Pfeiffer Vacuum HIPACE Betriebsanleitung
Sperrgasüberwachung
Vorschau ausblenden
Andere Handbücher für HIPACE:
- Betriebsanleitung (43 Seiten) ,
- Betriebsanleitung (39 Seiten) ,
- Betriebsanleitung (20 Seiten)
Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum HIPACE
Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum HIPACE
- Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG OPERATING INSTRUCTIONS Original HIPACE Sperrgasüberwachung Sealing gas monitoring unit...
- Seite 2 These operating instructions describe all models and variants of your product. Note that your product may not be equipped with all features described in this document. Pfeiffer Vacuum constantly adapts its products to the latest state of the art without prior notice. Please take into account that online operating instructions can deviate from the printed operating instructions supplied with your product.
- Seite 3 Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis Zu dieser Anleitung Gültigkeit 1.1.1 Mitgeltende Dokumente 1.1.2 Zielgruppe Konventionen 1.2.1 Anweisungen im Text 1.2.2 Abkürzungen 1.2.3 Aufkleber auf dem Produkt Sicherheit Allgemeine Sicherheitshinweise Sicherheitsmaßnahmen Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Personenqualifikation Produktbeschreibung Funktionsbeschreibung Lieferumfang Installation Betrieb Recycling und Entsorgung Störungen Fehlercodes Zubehör...
- Seite 4 Tabellenverzeichnis Tabellenverzeichnis Tab. 1: Mitgeltende Dokumente Tab. 2: Verwendete Abkürzungen im Dokument Tab. 3: Aufkleber auf dem Produkt Tab. 4: Parametereinstellungen in der Antriebselektronik der Turbopumpe Tab. 5: Warnmeldungen der Antriebselektronik Tab. 6: Zubehör Tab. 7: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz Tab.
- Seite 5 Abbildungsverzeichnis Abbildungsverzeichnis Abb. 1: Position des Aufklebers auf dem Produkt Abb. 2: Aufbau Sperrgasüberwachung Abb. 3: Beispiel: Sperrgasüberwachung an HiPace 2300 montieren Abb. 4: Beispiel: Sperrgasüberwachung an TC anschließen Abb. 5: Beispiel: Inertgas an Sperrgasüberwachung anschließen Abb. 6: Zubehörübersicht Abb. 7: Abmessungen Sperrgasüberwachung...
- Seite 6 Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Geräts. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Angaben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produkts.
- Seite 7 Zu dieser Anleitung Schlüsselweite Antriebselektronik der Turbopumpe (turbo controller) Externe Antriebselektronik der Turbopumpe (turbo controller) mit Stromversorgung Antriebs- und Magnetlagerelektronik der Turbopumpe Tab. 2: Verwendete Abkürzungen im Dokument 1.2.3 Aufkleber auf dem Produkt Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung. Typenschild (Beispiel) Das Typenschild befindet sich auf dem Gehäuse Sealing gas...
- Seite 8 Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-...
- Seite 9 ● Verwenden von Zubehör oder Ersatzteilen, die in dieser Betriebsanleitung nicht aufgeführt wurden 2.5 Personenqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben. Personen schulen 1.
- Seite 10 über eine Sperrgasdrossel. Die Sperrgasüberwachung stellt eine dauerhafte und gleichbleibende Sperrgasversorgung sicher. Steu- erung und Überwachung sind in der Antriebselektronik der Turbopumpe verankert. Anzeige und Aus- wertung ist durch ein Pfeiffer Vacuum Anzeige und Bediengerät möglich. Abb. 2: Aufbau Sperrgasüberwachung 1 Elektrischer Anschluss, M12 Gaseinlass, G 1/8"...
- Seite 11 Die Verwendung ungefilterter Medien für den Gaseinlass von Vakuumpumpen führt möglicherweise zu Verunreinigungen durch Partikel. Es besteht die Gefahr von Schäden bis hin zur Zerstörung von Vakuumkomponenten. ► Installieren Sie geeignete Filter aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehör vor den Gaseinlass, bevor Sie Raumluft oder andere ungereinigte Medien verwenden. Einsatzempfehlung ●...
