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Elektrischer Anschluss
Stecker, D-Sub, 15-polig,
Steckerverriegelung
UNC 4-40
Messkabel
5-polig, plus Abschirmung
Kabellänge
£50 m (5×0.50 mm²)
Für längere Kabel sind grössere Leiterquerschnitte erforder-
1.0 W).
lich (R
£
Leiter
Erdkonzept
Vakuumanschluss–
® "Elektrischer An-
Signalerde
schluss"
Speisungserde–Signalerde
getrennt geführt, für diffe-
rentielle Messung
Werkstoffe gegen Vakuum
Vakuumanschluss, Rohr,
Schutzkammer und Plasma-
schutzschild
Edelstahl AISI 316L
Sensor und Membran
Keramik (Al
Verbindung Sensor–Membran
Glaskeramiklot
Verbindung Keramik–Metall
AgCu-Hartlot, Vacon 70
(28% Ni, 23% Co,
49% Fe)
Inneres Volumen
7 cm
Zulässiger Druck
£2250 Torr (absolut)
360-X1X
£300 kPa
£3 bar
361-X1X ... 364-X1X
£1500 Torr (absolut)
£200 kPa
£2 bar
365-X1X
£1000 Torr (absolut)
£133.3 kPa (absolut)
£1.33 bar
371-030, 371-032
£1500 Torr (absolut)
371-031, 371-033
£1000 Torr (absolut)
Zulässige Temperatur
Betrieb
+15 ... +40 °C
Vakuumanschluss
£90 °C
Lagerung
–40 ... +65 °C
Relative Feuchte
£80% bei Temperaturen
£+31 °C abnehmend auf
50% bei +40 °C
Einbaulage
beliebig ® "Einbau"
Verwendung
nur in Innenräumen
Höhe bis zu 2000 m NN
Schutzart
IP 30
Abmessungen [mm]
82.5
DN 16 CF-R
36X-X12
8 VCR
Innengewinde
36X-X13
371-032
371-033
DN 16 ISO-KF
36X-X11
371-030
371-031
Gewicht
36X-X10
600 g
36X-X11
590 g
36X-X12
620 g
36X-X13
610 g
371-032, 371-033
610 g
371-030, 371-031
590 g
Beziehung Messsignal – Druck
Druck p
1.1×F.S.
1.0×F.S.
0.9×F.S.
0.8×F.S.
0.7×F.S.
0.6×F.S.
0.5×F.S.
0.4×F.S.
0.3×F.S.
0.2×F.S.
0.1×F.S.
0.0×F.S.
0
O
³99.5%)
2
3
Beispiel:
3
(absolut)
(absolut)
Umrechnung Torr « mbar
(absolut)
(absolut)
Torr
1.00
1013.25 / 760 =
(absolut)
Einbau
Vakuumanschluss
Vorsicht: Überdruck im Vakuumsystem
>750 Torr, 100000 Pa, 1 bar
Öffnen von Spannelementen bei Überdruck im
Vakuumsystem kann zu Verletzungen durch
herumfliegende Teile und Gesundheitsschäden
durch ausströmendes Prozessmedium führen.
Spannelemente nicht öffnen, solange Überdruck
im Vakuumsystem herrscht. Für Überdruck ge-
eignete Spannelemente verwenden.
Vorsicht: Schutzerdung
Nicht fachgerecht geerdete Produkte können im
Störungsfall lebensgefährlich sein.
Die Messröhre muss galvanisch mit der geerde-
ten Vakuumkammer verbunden sein. Die Ver-
bindung muss den Anforderungen einer Schutz-
verbindung nach EN 61010 entsprechen:
· CF- und 8 VCR-Anschlüsse entsprechen
· Für KF-Anschlüsse ist ein elektrisch leitender
· Beim ! "-Rohr ist diese Anforderung durch
Vorsicht: Vakuumkomponente
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen
AD½"
die Funktion der Vakuumkomponente.
36X-X10
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die
Regeln in bezug auf Sauberkeit und Schutz vor
Beschädigung beachten.
3)
Quelle: NPL (National Physical Laboratory)
Guide to the Measurement of Pressure and Vacuum
ISBN 0904457x / 1998.
1
2
3
4
5
6
7
8
Messsignal U
[V]
out
p = (U
/ 10 V) × p(F.S.)
out
Messröhre mit 10 Torr F.S.
Messsignal U
= 6 V
out
p = (6 V / 10 V) × 10 Torr
= 0.6 × 10 Torr = 6 Torr
Umrechnung Pascal « mbar
3)
mbar
Pa
mbar
1.00
0.01
1.3332...
GEFAHR
GEFAHR
dieser Forderung.
Spannring zu verwenden.
geeignete Massnahmen zu erfüllen.
Vorsicht
Vorsicht
Vorsicht: Verschmutzungsempfindlicher Bereich
Das Berühren des Produkts oder Teilen davon
mit blossen Händen erhöht die Desorptionsrate.
Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und
sauberes Werkzeug benutzen.
Messröhre möglichst vibrationsfrei einbauen. Die
Einbaulage ist frei wählbar, Partikel und Kondensate
sollten jedoch nicht in die Messkammer gelangen
können. Falls ein Abgleich der Messröhre im einge-
bauten Zustand möglich sein soll, ist die Zugäng-
lichkeit zu den beiden Trimmpotenziometern
<zero coarse> und <zero fine> mit dem Schrauben-
9
10
dreher zu gewährleisten.
Schutzzapfen oder Schutzkappe entfernen und Produkt an
Vakuumsystem anschliessen.
3)
Dichtung
Dichtung mit Zentrierring
oder
Spannelement
Schutzzapfen/Schutzkappe aufbewahren.
t i na07d1- b
Schutzzapfen
oder
Schutzkappe
Dichtung mit Zentrierring
und Filter
(0304)
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