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Technische Daten; Spezifikationen; Datentabelle - PI UPL-120 Benutzerhandbuch

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Benutzerhandbuch
UPL120UM0001, gilt für UPL-120
ASt, 9.8.2023
8

Technische Daten

8.1

Spezifikationen

8.1.1

Datentabelle

Bewegen
Aktive Achsen
Stellweg in Z
Maximale Geschwindigkeit in Z,
unbelastet
Ebenheit (Lineares Übersprechen in X
bei Bewegung in Z)
Geradheit (Lineares Übersprechen in Y
bei Bewegung in Z)
Gieren (Rotatorisches Übersprechen in
θX bei Bewegung in Z)
Neigen (Rotatorisches Übersprechen in
θY bei Bewegung in Z)
Positionieren
Kleinste Schrittweite in Z
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit
in Z
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit in
Z
Referenzschalter
Wiederholgenauigkeit des
Referenzschalters
Endschalter
Integrierter Sensor
Sensorsignal
Sensorauflösung
Motorencoder
PI miCos GmbH, Freiburger Straße 30, 79427 Eschbach, Deutschland
Tel. +49 7634 5057-0, Fax +49 7634 5057-99, E-Mail info@pimicos.de,
Einheit
Tole-
6635911030,
ranz
6635911130
Z
mm
13
mm/s
6
µm
typ.
±3
µm
typ.
±3
µrad
typ.
±100
µrad
typ.
±100
Einheit
Tole-
6635911030
ranz
µm
typ.
0,1
µm
typ.
±0,125
µm
typ.
4
Encoder-Index
µm
1
Optisch
nm
Inkrementeller
Rotationsencoder
www.pi.de
6635921030,
6635921130-0001
Z
13
3
±3
±3
±100
±100
6635911130
0,1
±0,125
2
Encoder-Index
1
Optisch
Inkrementeller
Linearencoder
A/B-Quadratur, RS-
422
50
Inkrementeller
Rotationsencoder
Seite 20 / 28

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