throughput). With > 5 mbar l/s
gas throughput stand-by mode must be
operated.
3)
Value to which the pressure in the test
dome converges asymptotically. It is the
lowest pressure which can be attained
with the pump (according to German
Industrial Standard 28 428).
4)
See Section 2.3 for explanation.
5)
Up to 90 % of the nominal rotation speed
with the TCP 380/600.
6)
With maximum gas load up to 80 l/h coo-
ling water is required.
7)
For more powerful magnetic fields, shiel-
ding is available on request.
8)
Measured with a backing pump of
120 m
Pompe turbomoléculaire
Diamètre nominal des
raccords
Entrée
Sortie
Capacité d'aspiration pour
Azote N
2
Helium He
Hydrogène H
2
Taux de
compression pour
N
2
He
H
2
Max. débit de gaz avec
2)
vitesse nominale
Max. débit de gaz avec
8)
vitesse en mode Stand-by
3)
Pression finale théorique
4)
Pression finale 1
4)
Pression finale 2
4)
Pression finale 3
Vitesse nominale
Vitesse en mode Stand-by
5)
Temps d'accéleration
Agent lubrifiant
Quantité de remplissage
Mode de refroidissement: Standard
Consommation eau de
6)
refroidissement
Température d'eau de
refroidissement admissible
Temperature ambiante
admissible
Chemise chauffante
Puissance absorbée par le
chauffage
Gaz de blocage
Champ magnétique admissible,
7)
max.
Poids
Pompe primaire recommandée,
min.
Commande électronique
d'entraînement
3
/h.
2 Caractéristiques
2
techniques
TPH/TPU 1600
DN 200 ISO-K/
DN 200 CF-F
DN 40 ISO-KF
l/s
1100
l/s
1370
l/s
1250
8
10
4
3 · 10
3
2,2 · 10
1)
mbar l/s
5
1)
mbar l/s
11
-11
mbar
10
-10
mbar
< 1 · 10
-9
mbar
< 1 · 10
-8
mbar
< 1 · 10
1/min
36000
1/min
24000
min
20/8
F3
3
cm
65
Wasser / Water / Eau
l/h
20
˚C
5 - 20
˚C
0 - 50
TPU x
W
400
1)
mbar l/s
,
max.
0,5
mT
3
kg
49/51
3
m
/h
120
TCP 380/600
1)
1 mbar l/s = 60 sccm.
2)
Mesuré avec pompe à vide primaire con-
seillée et TCP 600. En cas de dépasse-
ment du débit de gaz indiqué la vitesse
de rotation de la pompe diminue. Dans ce
cas le temps de réglage (pression débit
de gaz-oscillants) sera plus long. Pour un
débit de gaz > 5 mbar l/s il faut utiliser le
mode Stand-by.
3)
La valeur dont la pression s'approche de
manière asymptotique dans le dôme de
mesure. C'est la pression minimale qui
peut être atteinte avec la pompe (confor-
mément à DIN 28 428).
4)
Explications, voir chapitre 2.3.
5)
jusqu'à 90 % de la vitesse nominale avec
TCP 380/TCP 600.
6)
Pour une charge de gaz maximum,
jusqu'à 80 l/h d'eau de refroidissement
sont nécessaire.
7)
En cas de champs magnétiques plus puis-
sants, blindage sur demande.
8)
Mesuré avec une pompe primaire de
3
120 m
/h.
TPH/TPU 1600
DN 250 ISO-K/
DN 250 CF-F
DN 40 ISO-KF
1500
1500
1400
8
10
4
3 · 10
3
2,2 · 10
5
11
-11
10
-10
< 1 · 10
-9
< 1 · 10
-8
< 1 · 10
36000
24000
20/8
F3
65
20
5 - 20
0 - 50
TPU x
400
0,5
3
51/53
120
TCP 380/600
13
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