Seite 1 TwisTorr 74 FS Pump models: X3502-64170, X3502-64171, X3502-64172, X3502-64173 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog Priročnik za navodila...
Seite 2: Trademarks
Use, duplication or disclosure of Software is subject to The material contained in this Agilent Technologies’ standard © Agilent Technologies, Inc. 2021 document is provided “as is,” and is commercial license terms, and non- subject to being changed, without...
Seite 3 TwisTorr 74 FS Pump TwisTorr 74 FS Pump TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 3/352...
Seite 4 TwisTorr 74 FS Pump 4/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 5: Inhaltsverzeichnis
Contents Contents Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Immagazzinamento Preparazione per l’installazione Installazione Fissaggio della pompa Uso della TwisTorr 74 FS Manutenzione Smaltimento Servizio Post Vendita Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Allgemeine Informationen Lagerung Vor der Installation Installation Befestigung der Pumpe Verwendung TwisTorr 74 FS...
Seite 6 Contents Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Stockage Préparation pour l’installation Installation Fixation de la pompe Utilisation de la TwisTorr 74 FS Entretien Mise au rebut Service Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general Almacenamiento Preparación para la instalación...
Seite 7 Contents Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Fixação da bomba Utilização do TwisTorr 74 FS Manutenção Eliminação Serviço pós-venda Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Algemene informatie Opslag Uitpakken Installatie Bevestiging van de pomp Gebruik van de TwisTorr 74 FS Onderhoud...
Seite 8 Contents Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel information Opbevaring Forberedelser før installation Installation Fastgøring af pumpen Anvendelse af TwisTorr 74 FS Vedligeholdelse Bortskaffelse Service Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar Allmän information Förvaring Förberedelser för installation Installation Fastsättning av pumpen Användning av TwisTorr 74 FS Underhåll Bortskaffning Service...
Seite 9 Contents Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Festing av pumpen Bruk av TwisTorr 74 FS Vedlikehold Eliminering Service 10 Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Pumpun kiinnitys TwisTorr 74 FS käyttö Huolto Hävittäminen Huolto...
Seite 10 Contents 11 Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános informáicó Tárolás Előkészítés telepítésre Telepítés A szivattyú rögzítése A TwisTorr 74 FS használata Karbantartás Megsemmisítés Szolgáltatások 12 Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne Informacje Magazynowanie Przygotowanie do instalacji Instalacja Mocowanie pompy Użytkowanie pompy TwisTorr 74 FS...
Seite 11 Contents 13 Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Všeobecné informace Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Upevnění vývěvy Použití vývěvy TwisTorr 74 FS Údržba Likvidace Servis 14 Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Upevnenie vývevy Použitie vývevy TwisTorr 74 FS...
Seite 12 Contents 15 Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Pritrditev črpalke Uporaba črpalke TwisTorr 74 FS Vzdrževanje Odlaganje opadkov Servis 16 Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps General Information Storage Preparation for installation Installation Pump Fixing...
Seite 13 Contents 17 Technical Information Description of the TwisTorr 74 FS Technical Specification TwisTorr 74 FS Outline Interconnections Soft Start Inlet screen installation Air Cooling Kit Installation Water Cooling Kit Connection Vent Accessories Vibration Isolator Installation Purge Valve Installation TwisTorr 74 FS On Board Controller Installation Connection of the High Vacuum Flange Connection of the Fore-Vacuum Pump Pump Used with Corrosive Gases...
Seite 14 Contents 14/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 15: Istruzioni Per L'uso
TwisTorr 74 FS User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Simboli di Sicurezza Immagazzinamento Preparazione per l’installazione Installazione Fissaggio della pompa Uso della TwisTorr 74 FS Manutenzione Smaltimento Servizio Post Vendita Traduzione delle istruzioni originali 15/352...
Seite 16: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari
Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori.
Seite 17: Informazioni Generali
Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Informazioni Generali Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.
Seite 18 Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: AVVERTENZA! I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
Seite 19: Simboli Di Sicurezza
Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Simboli di Sicurezza SIMBOLO DESCRIZIONE DEI SIMBOLI L’apparato è contrassegnato da questo simbolo quando l’operatore deve fare riferimento al manuale di istruzioni al fine di proteggersi dai rischi di danno e per proteggere l’apparato da eventuali danni. L’apparato è...
Seite 20: Immagazzinamento
Istruzioni per l’uso Immagazzinamento Immagazzinamento Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti prescrizioni: durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle  pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: temperatura: da –40 °C a 70 °C ...
Seite 21: Preparazione Per L'installazione
Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Preparazione per l’installazione La pompa TwisTorr 74 FS viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la pompa TwisTorr 74 FS e a non sottoporla ad urti o vibrazioni.
Seite 22 Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Figura 1 X3502-64170, X3502-64171, X3502-64172, X3502-64173 22/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 23: Installazione
Istruzioni per l’uso Installazione Installazione AVVERTENZA! La pompa funziona ad alta velocità di rotazione. Si prega di installare la pompa prima di azionarla. Il funzionamento della pompa senza che sia collegata al sistema permette di toccare le parti in movimento che possono provocare gravi infortuni.
Seite 24 Istruzioni per l’uso Installazione Figura 2 Figura 3 24/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 25 Istruzioni per l’uso Installazione Installare questo apparato solo in ambienti chiusi, ed in ogni caso non utilizzarlo in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio. Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali: pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica;...
Seite 26: Fissaggio Della Pompa
Istruzioni per l’uso Fissaggio della pompa Fissaggio della pompa AVVERTENZA! La mancata osservazione di queste istruzioni di installazione, nel caso in cui si verifichi un guasto del rotore, può provocare il distacco della pompa dal sistema, causando danneggiamenti, gravi ferite o morte. La TwisTorr 74 FS può...
Seite 27: Uso Della Twistorr 74 Fs
Istruzioni per l’uso Uso della TwisTorr 74 FS Uso della TwisTorr 74 FS AVVERTENZA! Assicurare il corretto utilizzo dell'apparecchiatura. L'operatore di questo strumento è invitato ad utilizzare l'apparecchiatura nel modo specificato in questo manuale. Il mancato rispetto delle indicazioni riportate in questo manuale può compromettere la protezione fornita dall’apparecchiatura.
Seite 28 Istruzioni per l’uso Uso della TwisTorr 74 FS Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della pompa quando è in funzione. ATTENZIONE! I cuscinetti potrebbero danneggiarsi. Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la pressione atmosferica).
