Herunterladen Inhalt Inhalt
Teilen
Diese Seite drucken
Agilent Technologies TPS-compact X3580-64000 Bedienungshandbuch
  1. Anleitungen
  2. Marken
  3. Agilent Technologies Anleitungen
  4. Pumpen
  5. TPS-compact X3580-64000
  6. Bedienungshandbuch

Agilent Technologies TPS-compact X3580-64000 Bedienungshandbuch

Vorschau ausblenden
Inhaltsverzeichnis

Werbung

Quicklinks

Diese Anleitung herunterladen
TPS-compact
Models:
X3580-64000, X3580-64001, X3580-64002, X3580-64003, X3580-64004,
X3580-64005, X3580-64006, X3580-64007, X3580-64010, X3580-64011,
X3580-64012, X3580-64013, X3580-64014, X3580-64015, X3580-64016,
X3580-64017, X3580-64020, X3580-64021, X3580-64022, X3580-64023,
X3580-64024, X3580-64025, X3580-64026, X3580-64027
Manuale di istruzioni
Bedienungshandbuch
Notice de mode d'emploi
Manual de istrucciones
Manual de istruções
Bedrijfshandleiding
Istrukstionsbog
Bruksanvisning
87-901-010-01 (H)
12/2018
Instruksjon manual
Ohjekäsikirja
Felhasználói kézikönyv
Podrecznik instrukcji
Návod k použití
Návod na obsluhu
Priročnik za navodila
User Manual

Werbung

Inhaltsverzeichnis
loading

Verwandte Anleitungen für Agilent Technologies TPS-compact X3580-64000

Inhaltszusammenfassung für Agilent Technologies TPS-compact X3580-64000

  • Seite 1 TPS-compact Models: X3580-64000, X3580-64001, X3580-64002, X3580-64003, X3580-64004, X3580-64005, X3580-64006, X3580-64007, X3580-64010, X3580-64011, X3580-64012, X3580-64013, X3580-64014, X3580-64015, X3580-64016, X3580-64017, X3580-64020, X3580-64021, X3580-64022, X3580-64023, X3580-64024, X3580-64025, X3580-64026, X3580-64027 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití...
  • Seite 2 Use, duplication or disclosure of Software is subject to The material contained in this Agilent Technologies’ standard © Agilent Technologies, Inc. 2017 document is provided “as is,” and is commercial license terms, and non- subject to being changed, without...
  • Seite 3 TPS-compact TPS-compact TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 3/314...
  • Seite 4 TPS-compact 4/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...

  • Seite 5: Inhaltsverzeichnis

    Contents Contents Istruzioni per l’uso 13 Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Immagazzinamento 18 Preparazione per l’installazione 19 Installazione Uso 22 Manutenzione 25 Smaltimento Gebrauchsanleitung 27 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 28 Allgemeine Informationen Lagerung Vor der Installation 33 Installation 35 Gebrauch Wartung Entsorgung 41...
  • Seite 6 Contents Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Stockage Préparation pour l'installation Installation 51 Utilisation 53 Entretien Mise au rebut Manual de istrucciones 59 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general 61 Almacenamiento Preparación para la instalación 65 Instalación 67 Uso 69 Mantenimiento 72...
  • Seite 7 Contents Preparação para a instalação 81 Instalação 83 Utilização Manutenção Eliminação 89 Bedrijfshandleiding 91 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 92 Algemene informatie Opslag Uitpakken 97 Installatie 99 Gebruik Onderhoud 104 Afvalverwerking 105 Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information 109 Opbevaring 112 Forberedelse før installation 113 Installation 114 Anvendelse 116...
  • Seite 8 Contents Bortskaffelse Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 122 Allmän Information 123 Förvaring Förberedelser för installationen 127 Installation 128 Använding 130 Underhåll Bortskaffning Instruksjon Manual 135 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 137 Lagring Klargjøre til installasjon 141 Installasjon 142 Bruk Vedlikehold 147 Kassering Ohjekäsikirja...
  • Seite 9 Contents Varastointi 154 Valmistelut asennusta varten155 Asennus Käyttö Huolto Hävittäminen Felhasználói Kézikönyv 165 Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 166 Általános információ 167 Tárolás Előkészítés telepítésre 171 Telepítés Használat 175 Karbantartás Megsemmisítés 179 Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych 182 Ogólne informacje 183 Magazynowanie 186 Przygotowanie do instalacji 187...
  • Seite 10 Contents Konserwacja Przetworstwo odpadow 194 Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 196 Všeobecné informace Uskladnění 200 Příprava k instalaci 201 Instalace Použití Údržba Likvidace Návod na Obsluhu 209 Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Použitie Údržba...
  • Seite 11 Contents Splošne informacije 227 Shranjevanje Priprava za montažo 231 Montaža Uporaba Vzdrževanje 237 Odlaganje opadkov 238 Instructions for Use 239 Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 240 General Information 241 Storage Preparation for Installation 245 Installation 246 Use 248 Maintenance Disposal Technical Information 253 Description of the TPS-Compact 255 Technical Specification 261...
  • Seite 12 Contents RS 232/RS 485 Communication Description 288 Window Protocol Service Options 301 Replacement Parts and Accessories 307 12/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...

  • Seite 13: Istruzioni Per L'uso

    TPS-compact User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali 15 Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali 15 Simboli usati 17 Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 19 Installazione Accensione ed Uso del TPS-compact 23 Arresto del TPS-compact Arresto di Emergenza Manutenzione Smaltimento...

  • Seite 14: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari

    Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori.

  • Seite 15: Informazioni Generali

    Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Informazioni Generali Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.
  • Seite 16 Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: AVVERTENZA! I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.

  • Seite 17: Simboli Usati

    Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Simboli usati I seguenti simboli sono utilizzati in modo coerente in tutte le illustrazioni: Pericolo “Riferirsi a Conduttore di installazione / protezione funzionamento” Superficie calda “Pericolo ON - Avviamento di scottature se vengono (Alimentazione) toccate le parti calde” Pericolo, rischio di scossa OFF - Arresto elettrica...

  • Seite 18: Immagazzinamento

    Istruzioni per l’uso Immagazzinamento Immagazzinamento Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità dei sistemi di pompaggio Agilent, devono essere osservate le seguenti prescrizioni: durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle ▪ pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: temperatura: fare riferimento ai manuali dei singoli ▪...

  • Seite 19: Preparazione Per L'installazione

    Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Preparazione per l’installazione Il TPS-compact viene fornito in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere il TPS-compact e a non sottoporlo ad urti o vibrazioni.

  • Seite 20: Installazione

    Istruzioni per l’uso Installazione Installazione Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del ATTENZIONE! collegamento della turbopompa al sistema. Non installare e/o utilizzare il sistema di pompaggio in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
  • Seite 21 Istruzioni per l’uso Installazione AVVERTENZA! Il Sistema deve essere installato in modo da permettere una facile interruzione dell’alimentazione. Cavo di Alimentazione: Il cavo adatto al collegamento elettrico è un cavo a tre conduttori (Fase+Neutro+Terra). La sezione del cavo deve essere almeno di 0,75 mm (AWG18).

  • Seite 22: Uso

    Istruzioni per l’uso In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative. Prima di usare il sistema verificare che tutti i collegamenti elettrici e pneumatici siano stati realizzati correttamente. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 120 °C con flangiatura ConFlat e a 80 °C con flangiatura ISO.

  • Seite 23: Accensione Ed Uso Del Tps-Compact

    Istruzioni per l’uso Per la mandata all'aria della pompa utilizzare gas inerte esente da polvere, ATTENZIONE! particelle o umidità (es. Azoto). La pressione di ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la pressione atmosferica). AVVERTENZA! Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas.

  • Seite 24: Arresto Del Tps-Compact

    Istruzioni per l’uso Per una descrizione dettagliata del pannello di controllo del TPS- compact vedere l'appendice "Technical Information". Arresto del TPS-compact Per arrestare il TPS-compact è sufficiente mettere in posizione OFF l'interruttore esterno. Il controller incorporato arresta immediatamente il sistema di pompaggio. Arresto di Emergenza Per arrestare in condizioni di emergenza il TPS-compact occorre staccare il cavo di alimentazione dalla presa di rete, o spostare...

  • Seite 25: Manutenzione

    Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione Il TPS-compact non richiede alcuna manutenzione (ad eccezione della sostituzione del Tip-seal). Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.

  • Seite 26: Smaltimento

    Istruzioni per l’uso Smaltimento Smaltimento Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette. Il simbolo qui sotto riportato è applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.

  • Seite 27: Gebrauchsanleitung

    TPS-compact User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 28 Allgemeine Informationen 29 Verwendete Symbole Vor der Installation Installation Gebrauch Einschaltung und Gebrauch von Modell TPS-compact Stoppen von Modell TPS-compact Not-Aus Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 27/314...

  • Seite 28: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen

    Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.

  • Seite 29: Allgemeine Informationen

    Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen Allgemeine Informationen Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung.
  • Seite 30 Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: WARNUNG! Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.

  • Seite 31: Verwendete Symbole

    Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen Verwendete Symbole Folgende Symbole wurden durchgängig in allen Illustrationen verwendet: Gefahr! Schlagen Sie im Schutzleiter Installations- und Betriebshandbuch nach. Heiße Oberfläche – ON - Start Verbrennungsgefahr bei (Versorgung) Berührung Gefahr von Stromschlägen OFF - Stopp (Versorgung) WARNUNG! Wird die Pumpe zum Pumpen von giftigen, brennbaren oder radioaktiven Gasen verwendet, die entsprechenden Verfahren für das jeweilige Gas befolgen.

  • Seite 32: Lagerung

    Gebrauchsanleitung Lagerung Lagerung Zur Garantie der höchsten Funktionstüchtigkeit und Zuverlässigkeit der Agilent – Pumpsysteme müssen die folgenden Vorschriften eingehalten werden: Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung ▪ der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden: Temperatur: siehe die Handbücher der einzelnen ▪...

  • Seite 33: Vor Der Installation

    Gebrauchsanleitung Vor der Installation Vor der Installation Modell TPS-compact wird in einer speziellen Schutzverpa-ckung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell TPS-compact ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist. Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß...
  • Seite 34 Gebrauchsanleitung Vor der Installation Modell TPS-compact kann durch die Umgebung an sich keine Schäden erleiden. HINWEIS Es sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden. 34/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...

  • Seite 35: Installation

    Gebrauchsanleitung Installation Installation Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei Anschluß der VORSICHT! Turbopumpe an das System abnehmen. Das Pumpensystem darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brandgefährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden.
  • Seite 36 Gebrauchsanleitung Installation WARNUNG! Das System muss so installiert werden, dass die Stromversorgung schnell abgeschaltet werden kann. Versorgungskabel: Das Kabel für den Stromanschluss ist dreiadrig (stromführendes Kabel + Neutralleiter + Masse). Der Kabelquerschnitt muss mindestens 0,75 mm betragen (AWG18). VORSICHT! Vergewissern Sie sich, dass um das System herum ein freier Raum von mindestens 20 cm bleibt, damit die Luft frei zirkulieren kann.

