Pfeiffer Vacuum HIPACE 60 P Betriebsanleitung Seite 12

Sicherheit
Lebensgefahr durch fehlende Netztrenneinrichtung
Die Vakuumpumpe und die Antriebselektronik sind nicht mit einer Netztrenneinrichtung (Hauptschal-
ter) ausgestattet.
► Installieren Sie eine Netztrenneinrichtung gemäß SEMI-S2.
► Sehen Sie einen Leistungsschalter mit einem Ausschaltvermögen von min. 10.000 A vor.
Verletzungsgefahr aufgrund nicht sachgerechter Installation
Durch unsichere oder nicht sachgerechte Installation entstehen gefährliche Situationen.
► Nehmen Sie keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vor.
► Sorgen Sie für die Integration in einen Not‑Aus‑Sicherheitskreis.
Gefahr von Schnittverletzungen durch unvorhergesehenen automatischen Hochlauf
Das Verwenden von Gegensteckern für die Antriebselektronik (Zubehör), ermöglicht den sofortigen
Hochlauf der Vakuumpumpe nach Herstellen der Spannungsversorgung. Das Aufstecken von Ge-
gensteckern vor oder während der Installation führt zu der Gefahr von Schnittverletzungen an rotier-
enden scharfkantigen Teilen im offenliegenden Hochvakuumflansch.
► Verwenden Sie die Gegenstecker nur nach der mechanischen Installation.
► Schalten Sie die Turbopumpe nur unmittelbar vor dem Betrieb ein.
Risiken beim Betrieb
Verbrennungsgefahr an heißen Oberflächen bei Verwendung von Zusatzeinrichtungen zum
Heizen für den Betrieb
Die Verwendung von Zusatzeinrichtungen zum Heizen der Vakuumpumpe oder zur Prozessoptimie-
rung erzeugt sehr hohe Temperaturen an berührbaren Oberflächen. Es besteht Verbrennungsgefahr.
► Richten Sie ggf. einen Berührungsschutz ein.
► Bringen Sie ggf. dafür vorgesehene Warnaufkleber an den Gefahrenstellen an.
► Sorgen Sie für ausreichend Abkühlung vor Arbeiten an der Vakuumpumpe oder in deren Umge-
► Tragen Sie Schutzausrüstung, z.B. Handschuhe.
Gefahr schwerer Verletzungen bei Zerstörung der Vakuumpumpe durch Überdruck
Gaseintritt mit sehr hohem Überdruck führt zur Zerstörung der Vakuumpumpe. Es besteht die Gefahr
schwerer Verletzungen durch herausgeschleuderte Objekte.
► Überschreiten Sie nicht den zulässigen Einlassdruck von 1500 hPa (abs.) an Ansaugseite oder
► Stellen Sie sicher, dass prozessbedingt hohe Überdrücke nicht direkt in die Vakuumpumpe ge-
Gefahr von Verletzungen durch Kontakt mit Vakuum beim Belüften
Während des Belüftens der Vakuumpumpe besteht die Gefahr geringer Verletzungen durch unmittel-
baren Kontakt von Körperteilen mit dem Vakuum, z.B. Hämatome.
► Drehen Sie die Flutschraube beim Belüften nicht vollständig aus dem Gehäuse.
► Halten Sie Abstand zu automatischen Fluteinrichtungen, wie Flutventilen.
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WARNUNG
WARNUNG
WARNUNG
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bung.
WARNUNG
Flut- und Sperrgasanschluss.
langen.
VORSICHT