Seite 29: Manutenzione
Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione La TwisTorr 74 FS non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
Seite 30: Smaltimento
Istruzioni per l’uso Smaltimento Smaltimento Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette. Il simbolo qui sotto riportato è applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
Seite 31: Servizio Post Vendita
Istruzioni per l’uso Servizio Post Vendita Servizio Post Vendita Nel caso in cui un cliente necessiti di un servizio di sostituzione o riparazione avanzato, si prega di contattare il distributore locale o spedire direttamente a: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com È necessario completare il modulo “Request for Return” per restituire la pompa ad Agilent per l'assistenza (fornito alla fine di questo manuale).
Seite 32: Gebrauchsanleitung
TwisTorr 74 FS User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Allgemeine Informationen Sicherheits-Symbole Lagerung Vor der Installation Installation Befestigung der Pumpe Verwendung TwisTorr 74 FS Wartung Entsorgung Service Übersetzung der Originalanleitungen 32/352...
Seite 33: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen
Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
Seite 34: Allgemeine Informationen
Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen Allgemeine Informationen Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung.
Seite 35: In Dieser Gebrauchsanleitung Werden Sicherheitshinweise Folgendermaßen Hervorgehoben
Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: WARNUNG! Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.
Seite 36: Sicherheits-Symbole
Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen Sicherheits-Symbole SYMBOL BESCHREIBUNG DES SYMBOLS Das Gerät ist mit diesem Symbol gekennzeichnet, wenn der Bediener im Handbuch nachschlagen soll, um sich selbst und das Gerät vor Schäden zu schützen. Das Gerät ist mit diesem Symbol gekennzeichnet, wenn der Bediener sich während des Betriebs davon fernhalten soll.
Seite 37: Lagerung
Gebrauchsanleitung Lagerung Lagerung Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Agilent Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden Anweisungen zu beachten: Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung  der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden: Temperatur: von –40 °C bis 70 °C ...
Seite 38: Vor Der Installation
Gebrauchsanleitung Vor der Installation Vor der Installation Die Pumpe TwisTorr 74 FS wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Die TwisTorr 74 FS ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist. Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß...
Seite 39 Gebrauchsanleitung Vor der Installation X3502-64170, X3502-64171, X3502-64172, X3502-64173 Abbildung 1 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 39/352...
Seite 40: Installation
Gebrauchsanleitung Installation Installation WARNUNG! Die Pumpe rotiert sehr schnell. Da die Pumpe ohne Controller nicht arbeiten kann, sollte sie vor der Einschaltung installiert werden. Wenn die Pumpe ohne Verbindung zum System läuft, können die beweglichen Teile berührt werden, was zu schweren Unfällen führen kann. WARNUNG! Das Versorgungskabel des Controllers dient auch dazu, Controller und Pumpe im Notfall von der Stromversorgung abzuschneiden.
Seite 41 Gebrauchsanleitung Installation Abbildung 2 Abbildung 3 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 41/352...
Seite 42 Gebrauchsanleitung Installation Der Apparat nur in geschlossenen Räumen installiert werden. Er darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind, und nicht in explosionsfähigen oder erhöht brandgefährdeten Umgebungen verwendet werden. Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden: Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck: ...
Seite 43: Befestigung Der Pumpe
Gebrauchsanleitung Befestigung der Pumpe Befestigung der Pumpe WARNUNG! Im Fall der Nichtbeachtung dieser Installationsanleitung kann sich bei einem Schaden am Rotor die Pumpe vom System lösen, was zu Sach- oder Personenschäden bis hin zu schweren Verletzungen und zum Tod führen kann.
Seite 44: Verwendung Twistorr 74 Fs
Gebrauchsanleitung Verwendung TwisTorr 74 FS Verwendung TwisTorr 74 FS WARNUNG! Vergewissern Sie sich, dass das Gerät korrekt betrieben wird. Dem Bediener wird geraten, das Gerät so zu verwenden, wie in diesem Handbuch beschrieben. Die Nichtbeachtung der Hinweise dieses Handbuchs kann die Sicherheit des Gerätes beeinträchtigen.
Seite 45 Gebrauchsanleitung Verwendung TwisTorr 74 FS Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen sowie VORSICHT! Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da die Lager beschädigt werden könnten. Für die Belüftung der Pumpe trockene staub und partikelfreie Luft oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluß soll unter 2 bar (über dem atmosphärischen Druck) betragen.
Seite 46: Wartung
Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Die Pumpen TwisTorr 74 FS erfordern keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C abgesunken ist.
Seite 47: Entsorgung
Gebrauchsanleitung Entsorgung Entsorgung Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten. Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss.
Seite 48: Service
Gebrauchsanleitung Service Service Sollte ein Kunde einen erweiterten Austausch- oder Reparaturservice benötigen, wenden Sie sich bitte an den örtlichen Händler oder direkt and die Email-Adresse: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Das Ausfüllen des "Request for Return" formulars ist erforderlich, um die Pumpe zur Wartung an Agilent zurückzusenden (am Ende dieses Handbuchs angegeben).
Seite 49: Mode D'emploi
TwisTorr 74 FS User Manual Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Symboles de sécurité Stockage Préparation pour l’installation Installation Fixation de la pompe Utilisation de la TwisTorr 74 FS Entretien Mise au rebut Service Traduction de la mode d’emploi originale 49/352...
Seite 50: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires
Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors.
Seite 51: Indications Générales
Mode d’emploi Indications générales Indications générales Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Agilent qui décline par conséquent toute responsabilité...
Seite 52 Mode d’emploi Indications générales Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: AVERTISSEMENT! Les messages d’avertissement attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de façon impropre, risque de provoquer de graves lésions Les messages d’attention apparaissent avant certaines procédures qui, si elles ATTENTION! ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l’appareillage.
Seite 53: Symboles De Sécurité
Mode d’emploi Indications générales Symboles de sécurité SYMBOLE DESCRIPTION Ce symbole apposé sur l’appareil signale à l’opérateur qu’il doit se reporter au mode d’emploi pour sa propre sécurité et pour ne pas endommager l’appareil. Ce symbole apposé sur l’appareil signale à l’opérateur qu’il doit se tenir à distance de sécurité...
Seite 54: Stockage
Mode d’emploi Stockage Stockage Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pompes Turbomoléculaires Agilent, il est indispensable de respecter les instructions suivantes: Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent  impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes: température: de –40 °C à...
Seite 55: Préparation Pour L'installation
Mode d’emploi Préparation pour l’installation Préparation pour l’installation La pompe TwisTorr 74 FS est livré dans un emballage de protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à...