  • Seite 37: Gebrauch

    Gebrauchsanleitung Gebrauch Gebrauch In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Temperatur am Eingangsflansch bei einem ConFlat-Flansch nicht über 120°C und bei einem ISO-Flansch nicht über 80 °C steigen.

  • Seite 38: Einschaltung Und Gebrauch Von Modell Tps-Compact

    Gebrauchsanleitung Gebrauch Für die Belüftung der Pumpe staub , partikel- und feuchtigkeitsfreies Inertgas VORSICHT! (z.B. Stickstoff) verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluß soll unter 2 bar (über dem atmosphärischen Druck) betragen. WARNUNG! Wenn das Pumpensystem zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen.

  • Seite 39: Stoppen Von Modell Tps-Compact

    Gebrauchsanleitung Gebrauch Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus. ▪ Für eine detaillierte Erläuterung der Bedienblende des TPS-compact siehe im Anhang "Technical Information". Stoppen von Modell TPS-compact Zur Stillsetzung des TPS-compact ist der externe Schalter auf die Schaltstellung OFF zu schalten. Der eingebaute Controller sorgt für den sofortigen Stopp des Pumpensystems.

  • Seite 40: Wartung

    Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Das Modell TPS-compact erfordert keine Wartung (außer der Austausch des Tip-seal). Eventuelle Eingriffe dürfen nur durch autorisiertes Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C abgesunken ist.

  • Seite 41: Entsorgung

    Gebrauchsanleitung Entsorgung Entsorgung Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten. Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss.
  • Seite 42 Gebrauchsanleitung Entsorgung 42/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...

  • Seite 43: Mode D'emploi

    TPS-compact User Manual Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales 45 Symboles utilisés 46 Préparation pour l'installation 49 Installation Utilisation Mise en marche et utilisation du TPS-compact Arrêt du TPS-compact 55 Arrêt d'urgence Entretien Mise au rebut Traduction de la mode d’emploi originale 43/314...

  • Seite 44: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires

    Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors.

  • Seite 45: Indications Générales

    Mode d’emploi Indications générales Indications générales Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Agilent qui décline par conséquent toute responsabilité...

  • Seite 46: Symboles Utilisés

    Mode d’emploi Indications générales Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: AVERTISSEMENT! Les messages d’avertissement attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manœuvre spéciale qui, effectuée de façon impropre, risque de provoquer de graves lésions. Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures dont le non- ATTENTION! respect pourrait endommager sérieusement l'appareillage.
  • Seite 47 Mode d’emploi Indications générales AVERTISSEMENT! Quand la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables ou radioactifs, respectez les procédures spécifiques à chaque gaz. N'utilisez pas la pompe en présence de gaz explosifs. La pompe est conçue pour pomper de l'azote, de l'argon et des gaz plus légers.

  • Seite 48: Stockage

    Mode d’emploi Stockage Stockage Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des systèmes de pompage Agilent, il est indispensable de respecter les instructions suivantes: Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent ▪ impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes: température: consulter les manuels des composants du TPS ▪...

  • Seite 49: Préparation Pour L'installation

    Mode d’emploi Préparation pour l'installation Préparation pour l'installation Le TPS-compact est livré dans un emballage de protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber le TPS-compact et à...
  • Seite 50 Mode d’emploi Préparation pour l'installation Le TPS-compact ne peut s'endommager en restant simplement exposé à NOTE l'atmosphère. Toutefois, afin d'éviter toute pollution due à la poussière, il est conseillé de le garder dans son emballage clos jusqu'au moment de l'installation. 50/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...

  • Seite 51: Installation

    Mode d’emploi Installation Installation Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection qu'au moment de ATTENTION! brancher la turbopompe au système. Ne pas installer et/ou utiliser le système de pompage dans des milieux exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la poussière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou à...
  • Seite 52 Mode d’emploi Installation Câble d’alimentation : le cable destine au raccordement électrique doit avoir trois conducteurs (Phase+Neutre+Terre). La section du cable doit être de 0,75 mm² minimum (AWG18). Laissez un espace libre autour du système de 20 cm minimum pour permettre ATTENZIONE! une bonne circulation de l’air.

  • Seite 53: Utilisation

    Mode d’emploi Utilisation Utilisation Ce paragraphe présente les principales procédures opérationnelles. Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas dépasser 120°C en cas de bridage ConFlat et 80°C en cas de bridage ISO.

  • Seite 54: Mise En Marche Et Utilisation Du Tps-Compact

    Mode d’emploi Utilisation Pour le "refoulement à l'air" de la pompe, utiliser un gaz inerte dépourvu de ATTENTION! poussière, particules ou humidité (Ex. azote). La pression d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure à 2 bars (au-delà de la pression atmosphérique).

  • Seite 55: Arrêt Du Tps-Compact

    Mode d’emploi Utilisation Pour une description détaillée du panneau de contrôle du TPS- compact, consulter l'appendice "Technical Information". Arrêt du TPS-compact Pour arrêter le TPS-compact, il suffit de placer l'interrupteur extérieur sur OFF. Le contrôleur incorporé arrête immédiatement le système de pompage. Arrêt d'urgence Pour arrêter le TPS-compact en condition d'urgence, débrancher le cordon d'alimentation de la prise ou placer l'interrupteur extérieur...

  • Seite 56: Entretien

    Mode d’emploi Entretien Entretien Le TPS-compact n'exige aucun entretien particulier (à l’exception du remplacement du Tip-seal). Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...

  • Seite 57: Mise Au Rebut

    Mode d’emploi Mise au rebut Mise au rebut Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes. Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE nommée "WEEE". Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la Communauté européenne) indique que le produit sur lequel il est appliqué NE doit PAS être mis au rebut avec les ordures ménagères ou les déchets industriels ordinaires, mais passer par un système de collecte sélective.
  • Seite 58 Mode d’emploi Mise au rebut 58/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...

  • Seite 59: Manual De Istrucciones

    TPS-compact User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 60 Información general Símbolos usados 63 Almacenamiento 64 Preparación para la instalación 65 Instalación Encendido y Uso del TPS-compact Parada del TPS-compact Parada de Emergenica Mantenimiento Eliminación Traducción de las instrucciones originales 59/314...

  • Seite 60: Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares

    Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores.

  • Seite 61: Información General

    Manual de istrucciones Información general Información general Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el aparato. Agilent se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas.
  • Seite 62 Manual de istrucciones Información general Este manual utiliza las convenciones siguientes: ¡ADVERTENCIA! Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una ejecución específica que, de no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no ¡ATENCIÓN! cumplirse, podrían provocar daños al aparato.

  • Seite 63: Símbolos Usados

    Manual de istrucciones Información general Símbolos usados Los siguientes símbolos se utilizan de modo coherente en todas las ilustraciones: Peligro “Referirse a Conductor de instalación / protección funcionamiento” Superficie caliente “Peligro ON - Arranque de quemadura si se tocan (Alimentación) las partes calientes”...

  • Seite 64: Almacenamiento

    Manual de istrucciones Almacenamiento Almacenamiento Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de los sistemas de bombeo Agilent, deberán aplicarse las siguientes instrucciones: durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las ▪ bombas no deberán superarse las siguientes condiciones ambientales: temperatura: consultar los manuales de cada componente del ▪...

  • Seite 65: Preparación Para La Instalación

    Manual de istrucciones Preparación para la instalación Preparación para la instalación El TPS-compact se suministra en un embalaje especial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas. Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se caiga el TPS-compact y de no someterlo a golpes o vibraciones.
  • Seite 66 Manual de istrucciones Preparación para la instalación El TPS-compact no puede dañarse permaneciendo simplemente expuesto a la NOTA atmósfera. De todas formas, se aconseja mantener cerrada la bomba hasta el momento de la instalación en el sistema para evitar su posible contaminación por polvo.

  • Seite 67: Instalación

    Manual de istrucciones Instalación Instalación Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el momento de ¡ATENCIÓN! conectar la turbobomba al sistema. No instalar ni/o utilizar el sistema de bombeo en lugares expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases agresivos, ni en ambientes sujetos a riesgo de explosión o incendio.
  • Seite 68 Manual de istrucciones Instalación ¡ADVERTENCIA! Instalar el sistema de modo que se pueda interrumpir fácilmente la alimentación. Cable de alimentación: el cable adecuado para la conexión eléctrica es un cable de tres conductores (Fase+Neutro+Tierra). El cable debe tener una sección de al menos 0,75 mm (AWG18).

  • Seite 69: Uso

    Manual de istrucciones En este apartado se citan los procedimientos operativos principales. Antes de usar el sistema realizar todas las conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la brida de entrada no ha de ser superior a 120 °C con una fijación con brida ConFlat y a 80 ºC con una fijación con brida ISO.

  • Seite 70: Encendido Y Uso Del Tps-Compact

    Manual de istrucciones Para el "envío al aire" de la bomba utilizar gas inerte exento de polvo, ¡ATENCIÓN! partículas y humedad (por ej.: nitrógeno). La presión de entrada a través de la respectiva puerta debe ser inferior a 2 bares (por encima de la presión atmosférica).

  • Seite 71: Parada Del Tps-Compact

    Manual de istrucciones parpadea rápidamente (período de 200 ms aproximadamente): ▪ situación de error. Una descripción detallada del panel de control del TPS-compact aparece en el apéndice "Technical Information". Parada del TPS-compact Para detener el TPS-compact basta disponer el interruptor externo en posición OFF.

  • Seite 72: Mantenimiento

    Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento El TPS-compact no necesita ningún mantenimiento (a excepción de la sustitución del Tip-seal). Toda intervención deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema, desconectarlo de la alimentación, disponer la bomba en presión atmosférica abriendo la válvula respectiva y esperar hasta que el rotor se pare completamente y que la temperatura superficial de la bomba se reduzca a menos de 50 ºC.

  • Seite 73: Eliminación

    Manual de istrucciones Eliminación Eliminación Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el contrario, deberá...
  • Seite 74 Manual de istrucciones Eliminación 74/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...

  • Seite 75: Manual De Istruções

    TPS-compact User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 76 Informações gerais Símbolos utilizados Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Utilização Acendimento e Utilização do TPS-compact Paragem do TPS-compact Paragem de Emergência Manutenção Eliminação Tradução das instruções originais 75/314...

  • Seite 76: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares

    Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.

  • Seite 77: Informações Gerais

    Manual de Istruções Informações gerais Informações gerais Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Agilent antes de utilizar a aparelhagem. A Agilent não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas.
  • Seite 78 Manual de Istruções Informações gerais Este manual utiliza as seguintes convenções: ATENÇAO! As mensagens de atençao chamam a atenção do operador para um procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada correctamente, pode provocar graves lesões pessoais. As mensagens de cuidado são visualizadas antes de procedimentos que, se não CUIDADO! efectuados correctamente, podem causar danos à...

  • Seite 79: Símbolos Utilizados

    Manual de Istruções Informações gerais Símbolos utilizados Os seguintes símbolos são utilizados de modo coerente em todas as ilustrações: Perigo “Consulte a Condutor de proteção instalação/ funcionamento” Superfície quente “Perigo ON - Ligação de queimaduras se as (Alimentação) partes quentes forem tocadas”...