- Seite 12 Vorgehen 1. Stellen Sie die Versorgung von Sperrgas (z. B. N ) bereit. 2. Verwenden Sie bei Bedarf Anschlussadapter aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehör (nicht im Liefer- umfang). 3. Schließen Sie die Sperrgasleitung an der Einlassseite (G 1/8") an. 4. Verwenden Sie einen Partikelfilter am Einlass, falls Sie Umgebungsluft als Sperrgas einlassen.
- Seite 13 Wichtige Einstellwerte und funktionsrelevante Kenngrößen sind als Parameter werksseitig in der An- triebselektronik der Vakuumpumpe programmiert. Jeder Parameter besitzt eine dreistellige Nummer und eine Benennung. Betrieb und Steuerung durch Parameter ist über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder über RS-485 extern mittels Pfeiffer Vacuum Protokoll möglich.
- Seite 14 Schutz von Mensch, Umwelt und Natur einhalten. ● Helfen Sie Verschwendung von Naturressourcen zu reduzieren. ● Verhindern Sie Verschmutzungen. Pfeiffer Vacuum Produkte enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. ► Entsorgen Sie unsere Produkte nach Beschaffenheit als – Edelstahl – Aluminium –...
- Seite 15 Warnungen (* Warning F––– *) werden nur angezeigt und führen nicht zum Abschalten von Komponen- ten. Fehlermeldungen behandeln 1. Lesen Sie Fehlercodes über Pfeiffer Vacuum Steuergeräte oder einen PC aus. 2. Beseitigen Sie die Ursache der Störung. 3. Setzen Sie die Fehlermeldung mit Parameter [P:009] zurück.
- Seite 16 Sperrgasventil, geschirmt für HiPace 300 mit TC 400, PM Z01 312 TM 700, TCP 350 Sperrgasventil, geschirmt für HiPace 400/700/800 P PM Z01 313 Version mit TC 400 sowie HiPace 1200–2300 mit TC 1200 Sperrgasventil, geschirmt für HiPace 1200–2300 mit TC PM Z01 314 1200 Einlassseite Steckverschraubung für 6 mm Schlauch, G 1/8"...
- Seite 17 Technische Daten und Abmessungen 9 Technische Daten und Abmessungen 9.1 Allgemeines mbar l/s sccm Torr l/s Pa m atm cm mbar l/s 59,2 0,75 0,987 9,87 Pa m sccm 1,69 · 10 1,69 · 10 1,27 · 10 1,67 · 10 Torr l/s 1,33 0,133 78,9...
- Seite 18 Technische Daten und Abmessungen 9.3 Abmessungen 52.5 72.3 40.9 G 1 / 8 " 81.5 54.9 Abb. 7: Abmessungen Sperrgasüberwachung Abmessungen in mm 18/40...
- Seite 19 EG Konformitätserklärung Erklärung für Produkt(e) vom Typ: Sperrgasüberwachung HiPace Turbopumpen Hiermit erklären wir, dass das aufgeführte Produkt allen einschlägigen Bestimmungen folg- ender europäischer Richtlinien entspricht. Elektromagnetische Verträglichkeit 2014/30/EU Beschränkung der Verwendung bestimmter gefährlicher Stoffe 2011/65/EU Beschränkung der Verwendung bestimmter gefährlicher Stoffe, delegierte Richtlinie...
- Seite 20 EN IEC 61000-3-2: 2019 EN IEC 61000-3-3: 2013 EN IEC 61326-1: 2021 Autorisierter Repräsentant im Vereinigten Königreich und der bevollmächtigte Vertreter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...
- Seite 21 Table of contents Table of contents About this manual Validity 1.1.1 Applicable documents 1.1.2 Target group Conventions 1.2.1 Instructions in the text 1.2.2 Abbreviations 1.2.3 Stickers on product Safety General safety information Safety precautions Proper use Foreseeable improper use Personnel qualification Product description Functional description Scope of delivery...
- Seite 22 List of tables List of tables Tbl. 1: Applicable documents Tbl. 2: Abbreviations used in this document Tbl. 3: Stickers on product Tbl. 4: Parameter settings in the electronic drive unit of the turbopump Tbl. 5: Warning messages of the electronic drive unit Tbl.
- Seite 23 Position of the sticker on the product Fig. 2: Layout of the sealing gas monitoring unit Fig. 3: Example: Fitting a sealing gas monitoring unit to the HiPace 2300 Fig. 4: Example: Connecting the sealing gas monitoring unit to a TC Fig. 5: Example: Connecting inert gas to the sealing gas monitoring unit Fig.