Seite 56 Mode d’emploi Préparation pour l’installation Figure 1 X3502-64170, X3502-64171, X3502-64172, X3502-64173 56/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 57: Installation
Mode d’emploi Installation Installation AVERTISSEMENT! La pompe fonctionne à une haute vitesse de rotation. L’utilisateur doit installer la pompe avant de l’utiliser. Le fonctionnement de la pompe sans que celle-ci soit raccordée au système comporte des risques de contact avec les parties mobiles qui peuvent causer de graves blessures.
Seite 58 Mode d’emploi Installation Figure 2 Figure 3 58/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 59 Mode d’emploi Installation Installer cet appareil dans un endroit clos et ne jamais installer et/ou utiliser la pompe dans un endroit exposé aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la poussière, à des gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou à fort risque d'incendie. Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions environnementales suivantes: pression maxi: 2 bar au-delà...
Seite 60: Fixation De La Pompe
Mode d’emploi Fixation de la pompe Fixation de la pompe AVERTISSEMENT! En cas de panne du rotor, tout manquement au respect de ces instructions comporte des risques de décrochage de la pompe du système pouvant entraîner des dommages, des blessures graves ou la mort. Le TwisTorr 74 FS peut être installée dans n'importe quelle position.
Seite 61: Utilisation De La Twistorr 74 Fs
Mode d’emploi Utilisation de la TwisTorr 74 FS Utilisation de la TwisTorr 74 FS AVERTISSEMENT! Garantissez une utilization correcte de l’appareil. L'utilisateur doit utiliser l’appareil de manière conforme aux indications du présent mode d’emploi. Tout manquement aux indications figurant dans ce mode d’emploi risque de compromettre la sécurité...
Seite 62 Mode d’emploi Utilisation de la TwisTorr 74 FS N'utilisez jamais la pompe en présence de gaz ou de vapeurs corrosifs pouvant ATTENTION! endommager le matériau interne de la pompe. AVERTISSEMENT! Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz.
Seite 63: Entretien
Mode d’emploi Entretien Entretien La TwisTorr 74 FS ne demand aucun entretien. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...
Seite 64: Mise Au Rebut
Mode d’emploi Mise au rebut Mise au rebut Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes. Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE nommée "WEEE". Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la Communauté européenne) indique que le produit sur lequel il est appliqué...
Seite 65: Service
Mode d’emploi Service Service Si, vous, le client avez besoin d’un service d’échange ou de réparation avancé, veuillez contacter le distributeur local ou directement par courrier à: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Vous devez remplir le formulaire de “Request for Return” pour retourner votre pompe à Agilent pour l’entretien (fourni à la fin du présent manuel).
Seite 66: Manual De Istrucciones
TwisTorr 74 FS User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general Símbolos de Seguridad Almacenamiento Preparación para la instalación Instalación Fijación de la bomba Uso de la TwisTorr 74 FS Mantenimiento Eliminación Servicio Traducción de las instrucciones originales 66/352...
Seite 67: Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares
Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores.
Seite 68: Información General
Manual de istrucciones Información general Información general Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el aparato. Agilent se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas.
Seite 69 Manual de istrucciones Información general Este manual utiliza las convenciones siguientes: ¡ADVERTENCIA! Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una operación específica que, al no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no ¡ATENCIÓN! cumplirse, podrían provocar daños al aparato.
Seite 70: Símbolos De Seguridad
Manual de istrucciones Información general Símbolos de Seguridad SÍMBOLO DESCRIPCIÓN DE LOS SÍMBOLOS Cuando el equipo está señalizado con este símbolo, significa que el operador debe remitirse al manual de instrucciones para protegerse de los riesgos de daño y para proteger al equipo de eventuales Daños. Cuando el equipo está...
Seite 71: Almacenamiento
Manual de istrucciones Almacenamiento Almacenamiento Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Agilent, deberán aplicarse las siguientes instrucciones: durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las  bombas no deberán superarse las siguientes condiciones ambientales: temperatura: entre –40 °C y 70 °C;...
Seite 72: Preparación Para La Instalación
Manual de istrucciones Preparación para la instalación Preparación para la instalación La TwisTorr 74 FS se suministra en un embalaje especial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas.
Seite 73 Manual de istrucciones Preparación para la instalación Figura 1 X3502-64170, X3502-64171, X3502-64172, X3502-64173 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 73/352...
Seite 74: Instalación
Manual de istrucciones Instalación Instalación ¡ADVERTENCIA! La bomba funciona a alta velocidad de rotación. Puesto que la bomba no puede funcionar sin controlador, se solicita instalar la bomba antes de accionarla. Puesto que la bomba no puede funcionar sin controlador, se solicita instalar la bomba antes de accionarla.
Seite 75 Manual de istrucciones Instalación Figura 2 Figura 3 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 75/352...
Seite 76 Manual de istrucciones Instalación Instalar esta bomba sólo en ambientes cerrados y, en ningún caso, utilizarla en lugares expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases agresivos, en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio. Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las condiciones ambientales siguientes: presión máxima: 2 bares por encima de la presión atmosférica: ...
Seite 77: Fijación De La Bomba
Manual de istrucciones Fijación de la bomba Fijación de la bomba ¡ADVERTENCIA! La falta de cumplimiento de estas instrucciones de instalación, en caso de que se produzca una avería en el rotor, puede implicar la separación de la bomba del sistema, causando daños, heridas graves o la muerte. La TwisTorr 74 FS puede instalarse en cualquier posición.
Seite 78: Uso De La Twistorr 74 Fs
Manual de istrucciones Uso de la TwisTorr 74 FS Uso de la TwisTorr 74 FS ¡ADVERTENCIA! Asegurar el uso correcto del equipo. Se aconseja al operador de este instrumento que utilice el equipo de la forma especificada en este manual. El incumplimiento de las indicaciones citadas en este manual puede comprometer la protección suministrada por el equipo.
Seite 79 Manual de istrucciones Uso de la TwisTorr 74 FS Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la turbobomba ¡ATENCIÓN! durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían dañarse. Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta deberá...
Seite 80: Mantenimiento
Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento La TwisTorr 74 FS no requiere ningún mantenimiento.Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.
Seite 81: Eliminación
Manual de istrucciones Eliminación Eliminación Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el contrario, deberá...