  • Seite 80: Armazenagem

    Manual de Istruções Armazenagem Armazenagem Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade dos sistemas de bombagem Agilent, devem ser observadas as seguintes prescrições: durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das ▪ bombas as condições ambientais devem ser as seguintes: temperatura: consultar os manuais dos componentes ▪...

  • Seite 81: Preparação Para A Instalação

    Manual de Istruções Preparação para a instalação Preparação para a instalação O TPS-compact é fornecido numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local. Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para não deixar cair o TPS-compact e para não submetê-lo a choques ou vibrações.
  • Seite 82 Manual de Istruções Preparação para a instalação TPS-compact não pode ser danificado permanecendo simplesmente exposto à NOTA atmosfera. Aconselha-se, no entanto, manter a bomba fechada até o momento da instalação no sistema para evitar eventuais acumulações de pó. 82/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...

  • Seite 83: Instalação

    Manual de Istruções Instalação Instalação Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecção somente no CUIDADO! momento de ligar a turbobomba ao sistema. Não instalar e/ou usar o sistema de bombeamento em ambientes expostos a agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou com elevado risco de incêndio.
  • Seite 84 Manual de Istruções Instalação ATENÇAO! O Sistema deve ser instalado, de modo a permitir uma fácil interrupção da alimentação. Cabo de Alimentação: O cabo adequado para a instalação eléctrica é um cabo de três condutores (Fase+Neutro+Terra). A secção do cabo deve ser no mínimo de 0,75 mm²...

  • Seite 85: Utilização

    Manual de Istruções Utilização Utilização Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as ligações eléctricas e pneumáticas. Durante o possível aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura no flange de entrada não deve ser superior a 120°C com flangeamento ConFlat e a 80°C com flangeamento ISO.

  • Seite 86: Acendimento E Utilização Do Tps-Compact

    Manual de Istruções Utilização Para a "saída de ar" da bomba, utilizar gás inerte sem poeiras, partículas ou CUIDADO! humidade (p. ex.: Azoto). A pressão de entrada através da porta específica deve ser inferior a 2 bars (além da pressão atmosférica). ATENÇAO! Quando a bomba é...

  • Seite 87: Paragem Do Tps-Compact

    Manual de Istruções Utilização Para informações mais detalhadas sobre o painel de comando do TPS-compact, consultar o apêndice "Technical Information". Paragem do TPS-compact Para parar o TPS-compact é suficiente colocar o interruptor exterior na posição OFF. O controller incorporado pára imediatamente o sistema de bombeamento.

  • Seite 88: Manutenção

    Manual de Istruções Manutenção Manutenção O TPS-compact não requer qualquer manutenção (com excepção da substituição do Tip-seal). Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da rede de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até...

  • Seite 89: Eliminação

    Manual de Istruções Eliminação Eliminação Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada.
  • Seite 90 Manual de Istruções Eliminação 90/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...

  • Seite 91: Bedrijfshandleiding

    TPS-compact User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 92 Algemene informatie 93 Gebruikte symbolen Opslag Uitpakken Installatie Gebruik Inschakeling en gebruik van de TPS-compact 102 Afzetten van de TPS-compact Noodstop Onderhoud Afvalverwerking 105 Vertaling van de originele instructies 91/314...

  • Seite 92: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen

    Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.

  • Seite 93: Algemene Informatie

    Bedrijfshandleiding Algemene informatie Algemene informatie Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Agilent acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of...
  • Seite 94 Bedrijfshandleiding Algemene informatie Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik: WAARSCHUWING! Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken.

  • Seite 95: Gebruikte Symbolen

    Bedrijfshandleiding Algemene informatie Gebruikte symbolen In alle afbeeldingen worden systematisch de volgende symbolen gebruikt: Gevaar “Raadpleeg Beschermingsgeleider installatie / werking” Heet oppervlak “Gevaar ON - Starten (Voeding) voor verbrandingen bij aanraken van hete onderdelen” Gevaar, risico op OFF - Stoppen elektrische schok (Voeding) WAARSCHUWING!

  • Seite 96: Opslag

    Bedrijfshandleiding Opslag Opslag Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de pompsystemen van Agilent te garanderen, moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen: tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan ▪ de volgende omgevingscondities worden voldaan: temperatuur: raadpleeg de handleidingen van de ▪...

  • Seite 97: Uitpakken

    Bedrijfshandleiding Uitpakken Uitpakken De TPS-compact wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de TPS-compact niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
  • Seite 98 Bedrijfshandleiding Uitpakken De TPS-compact kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de OPMERKING atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen. 98/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...

  • Seite 99: Installatie

    Bedrijfshandleiding Installatie Installatie Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt VOORZICHTIG! aangesloten mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden. Het pompsysteem mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig...
  • Seite 100 Bedrijfshandleiding Installatie WAARSCHUWING! Het Systeem moet op dusdanige wijze geïnstalleerd worden dat de voeding makkelijk onderbroken kan worden. Voedingskabel: De kabel die geschikt is voor de elektrische aansluiting heeft drie geleiders (Fase+Neutraal+Aarde). De kabel moet een doorsnede van minstens 0,75 mm (AWG18) hebben.

  • Seite 101: Gebruik

    Bedrijfshandleiding Gebruik Gebruik In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures vermeld. Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen tot stand alvorens het systeem te gebruiken. Tijdens de eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 120° C bedragen met flens ConFlat en 80 °C met flens ISO. WAARSCHUWING! Laat het pompsysteem nooit draaien als de inlaatflens niet op de vacuümkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is.

  • Seite 102: Inschakeling En Gebruik Van De Tps-Compact

    Bedrijfshandleiding Gebruik Gebruik voor de "luchttoevoer" naar de pomp inert gas zonder stof, vaste VOORZICHTIG! deeltjes of vocht (bijv.: stikstof). De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder van 2 bar (boven de atmosferische druk) bedragen. WAARSCHUWING! Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld.

  • Seite 103: Afzetten Van De Tps-Compact

    Bedrijfshandleiding Gebruik Afzetten van de TPS-compact Om de TPS-compact uit te schakelen is het voldoende om de externe schakelaar in de stand OFF te zetten. De ingebouwde controller stopt onmiddellijk het pompsysteem. Noodstop Om de TPS-compact onder noodomstandigheden uit te schakelen, moet de voedingskabel uit de contactstop worden gehaald of de externe schakelaar in de stand OFF worden gezet.

  • Seite 104: Onderhoud

    Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud De TPS-compact is onderhoudsvrij (behalve de vervanging van de Tip-seal). Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. WAARSCHUWING! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.

  • Seite 105: Afvalverwerking

    Bedrijfshandleiding Afvalverwerking Afvalverwerking Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld.
  • Seite 106 Bedrijfshandleiding Afvalverwerking 106/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...

  • Seite 107: Istruktionsbog

    TPS-compact User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information Anvendte symboler 111 Opbevaring Forberedelse før installation Installation Anvendelse Start og anvendelse af TPS-compact 117 Stop af TPS-compact Nødstop Vedligeholdelse Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 107/314...

  • Seite 108: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper

    Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.

  • Seite 109: Generel Information

    Istruktionsbog Generel Information Generel Information Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Agilent, før udstyret anvendes. Agilent tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der strider imod gældende lokale regler.
  • Seite 110 Istruktionsbog Generel Information I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker: ADVARSEL! Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære personskader. Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader.

  • Seite 111: Anvendte Symboler

    Istruktionsbog Generel Information Anvendte symboler De følgende symboler anvendes sammenhængende i alle illustrationer: Fare “Henvis til Beskyttelsesleder insallation/drift” Varm overflade “Fare for ON - Start (Forsyning) skoldninger hvis de varme dele berøres” Fare, risiko for elektrisk OFF - Stop (Forsyning) stød ADVARSEL! Når pumpen anvendes til at pumpe giftige, brændbare eller radioaktive...

  • Seite 112: Opbevaring

    Istruktionsbog Opbevaring Opbevaring For at sikre maksimal sikkerhed og driftssikkerhed af Agilent pumpe- systemerne er det nødvendigt at overholde følgende forskrifter: Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i ▪ forbindelse med transport, flytning og opbevaring af pumperne: temperatur: Der henvises til vejledningerne der omhandler de ▪...

  • Seite 113: Forberedelse Før Installation

    Istruktionsbog Forberedelse før installation Forberedelse før installation TPS-compact leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at TPS-compact ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen. Smid ikke emballagen ud.

  • Seite 114: Installation

    Istruktionsbog Installation Installation Tapen og beskyttelsesproppen fjernes først, når turbopumpen tilsluttes FORSIGTIG! systemet. Installér og anvend ikke pumpeanlægget i miljøer, der udsættes for påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø. Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift: max.
  • Seite 115 Istruktionsbog Installation Forsyningsledning: Den egnede el-forsyningsledning er en ledning med tre stikforbindelser (Fase+Neutral+Jord). Ledningens snit skal mindst være på 0,75 mm (AWG18). Sørg for at efterlade et frirum omkring anlægget på mindst 20 cm, for at tillade en FORSIGTIG! passende luftcirkulation. FLANGE KLEMMETYPE ANT.

  • Seite 116: Anvendelse

    Istruktionsbog Anvendelse Anvendelse Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer. Inden anvendelse af systemet, bør samtlige elektriske og pneumatiske tilslutninger udføres. I forbindelse med vakuumkammerets eventuelle opvarmning, må indløbsflangens temperatur ikke overskride 120 °C med flange af ConFlat-type, og 80 °C med flange af ISO-type. ADVARSEL! Pumpen må...

  • Seite 117: Start Og Anvendelse Af Tps-Compact

    Istruktionsbog Anvendelse ADVARSEL! Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype. Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser. Start og anvendelse af TPS-compact Tænding af TPS-compact sker ved blot at tilslutte strømmen og indstille den udvendige afbryder i position ON. Den indbyggede styreenhed registrerer øjeblikkeligt tilslutningen, og pumpen startes.

  • Seite 118: Stop Af Tps-Compact

    Istruktionsbog Anvendelse Stop af TPS-compact Afbrydelse af TPS-compact sker ved blot at indstille den udvendige afbryder i position OFF. Den indbyggede styreenhed afbryder straks pumpeanlægget. Nødstop Nødstop af TPS-compact sker ved at fjerne strømkablet fra stikkontakten eller indstille den udvendige afbryder i position OFF. 118/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...

  • Seite 119: Vedligeholdelse

    Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse TPS-compact behøver ikke nogen vedligeholdelse (med undtagelse af Tip-seal pakningen). Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...

  • Seite 120: Bortskaffelse

    Istruktionsbog Bortskaffelse Bortskaffelse Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det såkaldte EU-direktiv "WEEE". Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet, som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres på en godkendt affaldsstation.

  • Seite 121: Bruksanvisning

    TPS-compact User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 122 Allmän Information Symboler som används 125 Förvaring Förberedelser för installationen 127 Installation Använding Start och användning av TPS-compact Att stänga av TPS-compact Nödstopp Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna 121/314...

  • Seite 122: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar

    Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.

