3.5.2.1
Messzelle für Differenzdruck und Durchfluss
①
②
③
④
⑤
Bild 3-6
● Der Differenzdruck wird über die Trennmembranen
Silizium-Drucksensor
● Beim Überschreiten der Messgrenzen wird die Überlastmembran
die Trennmembran
Drucksensor
● Durch den Differenzdruck wird die Messmembran des Silizium-Drucksensors ausgelenkt.
Die Auslenkung ändert den Widerstandswert der vier in die Messmembran dotierten
Piezowiderstände in Brückenschaltung.
● Die Widerstandsänderung bewirkt eine dem Differenzdruck proportionale
Brückenausgangsspannung.
SITRANS P500 mit HART
Betriebsanleitung, 12/2014, A5E02344527-09
Silizium-Drucksensor
Eingangsdruck P
+
Druckkappe mit Prozessanschluss
O-Ring
Messzellenkörper
Funktionsplan Messzelle für Differenzdruck und Durchfluss
①
übertragen.
⑧
an den Messzellenkörper
①
vor Überlast geschützt.
⑥
Überlastmembran
⑦
Füllflüssigkeit
⑧
Trennmembran
⑨
Eingangsdruck P
-
⑧
und die Füllflüssigkeit
⑥
ausgelenkt, bis sich
⑤
anlegt. Hierdurch wird der Silizium-
Beschreibung
3.5 Arbeitsweise
⑦
auf den
29