Seite 82: Servicio
Manual de istrucciones Servicio Servicio Si un cliente necesita un servicio de intercambio avanzado o reparación, contacte con un distribuidor local o contacte por correo a: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Es obligatorio completar la “Request for Return” para devolver su bomba a Agilent para mantenimiento (proporcionada al final del presente manual).
Seite 83: Manual De Istruções
TwisTorr 74 FS User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Informações gerais Símbolos de segurança Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Fixação da bomba Utilização do TwisTorr 74 FS Manutenção Eliminação Serviço pós-venda Tradução das instruções originais 83/352...
Seite 84: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares
Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada, por exemplo, por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação poderia ser liberada.
Seite 85: Informações Gerais
Manual de Istruções Informações gerais Informações gerais Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Agilent antes de utilizar a aparelhagem. A Agilent não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas.
Seite 86 Manual de Istruções Informações gerais Este manual utiliza as seguintes convenções: ATENÇAO! As mensagens de atenção atraem a atenção do operador num procedimento ou uma prática específica que, se não executada de modo correto, poderiam provocar graves lesões pessoais. As mensagens de cuidado são visualizadas antes de proceder que, se não CUIDADO! observadas, poderiam causar danos à...
Seite 87: Símbolos De Segurança
Manual de Istruções Informações gerais Símbolos de segurança SÍMBOLO DESCRIÇÃO DOS SÍMBOLOS O aparelho é marcado com este símbolo quando o operador deve consultar o manual de instruções a fim de se proteger contra os riscos de danos e para proteger o aparelho contra eventuais danos.
Seite 88: Armazenagem
Manual de Istruções Armazenagem Armazenagem Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Agilent, devem ser observadas as seguintes prescrições: durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das  bombas as condições ambientais devem ser as seguintes: temperatura: de -40 °C a 70 °C ...
Seite 89: Preparação Para A Instalação
Manual de Istruções Preparação para a instalação Preparação para a instalação O TwisTorr 74 FS é fornecido numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local.
Seite 90 Manual de Istruções Preparação para a instalação Figura 1 X3502-64170, X3502-64171, X3502-64172, X3502-64173 90/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 91: Instalação
Manual de Istruções Instalação Instalação ATENÇAO! A bomba funciona a uma alta velocidade de rotação. Como a bomba não pode funcionar sem o controlador, solicita-se a instalação da bomba antes de accioná-la. O funcionamento da bomba sem que esteja conectada ao sistema permite que se toquem as partes em movimento, que podem provocar graves acidentes.
Seite 92 Manual de Istruções Instalação Figura 2 Figura 3 92/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 93 Manual de Istruções Instalação Instalar este aparelho somente em ambientes fechados, e nunca usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou com elevado risco de incêndio. Durante o funcionamento é...
Seite 94: Fixação Da Bomba
Manual de Istruções Fixação da bomba Fixação da bomba ATENÇAO! A não observância destas instruções de instalação, no caso de haver uma avaria do rotor, pode provocar a desconexão da bomba do sistema, causando danos, ferimentos graves ou morte. O TwisTorr 74 FS pode ser instalado em qualquer posição. Fixar o TwisTorr 74 FS em posição estável ligando o flange de entrada da turbobomba ao contraflange do sistema, com uma conexão capaz de resistir a um torque de 250 Nm ao redor do próprio eixo.
Seite 95: Utilização Do Twistorr 74 Fs
Manual de Istruções Utilização do TwisTorr 74 FS Utilização do TwisTorr 74 FS ATENÇAO! Certifique-se da correcta utilização do aparelho. Recomenda-se que o operador deste instrumento utilize o aparelho do modo especificado neste manual. A não obediência às indicações mostradas neste manual pode comprometer a protecção fornecida pelo aparelho.
Seite 96 Manual de Istruções Utilização do TwisTorr 74 FS Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da turbobomba quando CUIDADO! está a funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer danos. Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta específica deve ser inferior a 2 bar (acima da pressão atmosférica).
Seite 97: Manutenção
Manual de Istruções Manutenção Manutenção O TwisTorr 74 FS não necessita de qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até...
Seite 98: Eliminação
Manual de Istruções Eliminação Eliminação Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada.
Seite 99: Serviço Pós-Venda
Manual de Istruções Serviço pós-venda Serviço pós-venda Caso um cliente precise de um serviço avançado de substituição ou reparo, entre em contato com o distribuidor local ou envie um e-mail diretamente para: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com É preciso preencher o formulário "Request for Return” (solicitação de devolução) para devolver a bomba à...
Seite 100: Bedrijfshandleiding
TwisTorr 74 FS User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Algemene informatie Veiligheidssymbolen Opslag Uitpakken Installatie Bevestiging van de pomp Gebruik van de TwisTorr 74 FS Onderhoud Afvalverwerking Service Vertaling van de originele instructies 100/352...
Seite 101: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen
Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
Seite 102: Algemene Informatie
Bedrijfshandleiding Algemene informatie Algemene informatie Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Agilent acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of...
Seite 103 Bedrijfshandleiding Algemene informatie Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik: WAARSCHUWING! Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. Bij dit synbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgsd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken.
Seite 104: Veiligheidssymbolen
Bedrijfshandleiding Algemene informatie Veiligheidssymbolen SYMBOOL BESCHRIJVING VAN DE SYMBOLEN Het apparaat drag dit symbool alleen wanneer de bediener de handleiding moet raadplegen, teneinde zichzelf te behoeden voor letsels en het apparaat te beschermen tegen eventuele schade. Het apparaat drag dit symbool wanneer de bediener op afstand moet blijven tijdens de werking van het apparaat.
Seite 105: Opslag
Bedrijfshandleiding Opslag Opslag Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Agilent te garanderen, moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen: tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan  de volgende omgevingscondities worden voldaan: temperatuur: van -40 °C tot 70 °C ...
Seite 106: Uitpakken
Bedrijfshandleiding Uitpakken Uitpakken De TwisTorr 74 FS wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het trans¬port veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de TwisTorr 74 FS niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
Seite 107 Bedrijfshandleiding Uitpakken Figuur 1 X3502-64170, X3502-64171, X3502-64172, X3502- 64173 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 107/352...
Seite 108: Installatie
Bedrijfshandleiding Installatie Installatie WAARSCHUWING! De pomp draait aan hoge snelheid. Omdat de pomp niet zonder controller kan functioneren, wordt gevraagd de pomp te installeren vooraleer in te schakelen. Het in werking stellen van de pomp zonder dat die aangesloten is op het systeem, maakt het mogelijk de bewegende onderdelen aan te raken die anders ernstige letsels zouden kunnen veroorzaken.