  • Seite 123: Allmän Information

    Bruksanvisning Allmän Information Allmän Information Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Agilent före användning av utrustningen. Agilent tar inget ansvar för skador som helt eller delvis beror på åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
  • Seite 124 Bruksanvisning Allmän Information I bruksanvisningen används följande standardrubriker: VARNING! Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador. Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! att inte risk för maskinskada ska uppstå.

  • Seite 125: Symboler Som Används

    Bruksanvisning Allmän Information Symboler som används De följande symbolerna används vanligen i alla illustrationer: Fara “Se installationen Skyddsledare /funktionen” Varm yta “Fara för ON - Start brännskador vid kontakt (försörjning) med varma delar” Fara, risk för elektrisk stöt OFF - Stopp (försörjning) VARNING! När pumpen används för en pumpning av giftiga, antändabara eller...

  • Seite 126: Förvaring

    Bruksanvisning Förvaring Förvaring Respektera följande anvisningar för att garantera optimal prestanda och driftsäkerhet för Agilent turbomolekylära pumpar: Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande ▪ omgivningsförhållanden respekteras: Temperaturområde: se handböckerna för de enstaka ▪ komponenterna på TPS Relativ fuktighet: se handböckerna för de enstaka ▪...

  • Seite 127: Förberedelser För Installationen

    Bruksanvisning Förberedelser för installationen Förberedelser för installationen TPS-compact levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att TPS-compact inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen.

  • Seite 128: Installation

    Bruksanvisning Installation Installation Ta bort tejpen och dra ut skyddsproppen först när turbopumpen ska anslutas till OBSERVER! systemet. Installera och/eller använd inte pumpsystemet i miljöer som utsätts för påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö. Följande krav på...
  • Seite 129 Bruksanvisning Installation Elkabel: Det är kabeln för en elektrisk koppling som består av tre ledare: (Fas+Nolledning+Jord). Kabelns tvärsnitt ska vara minst 0,75 (AWG18). Se till att det finns ett fritt utrymme runt systemet på minst 20 cm för att tillåta OBSERVER! en lämplig luftcirkulation.

  • Seite 130: Använding

    Bruksanvisning Använding Använding Anvisningar för riktig användning finns i styrenhetens bruksanvisning. Innan du använder systemet ska du utföra alla elektriska och pneumatiska anslutningar. Om vakuumkammaren uppvärms får temperaturen vid inloppet aldrig överstiga 120 °C med flänsningen ConFlat och 80 °Cmed flänsningen ISO. VARNING! Sätt aldrig igång pumpsystemet om intagsflänsen varken är kopplad till vakuumkammaren eller är blockerad på...

  • Seite 131: Start Och Användning Av Tps-Compact

    Bruksanvisning Använding Använd ädelgas, fri från damm, partiklar och fukt (t.ex. kväve) för luftning av OBSERVER! pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar (över atmosfäriskt tryck). VARNING! Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpsystemet i närheten av explosiva gaser.

  • Seite 132: Att Stänga Av Tps-Compact

    Bruksanvisning Använding Att stänga av TPS-compact Stäng av TPS-compact genom att placera den externa brytaren i läge OFF. Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpsystemets funktion. Nödstopp Stäng av TPS-compact vid en nödsituation genom att dra ut elkabeln från eluttaget eller genom att placera den externa brytaren i läge OFF.

  • Seite 133: Underhåll

    Bruksanvisning Underhåll Underhåll TPS-compact är underhållsfritt (förutom bytet av Tip-seal). Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC. Om pumpen havererar, kontakta Agilent reparationsverkstad.

  • Seite 134: Bortskaffning

    Bruksanvisning Bortskaffning Bortskaffning Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD- direktivet som har betecknats som "WEEE". Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med vanliga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett differentierat uppsamlingssystem måste upprättas.

  • Seite 135: Instruksjon Manual

    TPS-compact User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 137 Symboler i bruk Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Bruk 144 Starte og bruke TPS-compact Stoppe TPS-compact Nødstopp Vedlikehold Kassering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 135/314...

  • Seite 136: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylære Pumper

    Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Turbomolekylærpumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...

  • Seite 137: Generell Informasjon

    Instruksjon Manual Generell informasjon Generell informasjon Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Agilent før utstyret tas i bruk. Agilent kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på...
  • Seite 138 Instruksjon Manual Generell informasjon Denne manualen bruker følgende standardprotokoll: ADVARSEL! Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader. Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan FORSIKTIG! fore til at utstyret skades.

  • Seite 139: Symboler I Bruk

    Instruksjon Manual Generell informasjon Symboler i bruk Følgende symboler brukes i alle illustrasjonene: Fare. “Se Jording installasjon/funksjon” Varm flate. “Fare for PÅ – start forbrenning ved berøring (strømforsyning) av varme flater” Fare for elektrisk støt AV – stopp (strømforsyning) ADVARSEL! Når pumpen brukes for å...

  • Seite 140: Lagring

    Instruksjon Manual Lagring Lagring For å garantere maksimalt nivå for funksjonalitet og driftssikkerhet til pumpesystemet Agilent, må en følge forskriftene nedenfor: Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke følgende ▪ miljøforhold overstiges: Temperatur: se håndbøkene til de enkelte komponentene til ▪...

  • Seite 141: Klargjøre Til Installasjon

    Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Klargjøre til installasjon TPS-compact leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når TPS-compact pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt.

  • Seite 142: Installasjon

    Instruksjon Manual Installasjon Installasjon Tapen og beskyttelsesproppen skal fjernes først når turbopumpen koples til FORSIKTIG! systemet. Ikke installer eller bruk pumpesystemet i miljøer som utsettes for regn, snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer eller miljøer med stor brannfare. Under bruk må...
  • Seite 143 Instruksjon Manual Installasjon Strømkabel: Kabelen som egner seg for elektrisk kobling, er en kabel med tre ledere (fase + nøytral + jording). Kabelens tverrsnitt skal være minst 0,75 mm (AWG18). Sørg for at det er minst 20 cm åpent rom rundt systemet slik at luften kan FORSIKTIG! sirkulere.

  • Seite 144: Bruk

    Instruksjon Manual Bruk Bruk Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet. Les nøye gjennom denne manualen før systemet tas i bruk. Hvis vakuumkammeret varmes opp, skal temperaturen på inngangsflensen ikke overskride 120 °C med ConFlat inngangsflens eller 80 °C med ISO inngangsflens.

  • Seite 145: Starte Og Bruke Tps-Compact

    Instruksjon Manual Bruk Bruk fukt-, støv- og partikkelfri inaktiv gass (f. eks kvelstoff) ved forsyning av FORSIKTIG! pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2 bar (over atmosfærisk trykk). ADVARSEL! Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges.

  • Seite 146: Stoppe Tps-Compact

    Instruksjon Manual Bruk Stoppe TPS-compact For å stoppe TPS-compact er det nok å dreie den utvendige bryteren til OFF. Den innebygde styreenheten stanser pumpesystemet umiddelbart. Nødstopp For å stoppe TPS-compact i en nødsituasjon er det nødvendig å trekke strømkabelen ut av stikkontakten, eller dreie den utvendige bryteren til OFF.

  • Seite 147: Vedlikehold

    Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold TPS-compact er vedlikeholdsfri (bortsett fra utskifting av Tip-seal). Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noearbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.

  • Seite 148: Kassering

    Instruksjon Manual Kassering Kassering Betydningen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet som vises nedenunder, er anvendt i henhold til EC- direktivet kalt "WEEE". Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap), viser at produktet som det står på, IKKE må behandles som vanlig hus-industriavfall, men må...

  • Seite 149: Ohjekäsikirja

    TPS-compact User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 150 Yleisiä tietoja Käytetyt symbolit 153 Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Käyttö 159 TPS-compact:n käynnistys ja käyttö 160 TPS-compact: n pysäyttäminen 161 Hätäpysäytys 161 Huolto 162 Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 149/314...

  • Seite 150: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet

    Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 150/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...

  • Seite 151: Yleisiä Tietoja

    Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Yleisiä tietoja Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Agilentin toimittamat lisätiedot. Agilent ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä...
  • Seite 152 Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä: VAROITUS! Varoitus-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. Huomio-merkit varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen HUOMIO! vahingoittumiseen. Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa. HUOM 152/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...

  • Seite 153: Käytetyt Symbolit

    Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Käytetyt symbolit Seuraavia symboleita käytetään johdonmukaisesti kaikissa selityksissä: Vaara “Viittaa Suojajohdin asennukseen / toimintaan” Kuuma pinta ON - Käynnistys “Palovammojen vaara jos (Virransyöttö) kuumia pintoja kosketaan” Vaara, sähköiskun vaara OFF - Pysäytys (Virransyöttö) VAROITUS! Kun pumppua käytetään myrkyllisten, palavien tai radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudata jokaiselle kaasutyypille kuuluvia menetelmiä.

  • Seite 154: Varastointi

    Ohjekäsikirja Varastointi Varastointi Noudata seuraavassa annettuja ohjeita Agilent pumppausjärjestelmien parhaan ja luotettavan toiminnan takaamiseksi: Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan, seuraavia ▪ ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää: lämpötila: katso viittaa yksittäisten TPS:n osien ohjekirjoihin ▪ suhteellinen kosteus: viittaa yksittäisten TPS:n osien ▪...

  • Seite 155: Valmistelut Asennusta Varten

    Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Valmistelut asennusta varten TPS-compact toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TPS-compact:n putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä. Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali voidaan kierrättää...
  • Seite 156 Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten TPS-compact ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa (auki). On HUOM kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna, kunnes se asennetaan järjestelmään. Siten vältetään laitteen mahdollinen pölysaastuminen. 156/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...

  • Seite 157: Asennus

    Ohjekäsikirja Asennus Asennus Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi vasta, kun turbopumppu kytketään HUOMIO! järjestelmään. Pumppausjärjestelmää ei tule asentaa ja/tai käyttää ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen), pölyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai tulipalovaara. Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä...
  • Seite 158 Ohjekäsikirja Asennus VAROITUS! Järjestelmä on asennettava siten, että virta saadaan kytkettyä helposti pois päältä. Virtajohto: Sähkökytkentään soveltuu johto, jossa on kolme johdinta (vaihe+neutraali+maa). Johdon halkaisijan on oltava vähintään 0,75 (AWG18). Varmista, että järjestelmän ympärille jää vähintään 20 cm riittävän ilmankierron HUOMIO! takaamiseksi.

  • Seite 159: Käyttö

    Ohjekäsikirja Käyttö Käyttö Tähän kappaleeseen on kirjattu tärkeimmät käyttötoimenpiteet. Suorittakaa ennen järjestelmän käyttöä kaikki sähkö- ja paineilmakytkennät. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen aikana sisääntulolaipan lämpötila ei saa ylittää 120 °C:tta ConFlat laipoituksella ja 80 °C:tta ISO laipoituksella. VAROITUS! Älkää käyttäkö pumppausjärjestelmää, ellei sisääntulolaippaa ole kytketty tyhjiökammioon tai pumppua suljettu sulkulaipalla.

