Inhaltsverzeichnis
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Inhalt
1. Wichtig für Ihre Sicherheit .............. 3
1.1. Zu Ihrer Orientierung ........................................ 3
1.2. Piktogramm-Definition ...................................... 3
2. Kennenlernen der Pumpen ............. 4
TMH 071 / TMU 071
2.1. Hauptmerkmale ................................................ 4
Bestimmungsgemäße Verwendung................. 5
Nicht bestimmungsgemäße Verwendung........ 5
2.3. Lieferumfang .................................................... 5
3. Installation ........................................6
3.1. Hinweise vor der Installation ............................ 6
3.2. Hochvakuumseite anschließen......................... 6
Hochvakuumflansch installieren ....................... 7
Pumpe direkt anflanschen ................................ 8
3.3. Vorvakuumseite anschließen............................ 9
3.4. Kühlung anschließen......................................... 9
3.5. Flutventil anschließen ..................................... 10
3.6. Gehäuseheizung anschließen ......................... 10
3.7. Sperrgasventil anschließen............................. 10
3.8. Antriebselektronik TC 600 anschließen .......... 11
3.9. Netzteil installieren ......................................... 11
3.10. Pfeiffer Vacuum Anzeige- und ........................ 12
3.11. Anschluss der RS 485..................................... 12
3.12. Fernbedienung anschließen............................ 13
3.13. Anschlussplan................................................. 14
4. Betrieb ............................................ 15
4.1. Vor dem Einschalten....................................... 15
4.2. Einschalten ..................................................... 15
4.3. Betrieb über Fernbedienung ........................... 15
Fluten Freigabe (Option) ................................. 15
Motor Turbopumpe......................................... 15
Pumpstand...................................................... 15
Heizung/Reset ................................................ 16
Standby........................................................... 16
Drehzahlstellbetrieb über Eingang PWM........ 16
Schaltausgänge............................................... 16
Analogausgang ............................................... 16
4.4. Gasartabhängiger Betrieb ............................... 16
4.5. Betrieb mit DCU 001 / DCU 100..................... 17
oder HPU 001
4.6. Ausschalten und Fluten .................................. 17
4.7. Stillsetzen für längere Zeit .............................. 17
2
Seite
5. Überwachung des.......................... 18
Betriebszustandes
5.1. Betriebsanzeige über LED .............................. 18
5.2. Temperaturüberwachung ............................... 18
der Turbopumpe
6. Was tun bei Störungen?................ 19
7. Wartung / Austausch .................... 20
7.1. Austausch der Antriebselektronik................... 20
7.2. Schmiermittelspeicher ersetzen ..................... 21
Standardversion .............................................. 21
Y-Version (Einbau in allen Lagen).................... 22
8. Service ............................................ 23
9. Technische Daten ........................... 24
9.1. Maßbild........................................................... 25
10. Ersatzteile....................................... 26
11. Zubehör ......................................... 27
Erklärung zur Kontaminierung ........... 28
Herstellererklärung ............ (letzte Seite)
H H i i n n w w e e i i s s ! ! Aktuelle Betriebsanleitungen sind auch über
www.pfeiffer-vacuum.net verfügbar.
Informationen über Zertifizierungen ggf. dem Prüfsiegel auf
der Pumpe entnehmen oder unter:
☞ www.tuvdotcom.com
☞ TUVdotCOM-ID 0000021320
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