Seite 109 Bedrijfshandleiding Installatie Figuur 2 Figuur 3 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 109/352...
Seite 110 Bedrijfshandleiding Installatie Installeer dit apparaat alleen in afgesloten ruimten. In geen geval mag de pomp niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar.
Seite 111 Bedrijfshandleiding Installatie TwisTorr 74 FS is conform de installatiecategorie II voorzien door de norm EN VOORZICHTIG! 61010-1. Sluit deze inrichting dus aan op een voedingslijn die aan deze categorie voldoet. Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die als optie verkrijgbaar zijn. TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 111/352...
Seite 112: Bevestiging Van De Pomp
Bedrijfshandleiding Bevestiging van de pomp Bevestiging van de pomp WAARSCHUWING! Indien deze instructies voor de installatie niet nageleefd worden en zich een defect van de rotor voordoet, kan de pomp loskomen van het systeem en schade, ernstige letsels of de dood veroorzaken. De TwisTorr 74 FS kan in alle standen worden geïnstalleerd.
Seite 113: Gebruik Van De Twistorr 74 Fs
Bedrijfshandleiding Gebruik van de TwisTorr 74 FS Gebruik van de TwisTorr 74 FS WAARSCHUWING! Waak over het correct gebruik van de apparatuur. De bediener van dit instrument gebruikt de apparatuur bij voorkeur zoals aangegeven in deze handleiding. Het niet naleven van de voorschriften in deze handleiding kan de bescherming die d apparatuur biedt in het gedrang brengen.
Seite 114 Bedrijfshandleiding Gebruik van de TwisTorr 74 FS Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de turbopomp VOORZICHTIG! wanneer deze in werking is. De lagers kunnen anders beschadigd raken. Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes.
Seite 115: Onderhoud
Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud De pompen TwisTorr 74 FS zijn onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. WAARSCHUWING! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de voeding loskoppelen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.
Seite 116: Afvalverwerking
Bedrijfshandleiding Afvalverwerking Afvalverwerking Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld.
Seite 117: Service
Bedrijfshandleiding Service Service Als een klant een geavanceerde omruil- of reparatieservice nodig heeft, neem dan contact op met de plaatselijke distributeur of stuur een e-mail naar: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Het formulier “Retourverzoek” moet worden ingevuld om uw pomp te retourneren aan Agilent voor service (is te vinden aan het einde van deze handleiding).
Seite 118: Istruktionsbog
TwisTorr 74 FS User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel information Sikkerheds Opbevaring Forberedelser før installation Installation Fastgøring af pumpen Anvendelse af TwisTorr 74 FS Vedligeholdelse Bortskaffelse Service Oversættelse af originalinstruktionerne 118/352...
Seite 119: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper
Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
Seite 120: Generel Information
Istruktionsbog Generel information Generel information Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Agilent, før udstyret anvendes. Agilent tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der strider imod gældende lokale regler.
Seite 121 Istruktionsbog Generel information I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker: ADVARSEL! Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære personskader. Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader.
Seite 122: Sikkerheds
Istruktionsbog Generel information Sikkerhedssymboler SYMBOL BESKRIVELSE AF SYMBOLERNE Apparatet er markeret med dette symbol, når brugeren skal konsultere brugsanvisningen for at beskytte sig mod risikoen for skader, og for at beskytte enheden fra mulige skader. Apparatet er markeret med dette symbol, når brugeren skal holde sig på sikker afstand under drift af apparatet.
Seite 123: Opbevaring
Istruktionsbog Opbevaring Opbevaring Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære pumper fra Agilent: Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i  forbindelse med transport, flytning og opbevaring af pumperne: temperatur: fra -40 °C til +70 °C ...
Seite 124: Forberedelser Før Installation
Istruktionsbog Forberedelser før installation Forberedelser før installation TwisTorr 74 FS leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at TwisTorr 74 FS ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen.
Seite 125 Istruktionsbog Forberedelser før installation Figur 1 X3502-64170, X3502-64171, X3502-64172, X3502-64173 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 125/352...
Seite 126: Installation
Istruktionsbog Installation Installation ADVARSEL! Pumpen kører med høj rotationshastighed. Da pumpen ikke kan fungere uden en styreenhed, skal du installere pumpen, inden du tager den i drift. Drift af pumpen, uden at den er forbundet til systemet, gør det muligt at røre de bevægelige dele, hvilket kan forårsage alvorlig personskade.
Seite 127 Istruktionsbog Installation Figur 2 Figur 3 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 127/352...
Seite 128 Istruktionsbog Installation Installér kun pumpen lukkede miljøer og anvend den ikke under nogen omstændigheder i miljøer, der udsættes for påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø. Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift: max.
Seite 129: Fastgøring Af Pumpen
Istruktionsbog Fastgøring af pumpen Fastgøring af pumpen ADVARSEL! Manglende ovreholdelse af denne monteringsvejledning kan, i tilfælde af at rotoren går i stykker, medføre, at pumpen løsrives fra systemet og foråsager skader, alvorlige kvæstelser eller dødsfald. TwisTorr 74 FS kan installeres i en hvilken som helst position. Fastgør TwisTorr 74 FS i en stabil position ved at montere turbopumpens indløbsflange på...
Seite 130: Anvendelse Af Twistorr 74 Fs
Istruktionsbog Anvendelse af TwisTorr 74 FS Anvendelse af TwisTorr 74 FS ADVARSEL! Sørg for korrekt brug af enheden. Brugeren af dette instrument tilrådes at bruge udstyret som angivet i denne vejledning. Manglende overholdelse af anvisningerne i denne manual, kan forringe den beskyttelse, udstyret giver.
Seite 131 Istruktionsbog Anvendelse af TwisTorr 74 FS Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i forbindelse med brug FORSIGTIG! af turbopumpen. Der er risiko for beskadigelse af lejerne. Pumpen skal forsynes med luft eller ædelgasser, der ikke indeholder støv eller faste partikler. Indgangstrykket ved den specielle dør skal være mindre end 2 bar (over atmosfærisk tryk).
Seite 132: Vedligeholdelse
Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse Pumpen TwisTorr 74 FS kræver ikke nogen form for vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...
Seite 133: Bortskaffelse
Istruktionsbog Bortskaffelse Bortskaffelse Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det såkaldte EU-direktiv "WEEE". Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet, som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres på...