  • Seite 160: Tps-Compact:n Käynnistys Ja Käyttö

    Ohjekäsikirja Käyttö Päästettäessä pumppuun ilmaa tulee käyttää jalokaasua, jossa ei ole pölyä, HUOMIO! hiukkasia tai kosteutta (esim. typpi). Sisäänjohtavan paineen siihen sopivan aukon läpi täytyy olle alle 2 baaria (paitsi atmosfäärinen paine). VAROITUS! Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa.

  • Seite 161: Tps-Compact: N Pysäyttäminen

    Ohjekäsikirja Käyttö TPS-compact: n pysäyttäminen Pysäytä TPS-compact asettamalla ulkokatkaisin OFF-asentoon. Sisäänrakennettu valvoja pysäyttää pumppausjärjestelmän välittömästi. Hätäpysäytys Hätätilassa pysäytä TPS-compact irrottamalla sähköjohto pistorasiasta tai asettamalla ulkokatkaisin OFF-asentoon. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 161/314...

  • Seite 162: Huolto

    Ohjekäsikirja Huolto Huolto TPS-compact ei vaadi lainkaan huoltoa (tip-seal-tiivisteen vaihtamista lukuun ottamatta). Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC:en.

  • Seite 163: Hävittäminen

    Ohjekäsikirja Hävittäminen Hävittäminen Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys. Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE- direktiivin mukaisesti. Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää...
  • Seite 164 Ohjekäsikirja Hävittäminen 164/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...

  • Seite 165: Felhasználói Kézikönyv

    TPS-compact User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános információ 167 Felhasznált jelképek Tárolás Előkészítés telepítésre 171 Telepítés Használat A TPS-compact bekapcsolása és használata A TPS-compact kikapcsolása Vészleállítás 177 Karbantartás Megsemmisítés 179 Az eredeti utasítás fordítása 165/314...

  • Seite 166: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz

    Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –...

  • Seite 167: Általános Információ

    Felhasználói Kézikönyv Általános információ Általános információ A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Agilent által biztosított bármely információt. A Agilent nem vonható felelősségre olyan eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való...
  • Seite 168 Felhasználói Kézikönyv Általános információ Ez a kézikönyv a következő szabványos protokollt használja: VESZÉLY! A veszélyt üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet. A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! követnek, a berendezés károsodását okozhatják.

  • Seite 169: Felhasznált Jelképek

    Felhasználói Kézikönyv Általános információ Felhasznált jelképek Az alábbi jelképeket valamennyi ábrán következetesen használtuk: Veszélyjel “A telepítés / Biztonsági berendezés működést vegye vezetéke figyelembe” Forró felület “A forró ON - Bekapcsolás részek érintése (Táp) égésveszéllyel jár” Veszélyjel, áramütés OFF - Kikapcsolás veszélye (Táp) VESZÉLY!

  • Seite 170: Tárolás

    Felhasználói Kézikönyv Tárolás Tárolás A Agilent szivattyú-rendszerek maximális működési szintjének és megbízhatóságának biztosításához tartsa be a következő előírásokat: szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a következő ▪ környezeti paramétereket nem szabad túllépni: hőmérséklettartomány: olvassa el a TPS egyes alkatrészeinek ▪ kézikönyvét relatív páratartalom: olvassa el a TPS egyes alkatrészeinek ▪...

  • Seite 171: Előkészítés Telepítésre

    Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Előkészítés telepítésre A TPS-compact-ot különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához. A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le, és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását.
  • Seite 172 Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre A környezetnek való normál kitettség nem tudja károsítani a TPS-compact-ot. MEGJEGYZÉS Mégis ajánlatos zárva tartani a rendszerbe való telepítésig, így megakadályozva a por általi szennyeződés bármely formáját. 172/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...

  • Seite 173: Telepítés

    Felhasználói Kézikönyv Telepítés Telepítés Ne távolítsa el az öntapadó és védőkupakot a turbószivattyúnak a rendszerhez FIGYELEM! való csatlakoztatása előtt. Ne telepítse, valamint ne használja a szivattyúzó rendszert atmoszférikus közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég), porban, agresszív gázokban, illetve robbanó vagy tűzveszélyes környezetben. Üzemeltetés közben a következő...
  • Seite 174 Felhasználói Kézikönyv Telepítés Tápkábel: Az elektromos csatlakoztatáshoz való kábel háromeres (fázis+nulla” földelés). A kábelátmérő legalább 0,75 mm legyen (AWG18). Biztosítson a rendszer körül egy legalább 20 cm-es szabad területet, hogy a FIGYELEM! levegő megfelelően áramolhasson. KARIMA RÖGZÍTŐ ESZKÖZ RÖGZÍTŐ NYOMATÉK ISO 63 M10 kapcsok 22 Nm...

  • Seite 175: Használat

    Felhasználói Kézikönyv Használat Használat Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat. Végezze el az összes elektromos és pneumatikus csatlakoztatást a rendszer használata előtt. A vákuumkamra esetleges melegítése közben a bemeneti karima hőmérséklete nem haladhatja meg a 120 °C-ot ConFlat karima és a 80 °C-ot ISO karima esetén. VESZÉLY! Soha ne használja a szivattyúzó...

  • Seite 176: A Tps-Compact Bekapcsolása És Használata

    Felhasználói Kézikönyv Használat VESZÉLY! Amikor a szivattyút mérgező, gyúlékony vagy radioaktív gázok szivattyúzására használja, kérem, kövesse az egyes gázok ártalmatlanításához szükséges eljárásokat. Ne használja a szivattyúzó rendszert robbanó gázok jelenlétében. A TPS-compact bekapcsolása és használata A TPS-compact bekapcsolásához elegendő rákapcsolni a tápfeszültséget, majd a külső...

  • Seite 177: Vészleállítás

    Felhasználói Kézikönyv Használat Vészleállítás A TPS-compact vészhelyzetben való azonnali leállításához el kell távolítani a tápkábelt a hálózati dugaszból, vagy a külső kapcsolót KI állásba kell kapcsolni. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 177/314...

  • Seite 178: Karbantartás

    Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A TPS-compact nem igényel karbantartást (kivéve a Tip-seal cseréjét). A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...

  • Seite 179: Megsemmisítés

    Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés Megsemmisítés A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. Az alább látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű irányelvével összhangban kerül alkalmazásra. Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen megtalálható, NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari hulladékkal együtt megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív hulladékgyűjtő...
  • Seite 180 Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés 180/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...

  • Seite 181: Podrecznik Instrukcji

    TPS-compact User Manual Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne informacje 183 Zastosdowane symbole 185 Magazynowanie 186 Przygotowanie do instalacji 187 Instalacja Użytkowanie Włączenie i obsługa systemu TPS-compact Zatrzymanie TPS-compact 192 Zatrzymanie Alarmowe 192 Konserwacja Przetworstwo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej 181/314...

  • Seite 182: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych

    Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...

  • Seite 183: Ogólne Informacje

    Podrecznik Instrukcji Ogólne informacje Ogólne informacje Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Agilent przed użytkowaniem aparatury. Firma Agilent uchyla się od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich norm krajowych.
  • Seite 184 Podrecznik Instrukcji Ogólne informacje W tej instrukcji zastosowano następujące umowne znaczenia: ZAGROZENIE! zagrozenie Komunikaty przyciągają uwagę operatora co do danej procedury lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować poważne uszkodzenia ciała. Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku UWAGA! ich braku przestrzegania, może dojść...

  • Seite 185: Zastosdowane Symbole

    Podrecznik Instrukcji Ogólne informacje Zastosdowane symbole Niżej pokazane symbole zamieszczane są odpowiednio obok wszystkich rysunków: Niebezpieczeństwo Przewód ochronny “Dotyczy instalacji/działania” Gorąca powierzchnia ON - Włączenie “Dotknięcie gorących (Zasilanie) części grozi oparzeniem” Niebezpieczeństwo, grozi OFF - Zatrzymanie porażeniem elektrycznym (Zasilanie) ZAGROZENIE! Kiedy pompa jest stosowana do pompowania gazów toksycznych, palnych lub radioaktywnych, należy postępować...

  • Seite 186: Magazynowanie

    Podrecznik Instrukcji Magazynowanie Magazynowanie By zagwarantować maksymalny poziom funkcjonalności i działania systemów pompujących Agilent, powinny być przestrzegane następujące zasady: podczas transportu, przesunięcia i magazynowania pomp, nie ▪ mogą być przekroczone następujące warunki środowiskowe: temperatura: informacje podano w instrukcjach obsługi ▪ poszczególnych komponentów TPS względna wilgoć: informacje podano w instrukcjach obsługi ▪...

  • Seite 187: Przygotowanie Do Instalacji

    Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji Przygotowanie do instalacji System TPS-compact jest dostarczany w specjanym ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do których mogłoby dojść podczas transportu, należy skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży. Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną uwagę aby nie spowodować upadku systemu TPS-compact ani nie poddawać...

  • Seite 188: Instalacja

    Podrecznik Instrukcji Instalacja Instalacja Usunąć taśmę klejącą i zdjąć korek zabezpieczający tylko w momencie UWAGA! połączenia pompy do systemu. Nie instalować i / lub użytkować zespołu pompującego w otoczeniach wystawionych na czynniki atmosferyczne (deszcz, mróz, śnieg), pyły, gazy chemiczne, w środowiskach wybuchowych lub z wysokim zagrożeniem pożaru.
  • Seite 189 Podrecznik Instrukcji Instalacja ZAGROZENIE! System musi być zainstalowany w taki sposób, żeby możliwe było łatwe przerwanie zasilania. Kabel zasilający: do połączenia elektrycznego odpowiedni jest kabel 3-żyłowy (faza + neutralny + uziemienie). Kabel musi mieć przekrój co najmniej 0,75 mm (AWG18). Wokół...

  • Seite 190: Użytkowanie

    Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Użytkowanie W tym paragrafie zostały przedstawione główne procedury operacyjne. Przed zastosowaniem systemu należy wykonać wszystkie połączenia elektryczne i pneumatyczne. Podczas ewentualnego nagrzania komory próżniowej, temperatura na kołnierzu nie może przekroczyć 120 °C w przypadku kołnierza ConFlat i 80 °C w przypadku kołnierza ISO.

  • Seite 191: Włączenie I Obsługa Systemu Tps-Compact

    Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Dla wlotu do powietrza pompy zastosować obojętny gaz bez pyłu lub innych UWAGA! cząstek i bez wilgoci (np.: Azot). Ciśnienie wejściowe poprzez odpowiedni wlot musi być niższe od 2 barów ( ponad ciśnienie atmosferyczne). ZAGROZENIE! Kiedy pompa jest zastosowana do pompowania gazów toksycznych, łatwo palnych lub radioaktywnych, należy wykonać...

  • Seite 192: Zatrzymanie Tps-Compact

    Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Dla szczegółowego opisu panelu sterowniczego TPS-compact należy zapoznać się z dodatkiem “Technical Information”. Zatrzymanie TPS-compact Aby zatrzymać TPS-compact wystarczy ustawić wyłącznik zewnętrzny na pozycji OFF. Wbudowany sterownik zatrzyma natychmiast zespół pompujący. Zatrzymanie Alarmowe Aby zatrzymać w stanie alarmowym system TPS-compact, należy wyłączyć...

