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Pfeiffer Vacuum HIPACE Betriebsanleitung
Pfeiffer Vacuum HIPACE Betriebsanleitung

Pfeiffer Vacuum HIPACE Betriebsanleitung

Sperrgasuberwachung
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BETRIEBSANLEITUNG
DE
Original
HIPACE
Sperrgasüberwachung

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Inhaltsverzeichnis
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Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum HIPACE

  • Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG Original HIPACE Sperrgasüberwachung...
  • Seite 2: Haftungsausschluss

    Sehr geehrte Kundin, sehr geehrter Kunde, wir freuen uns, dass Sie sich für unser Produkt entschieden haben. Ihr neues Pfeiffer Vacuum Zubehör soll Sie mit voller Leistungsfähigkeit und ohne Störungen bei ihrer individuellen Anwendung unterstützen. Der Name Pfeiffer Vacuum steht für hochwertige Vakuumtechnik, ein umfassendes Komplettangebot in höchster Qualität und erstklassigen...
  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis Zu dieser Anleitung Gültigkeit 1.1.1 Mitgeltende Dokumente 1.1.2 Zielgruppe Konventionen 1.2.1 Anweisungen im Text 1.2.2 Abkürzungen 1.2.3 Aufkleber auf dem Produkt Sicherheit Allgemeine Sicherheitshinweise Sicherheitsmaßnahmen Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Personenqualifikation Produktbeschreibung Funktionsbeschreibung Lieferumfang Installation Betrieb Störungen Fehlercodes Zubehör Technische Daten und Abmessungen Allgemeines Technische Daten...
  • Seite 4 Tabellenverzeichnis Tabellenverzeichnis Tab. 1: Mitgeltende Dokumente Tab. 2: Verwendete Abkürzungen im Dokument Tab. 3: Aufkleber auf dem Produkt Tab. 4: Parametereinstellungen in der Antriebselektronik der Turbopumpe Tab. 5: Warnmeldungen der Antriebselektronik Tab. 6: Zubehör Tab. 7: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz Tab.
  • Seite 5 Abbildungsverzeichnis Abbildungsverzeichnis Abb. 1: Position des Aufklebers auf dem Produkt Abb. 2: Aufbau Sperrgasüberwachung Abb. 3: Beispiel: Sperrgasüberwachung an HiPace 2300 montieren Abb. 4: Beispiel: Sperrgasüberwachung an TC anschließen Abb. 5: Beispiel: Inertgas an Sperrgasüberwachung anschließen Abb. 6: Zubehörübersicht Abb. 7: Abmessungen Sperrgasüberwachung...
  • Seite 6: Zu Dieser Anleitung

    Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Anga- ben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produktes.
  • Seite 7: Aufkleber Auf Dem Produkt

    Zu dieser Anleitung Antriebselektronik der Turbopumpe (turbo controller) Externe Antriebselektronik der Turbopumpe (turbo controller) mit Stromversorgung Antriebs- und Magnetlagerelektronik der Turbopumpe Tab. 2: Verwendete Abkürzungen im Dokument 1.2.3 Aufkleber auf dem Produkt Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung. Typenschild (Beispiel) Das Typenschild befindet sich auf dem Gehäuse Sealing gas...
  • Seite 8: Sicherheit

    Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-...
  • Seite 9: Bestimmungsgemäße Verwendung

    ● Verwenden von Zubehör oder Ersatzteilen, die in dieser Betriebsanleitung nicht aufgeführt wurden 2.5 Personenqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben. Personen schulen 1.
  • Seite 10: Produktbeschreibung

    über eine Sperrgasdrossel. Die Sperrgasüberwachung stellt eine dauerhafte und gleichbleibende Sperrgasversorgung sicher. Steu- erung und Überwachung sind in der Antriebselektronik der Turbopumpe verankert. Anzeige und Aus- wertung ist durch ein Pfeiffer Vacuum Anzeige und Bediengerät möglich. Abb. 2: Aufbau Sperrgasüberwachung 1 Gaseinlass, G 1/8"...
  • Seite 11: Installation

    Die Verwendung ungefilterter Medien für den Gaseinlass von Vakuumpumpen führt möglicherweise zu Verunreinigungen durch Partikel. Es besteht die Gefahr von Schäden bis hin zur Zerstörung von Vakuumkomponenten. ► Installieren Sie geeignete Filter aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehör vor den Gaseinlass, bevor Sie Raumluft oder andere ungereinigte Medien verwenden. Einsatzempfehlung ●...
  • Seite 12: Abb. 4: Beispiel: Sperrgasüberwachung An Tc Anschließen

    Vorgehen 1. Stellen Sie die Versorgung von Sperrgas (z. B. N ) bereit. 2. Verwenden Sie bei Bedarf Anschlussadapter aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehör (nicht im Liefer- umfang). 3. Schließen Sie die Sperrgasleitung an der Einlassseite (G 1/8") an. 4. Verwenden Sie einen Partikelfilter am Einlass, falls Sie Umgebungsluft als Sperrgas einlassen.
  • Seite 13: Betrieb

    Wichtige Einstellwerte und funktionsrelevante Kenngrößen sind als Parameter werksseitig in der An- triebselektronik der Vakuumpumpe programmiert. Jeder Parameter besitzt eine dreistellige Nummer und eine Benennung. Betrieb und Steuerung durch Parameter ist über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder über RS-485 extern mittels Pfeiffer Vacuum Protokoll möglich.
  • Seite 14: Störungen

    Störungen 6 Störungen 6.1 Fehlercodes Fehler (** Error E––– **) führen immer zum Abschalten der angeschlossenen Peripheriegeräte. Warnungen (* Warning F––– *) werden nur angezeigt und führen nicht zum Abschalten von Komponen- ten. Behandlung von Fehlermeldungen 1. Lesen Sie die Fehlercodes über das Anzeige- und Bediengerät oder den PC aus. 2.
  • Seite 15: Zubehör

    Sperrgasventil, geschirmt für HiPace 300 mit TC 400, PM Z01 312 TM 700, TCP 350 Auslassseite Sperrgasventil, geschirmt für HiPace 400/700/800 P PM Z01 313 Version mit TC 400 sowie HiPace 1200–2300 mit TC 1200 Auslassseite Sperrgasventil, geschirmt für HiPace 1200–2300 mit TC PM Z01 314 1200 Tab.
  • Seite 16: Technische Daten Und Abmessungen

    Technische Daten und Abmessungen 8 Technische Daten und Abmessungen 8.1 Allgemeines mbar l/s sccm Torr l/s Pa m atm cm mbar l/s 59,2 0,75 0,987 9,87 Pa m sccm 1,69 · 10 1,69 · 10 1,27 · 10 1,67 · 10 Torr l/s 1,33 0,133 78,9...
  • Seite 17: Abmessungen

    Technische Daten und Abmessungen 8.3 Abmessungen Abb. 7: Abmessungen Sperrgasüberwachung Abmessungen in mm 17/20...
  • Seite 18: Konformitätserklärung

    Konformitätserklärung Erklärung für Produkt(e) vom Typ: Sperrgasüberwachung HiPace Turbopumpen Hiermit erklären wir, dass das aufgeführte Produkt allen einschlägigen Bestimmungen folg- ender europäischer Richtlinien entspricht. Elektromagnetische Verträglichkeit 2014/30/EU Beschränkung der Verwendung bestimmter gefährlicher Stoffe 2011/65/EU Beschränkung der Verwendung bestimmter gefährlicher Stoffe, delegierte Richtlinie...
  • Seite 19 19/20...

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