Seite 134: Service
Istruktionsbog Service Service Hvis en kunde har brug for en avanceret bytte- eller reparationsservice, bedes de kontakte den lokale distributør eller sende en mail direkte til: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Udfyldning af formularen "Anmodning om returnering" er påkrævet for at returnere din pumpe til Agilent til service (kan findes i slutningen af denne vejledning).
Seite 135: Bruksanvisning
TwisTorr 74 FS User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar Allmän information Säkerhetssymboler Förvaring Förberedelser för installation Installation Fastsättning av pumpen Användning av TwisTorr 74 FS Underhåll Bortskaffning Service Översättning av originalinstruktionerna 135/352...
Seite 136: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar
Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
Seite 137: Allmän Information
Bruksanvisning Allmän information Allmän information Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Agilent före användning av utrustningen. Agilent tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Seite 138 Bruksanvisning Allmän information I bruksanvisningen används följande standardrubriker: VARNING! Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador. Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! att inte risk för maskinskada skall uppstå.
Seite 139: Säkerhetssymboler
Bruksanvisning Allmän information Säkerhetssymboler SYMBOL BESKRIVNING AV SYMBOLERNA Apparaten har markerats med den här symbolen när operatören hänvisas till instruktionsboken för att skydda sig mot risk för kroppsskada och för att skydda apparaten mot eventuella skador. Apparaten har markerats med den här symbolen när operatören ska hålla sig på...
Seite 140: Förvaring
Bruksanvisning Förvaring Förvaring Respektera följande anvisningar för att garantera optimal prestanda och driftsäkerhet för Agilent turbomolekylära pumpar: Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande  omgivningsförhållanden respekteras: Temperaturområde: -40 °C till +70 °C.  Relativ fuktighet: 0 till 90 % (utan kondens). ...
Seite 141: Förberedelser För Installation
Bruksanvisning Förberedelser för installation Förberedelser för installation Pumpen TwisTorr 74 FS levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att TwisTorr 74 FS inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen.
Seite 142 Bruksanvisning Förberedelser för installation Figur 1 X3502-64170, X3502-64171, X3502-64172, X3502-64173 142/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 143: Installation
Bruksanvisning Installation Installation VARNING! Pumpen fungerar på hög rotationshastighet. Eftersom pumpen inte fungerar utan en styrenhet ska pumpen installeras innan den sätts igång. Om pumpen sätts i funktion utan att den ansluts till systemet kan leda till att rörliga delar vidrörs vilket kan orsaka allvarliga olyckor. VARNING! Styrenhetens elkabeln kopplar även ur elförsörjningen till styrenheten ooch pumpen vid nödläge.
Seite 144 Bruksanvisning Installation Figur 2 Figur 3 144/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 145 Bruksanvisning Installation Installeraden här apparaten endast i stängda miljöer och använd den hur som helst inte i miljöer som utsätts för påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö. Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift: maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck);...
Seite 146: Fastsättning Av Pumpen
Bruksanvisning Fastsättning av pumpen Fastsättning av pumpen VARNING! Om de här installationsinstruktionerna inte iakttas kan det leda till att pumpen kommer loss från systemet om det uppstår en skada på rotorn vilket orsakar allvarliga materialskador, kroppsskador eller döden. TwisTorr 74 FS kan installeras i valfri position. Fäst TwisTorr 74 FS i ett stabilt läge genom att montera pumpens intagsfläns till systemets- kontrafläns med en anslutning som måste tåla ett vridmoment på...
Seite 147: Användning Av Twistorr 74 Fs
Bruksanvisning Användning av TwisTorr 74 FS Användning av TwisTorr 74 FS VARNING! Se till att apparaten används på rätt sätt. Det rekommenderas att operatören använder apparaten på det sätt som anges i handboken. Om anvisningarna i den här handboken inte iakttas kan det ställa apparatens skydd på...
Seite 148 Bruksanvisning Användning av TwisTorr 74 FS Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga förflyttningar av OBSERVER! turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli skadade. Pumpen ska förses med luft eller med ädelgaser som ärfria från damn eller andra partiklar. Ingångstrycket mot rätt dörr måsteunderstiga 2 bar (utöver det atmosfäriska trycket).
Seite 149: Underhåll
Bruksanvisning Underhåll Underhåll TwisTorr 74 FS kräver inget som helst underhåll. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC Om pumpen havererar, kontakta Agilent reparationsverkstad eller Agilent utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett renoverat system.
Seite 150: Bortskaffning
Bruksanvisning Bortskaffning Bortskaffning Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD-direktivet som har betecknats som "WEEE". Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med vanliga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett differentierat uppsamlingssystem måste upprättas.
Seite 151: Service
Bruksanvisning Service Service Om en kund behöver avancerad utbytes- eller reparationstjänst, vänligen kontakta lokal distributör eller skicka ett mail till: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Ifyllande av formuläret "Begäran om retur" krävs för att returnera din pump till Agilent för service (tillhandahålls i slutet av denna manual).
Seite 152: Instruksjon Manual
TwisTorr 74 FS User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon Sikkerhetssymboler Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Festing av pumpen Bruk av TwisTorr 74 FS Vedlikehold Eliminering Service Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 152/352...
Seite 153: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylære Pumper
Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper De turbomolekylære pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...
Seite 154: Generell Informasjon
Instruksjon Manual Generell informasjon Generell informasjon Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Agilent før utstyret tas i bruk. Agilent kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på...
Seite 155 Instruksjon Manual Generell informasjon Denne manualen bruker følgende standardprotokoll: ADVARSEL! Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader. Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan FORSIKTIG! føre til at utstyret skades.
Seite 156: Sikkerhetssymboler
Instruksjon Manual Generell informasjon Sikkerhetssymboler SYMBOL BESKRIVELSE AV SYMBOLENE Apparatet er merket med dette symbolet når operatøren må konsultere brukerhåndboken for å beskytte seg mot fare for skader og for å beskytte apparatet mot eventuelle skader. Apparatet er merket med dette symbolet når operatøren må holde avstand mens apparatet er i drift.
Seite 157: Lagring
Instruksjon Manual Lagring Lagring For å garantere optimal drift og pålitelighet for Agilent turbomolekylære pumper må følgende anvisninger følges: Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke følgende  miljøforhold overstiges: Temperatur: fra -40 °C til 70 °C.  Relativ fuktighet: fra 0 til 90 % (uten kondensering).
Seite 158: Klargjøre Til Installasjon
Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Klargjøre til installasjon TwisTorr 74 FS leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når TwisTorr 74 FS pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt.