  • Seite 193: Konserwacja

    Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja System TPS-compact nie wymaga żadnej konserwacji (z wyjątkiem wymiany Tip-seal). Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROZENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór dla wlotu powietrza, odczekać aż...

  • Seite 194: Przetworstwo Odpadow

    Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow Przetworstwo odpadow Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo “WEEE”. Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia “WEEE” Unii Europejskiej. Symbol ten (prawomocny tylko w krajach Unii Europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany w miejscu przeznaczonym dla odpadow do przerobki zroznicowanej.

  • Seite 195: Návod K Použití

    TPS-compact User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 196 Všeobecné informace 197 Použité symboly Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Použití 204 Zapnutí a používání vývěvy TPS-compact 205 Vypnutí vývěvy TPS-compact Nouzové zastavení 206 Údržba Likvidace 208 Překlad originálního návodu 195/314...

  • Seite 196: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy

    Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení...

  • Seite 197: Všeobecné Informace

    Návod k Použití Všeobecné informace Všeobecné informace Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace dodané firmou Agilent. Firma Agilent neodpovídá za jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými osobami, neoprávněným zásahem do zařízení...
  • Seite 198 Návod k Použití Všeobecné informace Tento manuál používá následující standardní protokol NEBEZPEČÍ! Nebezpečí hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Pozor hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení mohly POZOR! poškodit zařízení.

  • Seite 199: Použité Symboly

    Návod k Použití Všeobecné informace Použité symboly Níže uvedené symboly jsou použity shodně u všech ilustrací: Nebezpečí! „Vycházejte z Ochranný (zemnicí) informací ohledně vodič instalace / činnosti“ Horký povrch! „Nebezpečí ZAP. - Zapnutí vzniku popálenin při (Napájení) dotyku částí s vysokou teplotou“...

  • Seite 200: Uskladnění

    Návod k Použití Uskladnění Uskladnění Pro zaručení maximální úrovně funkčnosti a spolehlivosti vývěvových systémů Agilent je třeba respektovat následující předpisy: Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste neměli ▪ překračovat následující technické podmínky prostředí: Teplotní rozpětí: vycházejte z návodů k jednotlivým ▪...

  • Seite 201: Příprava K Instalaci

    Návod k Použití Příprava k instalaci Příprava k instalaci Vývěva Mini Task se dodává ve speciálním ochranném obalu. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku. Při vybalování dávejte pozor, aby zařízení nespadlo a chraňte jej před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi.

  • Seite 202: Instalace

    Návod k Použití Instalace Instalace Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému nesundávejte adhezní a POZOR! ochranné víko. Čerpací systém neinstalujte v prostředí, které je vystaveno atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním plynům, ve výbušném prostředí nebo v prostředí s vysokým nebezpečím požáru.
  • Seite 203 Návod k Použití Instalace Napájecí kabel: Vhodným kabelem pro elektrické připojení je kabel se třemi vodiči (fázový vodič + nulový vodič + zemnicí vodič). Průřez vodičů kabelu musí být nejméně 0,75 mm (AWG18). Zajistěte kolem systému volný prostor nejméně do vzdálenosti 20 cm, aby byla POZOR! umožněna vhodná...

  • Seite 204: Použití

    Návod k Použití Použití Použití Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních postupů. Před použitím systému proveďte všechna elektrická a pneumatická připojení. Při případném zahřívání vakuové komory teplota vstupní příruby nesmí překročit 120 °C v případě příruby ConFlat a 80 °C v případě...

  • Seite 205: Zapnutí A Používání Vývěvy Tps-Compact

    Návod k Použití Použití Pro odvětrání vývěvy používejte inertní plyn bez prachu, částic a vlhkosti (např. POZOR! dusík). Tlak při odvětrávacím otvoru musí být menší než 2 bary (nad atmosférickým tlakem). NEBEZPEČÍ! Pokud používáte čerpací systém pro čerpání toxických, hořlavých nebo radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované...

  • Seite 206: Vypnutí Vývěvy Tps-Compact

    Návod k Použití Použití Vypnutí vývěvy TPS-compact Vývěvu TPS-compact stačí vypnout externím vypínačem, který přepnete do vypnuté polohy. Vestavěný regulátor čerpací systém okamžitě zastaví. Nouzové zastavení Pro okamžité zastavení vývěvy TPS-compact v nouzové situaci je třeba vytáhnout napájecí kabel ze síťové zásuvky, nebo vypnout síťový...

  • Seite 207: Údržba

    Návod k Použití Údržba Údržba Vývěva TPS-compact nevyžaduje žádnou údržbu (s výjimkou výměny Tip-seal). Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...

  • Seite 208: Likvidace

    Návod k Použití Likvidace Likvidace Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je takto označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho předat do patřičných provozních sběren, kde musí...

  • Seite 209: Návod Na Obsluhu

    TPS-compact User Manual Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie 211 Použité symboly Uchovávanie Príprava na inštaláciu 215 Inštalácia Použitie Zapnutie a použitie zariadenia TPS-compact Vypnutie TPS-compact 220 Núdzové zastavenie Údržba Likvidácia Preklad originálneho návodu 209/314...

  • Seite 210: Bezpečnostné Návod Pre Turbomolekulárne Vývevy

    Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť...

  • Seite 211: Všeobecné Informácie

    Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Všeobecné informácie Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Agilent. Spoločnosť Agilent nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi, zapríčinené...
  • Seite 212 Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia: NEBEZPEČÍE ! Nebezpečíe majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Pozor označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia.

  • Seite 213: Použité Symboly

    Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Použité symboly Nižšie uvedené symboly sú použité koherentným spôsobom vo všetkých ilustráciách: Nebezpečenstvo! Ochranný (zemniaci) „Vychádzajte z informácií vodič ohľadom inštalácie / činnosti“ Horúci povrch! ZAP. - Zapnutie „Nebezpečenstvo popálenia (Napájanie) pri kontakte s časťami s vysokou teplotou“...

  • Seite 214: Uchovávanie

    Návod na Obsluhu Uchovávanie Uchovávanie Aby sa zaistila maximálna funkčnosť a spoľahlivosť čerpacích sústav Agilent, je potrebné dodržiavať nasledujúce pokyny: neprekračujte nasledujúce špecifikácie prostredia počas prevozu, ▪ prenášania a uchovávania vývev: rozsah teplôt: vychádzajte z návodov k jednotlivým ▪ komponentom TPS rozsah relatívnej vlhkosti: vychádzajte z návodov k ▪...

  • Seite 215: Príprava Na Inštaláciu

    Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Príprava na inštaláciu Zariadenie TPS-compact je dodané v špeciálnom ochrannom obale. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na zastúpenie spoločnosti Agilent. Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie nespadlo, nebolo vystavené nárazu alebo prudkému otrasu, alebo vibráciám.
  • Seite 216 Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Bežné vystavenie okolitým podmienkam nemôže TPS-compact poškodiť. POZNÁMKA Napriek tomu je vhodné, aby zariadenie zostalo zabalené až do inštalácie kvôli prevencii kontaminácie prachom. 216/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...

  • Seite 217: Inštalácia

    Návod na Obsluhu Inštalácia Inštalácia Neodstraňujte lepiacu pásku a ochranný kryt skôr, než pripojíte turbovývevu k POZOR! systému. Čerpací systém neinštalujte ani nepoužívajte v prostredí vystavenom vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach, korozívne plyny, ani vo výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje vysoké riziko požiaru.
  • Seite 218 Návod na Obsluhu Inštalácia Napájací kábel: Vhodným káblom pre elektrické pripojenie je kábel s tromi vodičmi (fázový vodič + nulový vodič + zemniaci vodič). Prierez vodičov kábla musí byť najmenej 0,75 mm (AWG18). Zabezpečte okolo systému voľný priestor minimálne do vzdialenosti 20 cm, aby POZOR! bola umožnená...

  • Seite 219: Použitie

    Návod na Obsluhu Použitie Použitie Táto časť popisuje základné spôsoby použitia zariadenia. Skôr než začnete systém používať, zapojte všetky elektrické a pneumatické pripojenia. Pri prípadnom zahrievaní vákuovej komory nesmie teplota vstupnej príruby prekročiť 120 °C v prípade príruby ConFlat a 80 °C v prípade príruby ISO. NEBEZPEČÍE! Nikdy nepoužívajte čerpací...

  • Seite 220: Zapnutie A Použitie Zariadenia Tps-Compact

    Návod na Obsluhu Použitie NEBEZPEČÍE! Ak čerpací systém používate na vyčerpávanie toxických, horľavých alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov. Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov. Zapnutie a použitie zariadenia TPS-compact Pre zapnutie TPS-compactu stačí pripojenie k sieti a prepnutie vonkajšieho vypínača do polohy ON.

  • Seite 221: Núdzové Zastavenie

    Návod na Obsluhu Použitie Núdzové zastavenie Ak chcete zariadenie TPS-compact okamžite vypnúť v stave núdze, musíte alebo vytiahnuť kábel napájania zo zástrčky zdroja napájania, alebo prepnúť vonkajší vypínač do polohy OFF. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 221/314...

  • Seite 222: Údržba

    Návod na Obsluhu Údržba Údržba Zariadenie TPS-compact nevyžaduje žiadnu údržbu (s výnimkou výmeny Tip-seal). Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. NEBEZPEČÍE! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...

  • Seite 223: Likvidácia

    Návod na Obsluhu Likvidácia Likvidácia Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE". Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí odstrániť...
  • Seite 224 Návod na Obsluhu Likvidácia 224/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...

  • Seite 225: Priročnik Za Navodila

    TPS-compact User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 226 Splošne informacije Uporabljeni simboli 228 Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Uporaba Vklop in uporaba TPS-compact-a 235 Izklop TPS-compact-a 236 Zaustavitev v sili Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 225/314...

  • Seite 226: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke

    Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija.

  • Seite 227: Splošne Informacije

    Priročnik za Navodila Splošne informacije Splošne informacije Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije, ki mu jih je posredoval Agilent. Agilent ni odgovoren za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi.

  • Seite 228: Uporabljeni Simboli

    Priročnik za Navodila Splošne informacije Navodila so napisana po naslednjem standardnem protokolu: SVARILO! Svarilo so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na določene postopke pri katerih lahko pride do resnih poškodb, če se jih ne drži. Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe opreme. POZOR! Opombe vsebujejo pomebne informacije iz besedila.
  • Seite 229 Priročnik za Navodila Splošne informacije SVARILO! Ko črpalko uporabljate za črpanje toksičnih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, vedno upoštevajte ustrezne postopke, značilne za vsak posamezni plin. Črpalke nikoli ne uporabljajte ob prisotnosti eksplozivnih plinov. Črpalka je zasnovana za črpanje dušika, argona in lažjih plinov. Če bi bilo potrebno črpati pline, ki so težji od argona, se posvetujte s službo za tehnično pomoč...

  • Seite 230: Shranjevanje

    Priročnik za Navodila Shranjevanje Shranjevanje Da bi jamčili največji možni nivo uporabnosti in zanesljivosti črpalnih sistemov Agilent, je potrebno upoštevati sledeča pravila: Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete ▪ preseči naslednjih specifikacij: temperatura: oglejte si priročnike posameznih komponent ▪...