- Seite 24 Keep the manual for future consultation. 1.1 Validity These operating instructions are a customer document of Pfeiffer Vacuum. The operating instructions describe the functions of the named product and provide the most important information for the safe use of the device. The description is written in accordance with the valid directives. The information in these operating instructions refers to the product's current development status.
- Seite 25 About this manual Turbopump electronic drive unit (turbo controller) and magnetic bearing controller width across flats Tbl. 2: Abbreviations used in this document 1.2.3 Stickers on product This section describes all the stickers on the product along with their meanings. Rating plate (example) The rating plate is located on the housing Sealing gas monitoring unit...
- Seite 26 Safety 2 Safety 2.1 General safety information The following 4 risk levels and 1 information level are taken into account in this document. DANGER Immediately pending danger Indicates an immediately pending danger that will result in death or serious injury if not observed. ►...
- Seite 27 ► Use the sealing gas monitoring unit for controllable admission of inert gases into an inert gas sys- tem on the Pfeiffer Vacuum turbopumps designated for this purpose. ► The sealing gas monitoring unit is to be used exclusively for the supply of dry air or nitrogen.
- Seite 28 The sealing gas monitoring unit ensures a permanent and consistent supply of sealing gas. Control and monitoring are incorporated in the electronic drive unit of the turbopump. Display and evaluation can be performed by way of a Pfeiffer Vacuum display and control unit. Fig. 2:...
- Seite 29 Using unfiltered media for the gas inlet of a vacuum pump may result in particle contamination. There is a risk of damage to, and even destruction of, vacuum components. ► Install suitable filters from the Pfeiffer Vacuum accessories range upstream of the gas inlet, be- fore you use ambient air or other unclean media.
- Seite 30 Sealing gas line Procedure 1. Ensure a supply of sealing gas (e.g. N 2. If required, use a connection adapter from the Pfeiffer Vacuum accessories range (not included in shipment). 3. Connect the sealing gas line to the inlet side (1/8" thread).
- Seite 31 Important settings and function-related variables are programmed ex factory as parameters in the vac- uum pump electronic drive unit. Each parameter has a three-digit number and a description. Parameter- driven operation and control is supported via Pfeiffer Vacuum displays and control units, or externally via RS-485 using Pfeiffer Vacuum protocol.
- Seite 32 ● Help to reduce the wastage of natural resources. ● Prevent contamination. Pfeiffer Vacuum products contain materials that you must recycle. ► Dispose of our products according to the following: – Stainless steel –...
- Seite 33 Warnings (* Warning F –––– *) are only displayed and do not cause components to be switched off. Handling malfunction messages 1. Read out error codes via Pfeiffer Vacuum control units or a PC. 2. Remove the cause of the malfunction.
- Seite 34 Sealing gas throttle for HiPace 400/700/800 P version and PM Z01 318 HiPace 1200–2300 Sealing gas throttle for HiPace 1200–2300 PM Z01 319 Sealing gas throttle for HiPace 1200 – 2300, 52.5 ±7.5 PM Z01 325 sccm Outlet side Flange with pipe thread, DN 16 ISO-KF, G 1/8"...
- Seite 35 Technical data and dimensions 9 Technical data and dimensions 9.1 General mbar l/s sccm Torr l/s Pa m atm cm mbar l/s 59.2 0.75 0.987 9.87 Pa m sccm 1.69 · 10 1.69 · 10 1.27 · 10 1.67 · 10 Torr l/s 1.33 0.133 78.9...
- Seite 36 Technical data and dimensions 9.3 Dimensions 52.5 72.3 40.9 G 1 / 8 " 81.5 54.9 Fig. 7: Dimensions Sealing gas monitoring unit Dimensions in mm 36/40...
- Seite 37 EC Declaration of Conformity Declaration for product(s) of the type: Sealing gas monitoring unit HiPace turbopumps We hereby declare that the listed product satisfies all relevant provisions of the following European Directives. Electromagnetic compatibility 2014/30/EU Restriction of the use of certain hazardous substances 2011/65/EU...
- Seite 38 EN IEC 61000-3-3: 2013 EN IEC 61326-1: 2021 The manufacturer's authorized representative in the United Kingdom and the authorized agent for compiling the technical documentation is Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, In- terchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...
- Seite 39 39/40...