Seite 159 Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Figur 1 X3502-64170, X3502-64171, X3502-64172, X3502-64173 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 159/352...
Seite 160: Installasjon
Instruksjon Manual Installasjon Installasjon ADVARSEL! Pumpen har høy rotasjonshastighet under drift. Ettersom pumpen ikke kan fungere uten kontroller, må du installere pumpen før den aktiveres. Drift av pumpen uten at den er koblet til systemet, gjør det mulig å berøre de bevegelige delene.
Seite 161 Instruksjon Manual Installasjon Figur 2 Figur 3 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 161/352...
Seite 162 Instruksjon Manual Installasjon Dette apparatet skal bare installeres i lukkede miljøer, og skal ikke installeres eller brukes systemet i miljøer som utsettes for regn, snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer eller miljøer med stor brannfare. Under bruk må følgende forhold respekteres: maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk);...
Seite 163: Festing Av Pumpen
Instruksjon Manual Festing av pumpen Festing av pumpen ADVARSEL! Manglende overholdelse av disse installasjonsinstruksene kan føre til at pumpen løsner fra systemet hvis rotoren ødelegges. Dette kan føre til materielle skader, alvorlige personskader eller død. TwisTorr 74 FS kan monteres i en valgfri stilling. Fest TwisTorr 74 FS i en stabil stilling ved å...
Seite 164: Bruk Av Twistorr 74 Fs
Instruksjon Manual Bruk av TwisTorr 74 FS Bruk av TwisTorr 74 FS ADVARSEL! Sørg for at apparatet brukes på riktig måte. Operatøren av dette instrumentet skal bruke apparatet slik det er spesifisert i denne håndboken. Manglende overholdelse av indikasjonene i denne håndboken kan føre til at beskyttelsen av apparatet ikke fungerer.
Seite 165 Instruksjon Manual Bruk av TwisTorr 74 FS Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av turbinpumpen når den er i FORSIKTIG! funksjon. Lagrene kan skades. Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved forsyning av pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2 bar (over atmosfærisk trykk).
Seite 166: Vedlikehold
Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold TwisTorr 74 FS er vedlikeholdsfri.Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples strømtilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.
Seite 167: Eliminering
Instruksjon Manual Eliminering Eliminering Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC-direktiv kalt "WEEE". Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap), viser at produktet som det sitter på, IKKE må behandles som vanlig hus-industriavfall, men må...
Seite 168: Service
Instruksjon Manual Service Service Dersom en kunde skulle trenge en avansert byte- eller reparasjonsservice, kontakt den lokale distributøren eller send en epost direkte til: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Du må fylle ut “Request for Return” skjemaet for å returnere pumpen til Agilent for service (finnes på slutten av denne manualen). 168/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 169: Ohjekäsikirja
TwisTorr 74 FS User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Yleisiä tietoja Turvamerkit Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Pumpun kiinnitys TwisTorr 74 FS käyttö Huolto Hävittäminen Huolto Alkuperäisen ohjeiden käännös 169/352...
Seite 170: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 170/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 171: Yleisiä Tietoja
Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Yleisiä tietoja Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Agilentin toimittamat lisätiedot. Agilent ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä...
Seite 172 Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä: VAROITUS! Varoitus-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö-tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. Huomio- merkinnät varoittavat toimenpiteistä, joiden laiminlyönti voi johtaa HUOMIO! laitteen vaurioitumiseen. Huomiot sisältävät tärkeää tekstistä otettua tietoa. HUOM 172/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 173: Turvamerkit
Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Turvamerkit MERKKI MERKKIEN KUVAUS Laitteessa on tämä merkki kun käyttäjän on viitattava ohjekirjaan suojautuakseen vahingoilta ja suojatakseen laitetta mahdollisilta vahingoilta. Laitteessa on tämä merkki kun käyttäjän on pysyttävä siitä loitolla sen toiminnan aikana. Laitteesa on tämä merkki kun käyttäjän on maadoitettava laite. TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 173/352...
Seite 174: Varastointi
Ohjekäsikirja Varastointi Varastointi Noudata seuraavia ohjeita, jotta Agilent turbomolekyylinen pumppu toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti: Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan, seuraavia  ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää: lämpötila: -40 °C - 70 °C.  suhteellinen kosteus: 0 – 90 % (ei tiivistävä). ...
Seite 175: Valmistelut Asennusta Varten
Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Valmistelut asennusta varten TwisTorr 74 FS pumppu toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TwisTorr 74 FS in putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä. Pakkausta ei tule jättää...
Seite 176 Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Kuva 1 X3502-64170, X3502-64171, X3502-64172, X3502-64173 176/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 177: Asennus
Ohjekäsikirja Asennus Asennus VAROITUS! Pumppu toimii korkealla kiertonopeudella. Koska pumppu ei voi toimia ilman valvontayksikköä, asenna pumppu ennen sen käynnistämistä. Pumpun toiminta ilman sen kytkemistä järjestelmään tekee liikkuviin osiin koskemisen mahdolliseksi, jonka seurauksena voi syntyä vakavia onnettomuuksia. VAROITUS! Valvontayksikön virtajohtoa käytetään myös valvontayksikön ja pumpun sähkövirran kytkemiseksi irti hätätilan syntyessä.
Seite 178 Ohjekäsikirja Asennus Kuva 2 Kuva 3 178/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 179 Ohjekäsikirja Asennus Laite tulee asentaa vain suljettuihin tiloihin. Sitä ei saa missään tapauksessa käyttää ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen), pölyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai tulipalovaara. Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä koskevia ehtoja: maksimipaine: 2 baaria yli atmosfäärisen paineen;...
Seite 180: Pumpun Kiinnitys
Ohjekäsikirja Pumpun kiinnitys Pumpun kiinnitys VAROITUS! Asennusohjeiden noudattamatta jättäminen, mikäli roottorissa syntyy vika, voi aiheuttaa pumpun irtoamisen järjestelmästä ja näin ollen vahinkoja, vakavia vammoja tai kuoleman. TwisTorr 74 FS voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. Kiinnittäkää TwisTorr 74 FS vakaaseen asentoon asentamalla turbopumpun sisääntulolaippa järjestelmän vastalaippaan liitännällä, joka kestää...