  • Seite 231: Priprava Za Montažo

    Priročnik za Navodila Priprava za montažo Priprava za montažo TPS-compact je dobavljen v posebni zaščitni embalaži. Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte. Embalažo zavrzite v skladu s pravili. Material je možno v celoti reciklirati in je v skladu z ECC direktivo 85/399.

  • Seite 232: Montaža

    Priročnik za Navodila Montaža Montaža Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete turbo črpalko na POZOR! sistem. Črpalni sistem nameščajte in uporabljajte samo odznotraj in v nobenem primeru je ne nameščajte v okolju, ki je izpostavljeno na atmosferske agente (dež, sneg, led), prah, agresivni plini ali v okoljih kjer obstaja nevarnost požara.
  • Seite 233 Priročnik za Navodila Montaža Napajalni kabel: napajalni kabel mora imeti tri vodnike (fazni+nevtralni+ozemljitveni vodnik). Presek kabla mora biti najmanj 0,75 mm (AWG18). Poskrbite, da bo okrog sistma najmanj 20 cm prostora, tako da omogočite POZOR! ustrezno kroženje zraka. PRIROBNICA NAPRAVA ZA PRITRJEVANJE NAVOR ISO 63 M10 držala...

  • Seite 234: Uporaba

    Priročnik za Navodila Uporaba Uporaba Ta odstavek opisuje osnovne postopke za uporabo. Pred uporabo sistema povežite vse električne in pnevmatske povezave. Med morebitnim segrevanjem vakuumske komore, temperatura na vhodni prirobnici ne sme presegati 120 °C pri prirobnici ConFlate oziroma 80 °C pri prirobnici ISO. SVARILO! Črpalnega sistema ne uporabljajte, če dovodna prirobnica ni priključena na vakuumsko ležišče.

  • Seite 235: Vklop In Uporaba Tps-Compact-A

    Priročnik za Navodila Uporaba Za prezračevanje črpalke uporabljajte čist plin, brez prahu, delčkov ali vlažnosti POZOR! (kot dušik). Pritisk na oddušniku mora biti manjši od 2 bara (nad pritiskom atmosfere). SVARILO! Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina.

  • Seite 236: Izklop Tps-Compact-A

    Priročnik za Navodila Uporaba Izklop TPS-compact-a Za izklop TPS-compact-a je dovolj, da premaknete zunanje stikalo v položaj OFF. Vgrajen kontroler takoj zaustavi črpalni sistem. Zaustavitev v sili Za takojšenj izklop TPS-compact-a v sili je potrebno odstraniti dovod napetosti ali premakniti zunanje stikalo v položaj OFF. 236/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...

  • Seite 237: Vzdrževanje

    Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje TPS-compact ne potrebuje vzdrževanja (razen zamenjave Tip-seal-a). Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.

  • Seite 238: Odlaganje Opadkov

    Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov Odlaganje opadkov Pomen znamke "WEEE" na etiketah. Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom "WEEE". Ta simbol (ki velja samo v državah Evropske Skupnosti) pomeni, da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki, temveč...

  • Seite 239: Instructions For Use

    TPS-compact User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 240 General Information Symbols used 243 Storage Preparation for Installation 245 Installation Switching on and Use of TPS-Compact TPS-Compact Switching off 250 Emergency Stop Maintenance Disposal Original Instructions 239/314...

  • Seite 240: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps

    Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors.

  • Seite 241: General Information

    Instructions for Use General Information General Information This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Agilent before operating the equipment. Agilent will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards.
  • Seite 242 Instructions for Use General Information This manual uses the following standard protocol: WARNING! The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury. The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment.

  • Seite 243: Symbols Used

    Instructions for Use General Information Symbols used The following symbols are used consistently throughout in all illustration: Warning “see Protective conductor installation/operating” terminal Hot surface “Danger of On (Power) burns if hot parts are touched” Caution, risk of electric Off (Power) shock WARNING! When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive...

  • Seite 244: Storage

    Instructions for Use Storage Storage In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Agilent pumping systems, the following guidelines must be followed: when shipping, moving and storing pumps, the following ▪ environmental specifications should not be exceeded: temperature range: refer to the manuals of the single TPS ▪...

  • Seite 245: Preparation For Installation

    Instructions for Use Preparation for Installation Preparation for Installation The TPS-compact is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it.

  • Seite 246: Installation

    Instructions for Use Installation Installation Do not remove the adhesive and protective cap before connecting the turbopump CAUTION! to the system. Do not install or use the pumping system in an environment exposed to atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk.
  • Seite 247 Instructions for Use Installation Power supply cord: The correct cable for electrical wiring is a three wires (Ph+N+Earth) cable. The wire section has to be at least 0.75 (AWG18). Assure a free space all around the system at minimum of 20cm to allow proper CAUTION! air circulation.

  • Seite 248: Use

    Instructions for Use This paragraph details the fundamental operating procedures. Make all electrical an pneumatic connections before the use of the system. While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet flange must not exceed 120 °C with ConFlat flanging and 80 °C with ISO flanging.

  • Seite 249: Switching On And Use Of Tps-Compact

    Instructions for Use Use inert gas free from dust, particles or humidity (like Nitrogen) for venting the CAUTION! pump. The pressure at the vent port must be less than 2 bar (above atmospheric pressure). WARNING! When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive gases, please follow the required procedures for each gas disposal.

  • Seite 250: Tps-Compact Switching Off

    Instructions for Use TPS-Compact Switching off To switch off the TPS-compact it is sufficient to move the external switch to OFF position. The integrated controller immediately stops the pumping system. Emergency Stop To immediately stop the TPS-compact in an emergency condition it is necessary to remove the supply cable from the mains plug or moving the external switch to OFF position.

  • Seite 251: Maintenance

    Instructions for Use Maintenance Maintenance The TPS-compact does not require any maintenance (except Tip-seal replacement). Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains, vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 °C.

  • Seite 252: Disposal

    Instructions for Use Disposal Disposal Meaning of the "WEEE" logo found in labels. The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in countries of the European Community) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system.

  • Seite 253: Technical Information

    TPS-compact User Manual Technical Information Description of the TPS-Compact Turbopump Description 257 Controller Description Control Panel Description Scroll Pump Description 260 Technical Specification TPS-Compact Outline Inlet Screen Installation 267 High Vacuum Flange Connection 269 High Vacuum Flange Connection Configurations ASDF – Adaptive Scroll Driving Firmware Interconnections Input Power Connector 274 P3 –...
  • Seite 254 Technical Information Disposal RS 232/RS 485 Communication Description 288 Communication Format 288 Serial Communication Descriptions Window Protocol Description Communication Format 291 Communication Protocol Examples 294 Window Meanings 297 Service Options 301 Cleaning 301 Exterior Interior Tip-Seal Replacement To Remove the Worn Tip-Seals To Install the new Seals and O-Rings 304 To test the Pumping System Troubleshooting Chart...

  • Seite 255: Description Of The Tps-Compact

    Technical Information Description of the TPS-Compact Description of the TPS-Compact The TPS-compact pumping system consists of a pump with an integrated controller and a forepump and is available in twenty-four models which differ in the TPM size, high vacuum flange and voltage. The models are: Flange Foreline...
  • Seite 256 Technical Information Description of the TPS-Compact 74 FS or 304 FS 256/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...

  • Seite 257: Turbopump Description

    Technical Information Description of the TPS-Compact Turbopump Description The turbopump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted with many bladed stages and Twistorr drag stages. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end.

  • Seite 258: Controller Description

    Technical Information Description of the TPS-Compact Controller Description The integrated controller is a solid-state frequency converter which is driven by a single chip micro-computer and is composed of a PCB which includes a power supply with a 3-phase AC output, analog and input/output section, microprocessor and digital section.
  • Seite 259 Technical Information Description of the TPS-Compact Control name Description J5 IN-OUT Input-output connector to remote control the TPS-compact J6 SERIAL Serial input-output connector to control the TPS-compact via an RS 232 or RS 485 connection STATUS Blue LED to show the system operating condition P3 VENT Connector to control the optional vent valve GAUGE...

  • Seite 260: Scroll Pump Description

    Technical Information Description of the TPS-Compact Scroll Pump Description The TPS-compact internal scroll creates vacuum using a simple dual scroll mechanism in which one of the nested scrolls orbits about the other, creating moving zones of captured gas. Gas enters the scroll set at the perimeter and is displaced and compressed toward the center hub where it is exhausted.

  • Seite 261: Technical Specification

    Technical Information Technical Specification Technical Specification Characteristic 304 FS ISO100 74 FS ISO63/CFF4.5” Pumping speed (l/s) : 180 l/s : 48 l/s (With inlet screen) He: 44 l/s H2: 32 l/s Base pressure* 1x10 mbar (*) [CFF flanges] 7.5x10 Torr (*) [CFF Flanges] 1x10 mbar [ISO Flanges] 7.5 x 10...
  • Seite 262 Technical Information Technical Specification Characteristic 304 FS ISO100 74 FS ISO63/CFF4.5” Indoor Use Only Max Altitude 2000m Installation category Pollution degree Power cable 115 Vac: US plug 3 meters long 230 Vac: EU or UK plug 3 meters long Serial communication (kit) RS232 cable with a 9-pin D type male connector and a 9-pin D type female connector, and software (optional) Storage temperature...

  • Seite 263: Tps-Compact Outline

    Technical Information TPS-Compact Outline TPS-Compact Outline The following figure shows the TPS-compact outline. Dimensions are in mm. TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 263/314...
  • Seite 264 Technical Information TPS-Compact Outline TPS-compact equipped with 304 FS: Pumping speed for Nitrogen 264/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
  • Seite 265 Technical Information TPS-Compact Outline TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 265/314...
  • Seite 266 Technical Information TPS-Compact Outline TPS-compact 304 FS: 15l pumpdown 266/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...

  • Seite 267: Inlet Screen Installation

    Technical Information TPS-Compact Outline Inlet Screen Installation TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 267/314...
  • Seite 268 Technical Information TPS-Compact Outline The inlet screens mod. 9699300, 9699309, 9699302 and 9699303 prevent the blades of the pump from being damaged by debris greater than 0.7 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pumping speed by about 10 %.

  • Seite 269: High Vacuum Flange Connection

    Technical Information TPS-Compact Outline The screen can be mounted on each pump. The screen can be removed as shown in the following figure. High Vacuum Flange Connection To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange, remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure.
  • Seite 270 Technical Information TPS-Compact Outline Then fix the two flanges with the clamps or claws as shown in the figure. For ConFlat flange connections we recommend using Agilent hardware. To facilitate assembly and dismantling, apply Fel-pro C-100 high temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange.

  • Seite 271: High Vacuum Flange Connection Configurations

    Technical Information TPS-Compact Outline High Vacuum Flange Connection Configurations TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 271/314...

