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Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Die temperaturgeregelten Capacitance Diaphragm Gauges der
Serie Stripe CDG045Dhs sind Vakuum-Messröhren und erlau-
ben die Absolutdruck-Messung von Gasen in unterschiedlichen
Messbereichen (→ 3).
Die Messdaten werden idealerweise digital über die EtherCAT-
Schnittstelle oder analog ausgelesen. Die Messröhren können
auch mit einem INFICON-Messgerät (VGC-Serie) oder mit
einem kundeneigenen Auswertegerät betrieben werden.
Funktion
Eine keramische Membran wird durch den Druck ausgelenkt.
Diese Auslenkung wird kapazitiv gemessen und durch die digi-
tale Elektronik in ein digitales oder analoges, lineares Ausgangs-
signal umgewandelt. Das digitale Ausgangssignal kann nur über
die EtherCAT-Schnittstelle ausgelesen werden.
Das Ausgangssignal ist unabhängig von der zu messenden Gas-
art.
Der auf konstant 45 °C geheizte Sensor erlaubt sehr genaue
Druckmessungen. Durch die Temperaturregelung werden Um-
gebungseinflüsse weitgehend vermieden. Bei Prozessanwen-
dungen wird die Ablagerung von Prozess- und Prozessneben-
produkten reduziert.
Marken
Stripe™
®
VCR
Patente
EP 1070239 B1, 1040333 B1
US Patente 6528008, 6591687, 7107855, 7140085
4
INFICON GmbH
Swagelok Marketing Co.
tina84d1-a
(2019-07)
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