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Temperaturüberwa-
chung
6.5 Ausschalten und Fluten
7 Wartung / Austausch
7.1 Wartungsintervalle und -zuständigkeiten
LED grün
LED rot
leuchtet
blitzt kurz
(1/12s aktiv)
blinkt (1/2s aktiv)
leuchtet
blinkt (1/2 s aktiv)
Bei unzulässiger Motortemperatur oder unzulässig hoher Gehäusetemperatur
wird der Motorstrom reduziert. Dies kann zum Unterschreiten des eingestellten
Drehzahlschaltpunktes und damit zum Abschalten der Turbomolekularpumpe füh-
ren.
Nach dem Ausschalten ist die Turbopumpe zu fluten, um Verunreinigungen durch
zurückströmende Partikel aus dem Vorvakuumbereich zu vermeiden.
Vorvakuum schließen. Vorvakuumpumpe ausschalten oder Vorvakuumventil
schließen.
Turbopumpe mit Schalter S1 am Bediengerät oder über Fernbedienung aus-
schalten.
Pumpe hochvakuumseitig in minimal 5 s auf Atmosphärendruck fluten.
Kontamination von Teilen und Betriebsmittel durch gepumpte Medien möglich
Vergiftungsgefahr durch Kontakt mit gesundheitsschädlichen Stoffen.
Im Falle einer Kontamination entsprechende Sicherheitsvorkehrungen treffen, um
Gesundheitsgefährdungen durch gefährliche Substanzen zu verhindern.
Betreffende Teile vor der Ausführung von Wartungsarbeiten dekontaminieren.
Haftungsausschluss
Für Schäden und Betriebsstörungen, die aufgrund unsachgemäß ausgeführter War-
tung entstehen, übernimmt Pfeiffer Vacuum keine Haftung für Personen- oder Materi-
alschäden. Der Haftungs- und Gewährleistungsanspruch erlischt.
• Turbopumpe außen mit fusselfreiem Tuch und wenig Industriealkohol reinigen.
• Betriebsmittelspeicher und Antriebselektronik können Sie selbst austauschen.
• Betriebsmittelspeicher mindestens alle 3 Jahre wechseln.
– Kürzere Wechselintervalle bei extremen Belastungen oder unreinen Prozes-
sen mit dem Pfeiffer Vacuum Service abklären.
Bedeutung
Netzteil in Ordnung
Funktion "Pumpstand ein" ausgeführt
Netzteil in Ordnung
Pumpstand aus
Spannungsabfall; Netzausfall
Sammelfehler, z.B.
– Hochlaufzeitfehler
– Übertemperatur Pumpe
– Schaltausgang 2 aktiv (low)
Warnung, z.B.
– Erdschluss der Versorgungsspannung
– Netzausfall
WARNUNG
HINWEIS
Wartung / Austausch
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