  • Seite 272: Asdf - Adaptive Scroll Driving Firmware

    Technical Information ASDF – Adaptive Scroll Driving Firmware ASDF – Adaptive Scroll Driving Firmware TPS – compact implements a function that safeguards the life of the scroll pump Tip-seal. The function is described in the diagram below where P is the turbomolecular pump power. Inlet gas load is monitored measuring the turbomolecular absorbed ������...
  • Seite 273 Technical Information ASDF – Adaptive Scroll Driving Firmware TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 273/314...

  • Seite 274: Interconnections

    Technical Information Interconnections Interconnections Input Power Connector The following figure shows the input power connector. P3 – Vent This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve (available on request). The vent valve can be driven by controller automatically or by serial line.

  • Seite 275: Gauge Connector

    Technical Information Interconnections Gauge Connector TPS-compact is equipped with new generation gauge reading card able to drive/read a Agilent Full Range Gauge FRG-700. The FRG-700 Full Range Gauge is a combined technologies gauge (Inverted Magnetron plus Pirani Gauge). FRG-700 measure from 5x10 mbar to atmosphere (3.8x10 Torr to atmosphere) and its temperature range goes from 5 °C to 55 °C...
  • Seite 276 Technical Information Interconnections Pressure gauge can be connected/disconnected from the TPS- compact during normal operation. 276/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...

  • Seite 277: Pressure Display Module

    Technical Information Interconnections Pressure Display Module TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 277/314...

  • Seite 278: J5 - In-Out

    Technical Information Interconnections J5 – In-Out This connector carries all the input and output signals to remote control the TPS-compact. It is a 15-pins D type connector; the available signals are detailed in the table, the following para-graphs describe the signal characteristics and use.

  • Seite 279: Signal Description

    Technical Information Interconnections Pin N. Signal name Input/Output GROUND  PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL (-)  Signal Description START/STOP: input signal to start or stop the pump. Without the supplied cover connector the turbomolecular pump automatically starts, if you want to stop the turbo-pump from outside, you have to connect the START/STOP (+) signal to the +24 Vdc pin and the START/STOP (-) signal to the GROUND pin (this is the default configuration of the cover connector).
  • Seite 280 Technical Information Interconnections PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL: this output signal is a voltage (from 0 to 10 Vdc) proportional to a reference quantity (frequency or power or Temperature or Pressure) set by the user. The de-fault setting is the frequency (see the following example diagram). 280/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
  • Seite 281 Technical Information Interconnections Output: Power setting Voltage (V) Output: Temperature setting Voltage (V) TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 281/314...
  • Seite 282 Technical Information Interconnections Output: Pressure setting 1,0E-01 1,0E-02 1,0E-03 1,0E-04 1,0E-05 1,0E-06 1,0E-07 1,0E-08 1,0E-09 Voltage (V) FAULT: this open collector output signal is ON when a system fault condition is detected. PROGRAMMABLE SET POINT: this open collector output signal is enabled when the reference quantity chosen (frequency, power or time or pressure or normal) is higher than the set threshold.

  • Seite 283: How To Connect The Open Collector Input Of The Controller

    Technical Information Interconnections It is possible to delay the set point checking for a programmable delay time. The PROGRAMMABLE SET POINT signal has the following default settings: reference quantity: frequency ▪ thereshold: 867 Hz ▪ hysteresis: 2 % ▪ ▪ activation type: high level delay time: 0 second ▪...
  • Seite 284 Technical Information Interconnections the customer supplies the 24 Vdc the customer does not supply the 24 Vdc. Please note that on the connector a 24 Vdc, 30 mA, a GROUND signal and the open collector pin are available. 284/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
  • Seite 285 Technical Information Interconnections TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 285/314...
  • Seite 286 Technical Information Interconnections 286/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...

  • Seite 287: How To Connect The Outputs Of The Controller

    Technical Information Interconnections How to Connect the Outputs of the Controller The following figure shows a typical logic output connection (relay coil) but any other device may be connected e.g. a LED, a computer, etc., and the related simplified circuit of the controller. The figure example refers to the programmable set point signal on pins 11 and 9.

  • Seite 288: Rs 232/Rs 485 Communication Description

    Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Signal name +5 V (OUT) TX (RS232) RX (RS232) Not used A + (RS485) Not used B - (RS485) Not used A serial communication kit with a serial cable and the Navigation Software is available (optional). RS 232/RS 485 Communication Description Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are available on the connector J6.
  • Seite 289 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description  ½ W PC HOST TPS-compact TPS-compact  ½ W TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 289/314...

  • Seite 290: Serial Communication Descriptions

    Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description The communication port mating connector is sup-plied with the RS232 PCB (AMP/Cannon or equivalent 15-pin “D” type male connector). For example, the Transmit data signal from con-troller (pin 2) must be connected to the host computer’s receive data line (pin 2) and vice versa.

  • Seite 291: Window Protocol

    Technical Information Window Protocol Window Protocol Description Communication Format • 8 data bit • no parity • 1 stop bit • baud rate: 600/1200/2400/4800/9600 programmable Communication Protocol The communication protocol is a MASTER/SLAVE type where: Host = MASTER ▪ Controller = SLAVE ▪...
  • Seite 292 Technical Information Window Protocol ▪ <STX> (Start of transmission) = 0x02 ▪ <ADDR> (Unit address) = 0x80 (for RS 232) <ADDR> (Unit address) = 0x80 + device number (0 to 31) (for RS 485) ▪ <WIN> (Window) = a string of 3 numeric character indicating the window number (from ‘000’...
  • Seite 293 Technical Information Window Protocol The controller can answers with the following response types: Response Type Response Response Description Length Value After a read instruction of a logic Logic 1 byte window After a read instruction of a numeric Numeric 6 bytes window After a read instruction of an Alphanumeric...

  • Seite 294: Examples

    Technical Information Window Protocol Examples Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 294/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...
  • Seite 295 Technical Information Window Protocol Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H) 295/314...
  • Seite 296 Technical Information Window Protocol Command: READ PUMP STATUS Source: PC Destination: Controller (with address = 3) ADDR WINDOW Source: Controller (with address = 3 in stop status) Destination: PC ADDR WINDOW DATA (STATUS) Command: REAL SERIAL TYPE Source: PC Destination: Controller (with address = 3 in 485 mode) ADDR WINDOW Source: Controller...

  • Seite 297: Window Meanings

    Technical Information Window Protocol Window Meanings Read/ Data Description Admitted Values Write Type Start/Stop (in remote/ mode the window Start = 1 is a read only) Stop = 0 Low Speed Activation (in remote/ mode No = 0 the window is a read only) Yes = 1 (default = 0) Remote or Serial configuration...
  • Seite 298 Technical Information Window Protocol Read/ Data Description Admitted Values Write Type Baud rate 600 = 0 1200 = 1 2400 = 2 4800 = 3 9600 = 4 (default = 4) Pump life/ cycle time/ cycle number reset To reset write ‘1’ Interlock type (default = 1) Impulse = 0 Continuous = 1...
  • Seite 299 Technical Information Window Protocol Read/ Data Description Admitted Values Write Type Gas load type Ø = N Select the gas load to the pump 1 = Ar Pressure Reading Connection Factor 0 to 10 Table A1 Appendix A FRG700 Manual 0 = 0 10 = 1 = N R1 Set Point Pressure Valve...
  • Seite 300 Technical Information Window Protocol Read/ Data Description Admitted Values Write Type CRC Param. (PA) PA8XXXX (where “XXXX” are variable) CRC Parameter structure "XXXX" Program Listing Code "XXXXXXXXXX" Parameter Listing Code "XXXXXXXXXX" Reserved to Agilent service RS 485 address 0 to 31 (default = 0) Serial type select 0 = RS 232 1 = RS 485 (default = 0)

  • Seite 301: Service Options

    Technical Information Service Options Service Options Agilent pumping systems will provide many years of trouble-free operation if the maintenance procedures are observed. Pumping System cleaning and internal scroll pump tip seal replacement are recommended when Pumping System TMP adsorbed current (with blanked inlet flange) has risen to an unacceptably high level (>500 mA) or when the message “TIP-SEAL SERV”...

  • Seite 302: Tip-Seal Replacement

    Technical Information Service Options Tip-Seal Replacement The parts and tools required to replace Tip-Seals are listed below: Tip-Seal Replacement Kit P/N IDP3TS ▪ 4 mm Allen wrench ▪ Razor blade or side-cutting pliers ▪ Compressed air (optional) ▪ 302/314 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01...

  • Seite 303: To Remove The Worn Tip-Seals

    Technical Information Service Options WARNING! Before replace Tip-Seals remove the power supply cable. To Remove the Worn Tip-Seals Disconnect the TPS-compact from electrical power. Unlock the scroll pump support by unscrewing the screws (A) (see the “Tip-Seal replacement - Figure A”) Lift the TPS-compact in order to access the Scroll pump site (you’ll hear a “click”...

  • Seite 304: To Install The New Seals And O-Rings

    Technical Information Service Options If compressed air is available, blow any remaining seal debris off the scroll parts. If seal debris is attached to the sides, use a razor or Exacto knife to scrape the debris off. To Install the new Seals and O-Rings Unpack the Tip-Seals.

  • Seite 305: To Test The Pumping System

    Technical Information Service Options WARNING! If dangerous gases were being pumped, flush the pump with air or inert gas for at least 10 minutes prior to disassembly. To test the Pumping System Run the TPS-compact for about 5 seconds. Verify that the front fan is running.

  • Seite 306: Troubleshooting Chart

    Technical Information Service Options Troubleshooting Chart Problem Possible Causes Corrective Actions TMP doesn’t Scroll Pump motor thermal Allow motor to cool. Identify cause of overload. reach NORMAL protector open OPERATION Vacuum system leak Locate and repair leak. System will not Excessive voltage drop Check size and length of cable.

  • Seite 307: Replacement Parts And Accessories

    Technical Information Replacement Parts and Accessories Replacement Parts and Accessories 74 FS 74 FS 74 FS 74 FS TPS-compact KF40 ISO 63 CFF 4.5" CFF 2.75" 115 V X3580-64000 X3580-64001 X3580-64002 X3580-64003 230 V X3580-64010 X3580-64011 X3580-64012 X3580-64013 100 V X3580-64020 X3580-64021 X3580-64022...
  • Seite 308 Technical Information Replacement Parts and Accessories 304 FS 304 FS 304 FS 304 FS TPS-compact ISO 100 CFF 6" ISO 160 CFF 8" 115 V X3580-64004 X3580-64005 X3580-64006 X3580-64007 230 V X3580-64014 X3580-64015 X3580-64016 X3580-64017 100 V X3580-64024 X3580-64025 X3580-64026 X3580-64027 Accessories DIY Full Range Gauge Kit...
  • Seite 314 Request for Return Form United States India (Sales) India (Service) Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies India Pvt. Ltd. 121 Hartwell Avenue Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109 C-Block, RMZ Centennial Plot Number- 8A, 8B, 8C,...

Diese Anleitung auch für:

Tps-compact x3580-64001Tps-compact x3580-64002Tps-compact x3580-64003Tps-compact x3580-64004Tps-compact x3580-64005Tps-compact x3580-64006 ... Alle anzeigen

Inhaltsverzeichnis