Seite 181: Twistorr 74 Fs Käyttö
Ohjekäsikirja TwisTorr 74 FS käyttö TwisTorr 74 FS käyttö VAROITUS! Varmista laitteiston oikea käyttö. Tätä välinettä käyttävän käyttäjän on käytettävä laitteistoa tässä ohjekirjassa osoitetullatavalla. Tässä ohjekirjassa annettujen ohjeiden noudattamatta jättäminen voi vaarantaa laitteiston antaman suojan. Kaikki turbopumpun oikeaan toimintaan liittyvät ohjeet löydät valvontayksikön käyttöoppaasta.
Seite 182 Ohjekäsikirja TwisTorr 74 FS käyttö Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan aikana, sillä HUOMIO! laakerit voivat vahingoittua. Käytä pumpun ilmansyöttöön ilmaa tai jalokaasua, joissa ei ole pölyä tai hiukkasia. Erityisen aukon läpi syötettävän paineen tulee olla alle 2 baaria (yli atmosfäärisen paineen). Pumput on varustettu hiukkasia tai saasteita sisältävien aggressiivisten kaasujen pumppausta varten aukolla (integroitu purge/vent), jonka läpi pumppuun kuljetetaan jalokaasuja (typpi, helium tai argon) laakereiden suojaamiseksi (katso “Technical Information”...
Seite 183: Huolto
Ohjekäsikirja Huolto Huolto TwisTorr 74 FS pumput eivät vaadi mitään huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC :en.
Seite 184: Hävittäminen
Ohjekäsikirja Hävittäminen Hävittäminen Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys. Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE-direktiivin mukaisesti. Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä...
Seite 185: Huolto
Ohjekäsikirja Huolto Huolto Jos asiakas tarvitsee korvaavia osia tai korjauspalvelua, ota yhteyttä paikalliseen jakelijaan tai suoraan sähköpostitse: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com “Palautuspyyntö”-kaavakkeen täyttäminen vaaditaan pumpun Agilentille huoltoon lähettämistä varten (kaavake löytyy tämän käyttöohjeen lopusta). TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 185/352...
Seite 186: Felhasználói Kézikönyv
TwisTorr 74 FS User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános informáicó Biztonsági jelzések Tárolás Előkészítés telepítésre Telepítés A szivattyú rögzítése A TwisTorr 74 FS használata Karbantartás Megsemmisítés Szolgáltatások Az eredeti utasítás fordítása 186/352...
Seite 187: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz
Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A jelen gépkönyvben leírt turbómolekuláris szivattyúk nagy mozgási energiával rendelkeznek nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor és az állórész érintkezése vagy a forgórész széttörése –...
Seite 188: Általános Informáicó
Felhasználói Kézikönyv Általános informáicó Általános informáicó A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Agilent által biztosított bármely információt. A Agilent nem vonható felelősségre olyan eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való...
Seite 189 Felhasználói Kézikönyv Általános informáicó Ez a kézikönyv a következő szabványos protokollt használja: VESZÉLY! A veszélyt üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet. A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! tartanak be, az a berendezés károsodását okozhatja.
Seite 190: Biztonsági Jelzések
Felhasználói Kézikönyv Általános informáicó Biztonsági jelzések JELZÉS JELZÉSEK LEÍRÁSA A berendezésen akkor jelenik meg ez a jelzés, ha a kezelőnek a használati útmutatást kell figyelembe vennie, hogy a önmagát és a berendezést a kártól megóvja. A berendezésen akkor jelenik meg ez a jelzés, ha a kezelőnek a berendezés működése alatt attól távol kell tartózkodnia.
Seite 191: Tárolás
Felhasználói Kézikönyv Tárolás Tárolás A Agilent turbomolekuláris szivattyúk maximális teljesítményszintjének garantálására a következő útmutatásokat kell követni: szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a következő  környezeti paramétereket nem szabad túllépni: hőmérséklettartomány: -40 °C - 70 °C  relatív páratartalom: 0 – 90 % (nem kondenzáló) ...
Seite 192: Előkészítés Telepítésre
Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Előkészítés telepítésre A TwisTorr 74 FSt különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához. TwisTorr 74 FS A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le, és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását. Ne ártalmatlanítsa a csomagoló...
Seite 193 Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Ábra 1 X3502-64170, X3502-64171, X3502-64172, X3502-64173 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 193/352...
Seite 194: Telepítés
Felhasználói Kézikönyv Telepítés Telepítés VESZÉLY! A szivattyú nagy forgási sebességgel működik. Mivel a szivattyú controller nélkül nem működhet, kérjük, hogy működtetés előtt installálja a szivattyút. A szivattyúnak a rendszerhez való csatlakoztatás nélkül való működése lehetővé teszi, hogy a mozgó részekhez hozzáférjenek és ez súlyos baleseteket okozhat.
Seite 195 Felhasználói Kézikönyv Telepítés Ábra 2 Ábra 3 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 195/352...
Seite 196 Felhasználói Kézikönyv Telepítés Ezt a berendezést csak zárt térbe telepítse, és semmiképpen se használja a szivattyút atmoszférikus közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég), porban, agresszív gázokban, illetve robbanó vagy tűzveszélyes környezetben. Üzemeltetés közben a következő környezeti feltételeket kell biztosítani: maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás felett; ...
Seite 197: A Szivattyú Rögzítése
Felhasználói Kézikönyv A szivattyú rögzítése A szivattyú rögzítése VESZÉLY! Ezeknek a telepítési utasításoknak figyelmen kívül hagyása, amennyiben a rotor meghibásodik, a szivattyúnak a rendszerről való leválását eredményezheti úgy, hogy a dolgokban kárt, súlyos sérülést vagy halált okozhat. A TwisTorr 74 FS bármely helyzetben telepíthető. Rögzítse a TwisTorr 74 FSt stabil helyzetben, a turbószivattyú...
Seite 198: A Twistorr 74 Fs Használata
Felhasználói Kézikönyv A TwisTorr 74 FS használata A TwisTorr 74 FS használata VESZÉLY! Győződjön meg a berendezés helyes használatáról. Az eszköz kezelője számára ajánlott, hogy a berendezést ebben a használati útmutatóban írtak szerint használja. Az útmutatóban szereplő utasítások be nem tartása a berendezés által nyújtott védelmet veszélyeztetheti.
Seite 199 Felhasználói Kézikönyv A TwisTorr 74 FS használata Kerülje a szivattyú ütését, rázását vagy durva mozgatását üzem közben. A FIGYELEM! csapágyak megsérülhetnek. Használjon portól és szilárd részektől mentes levegőt vagy közömbös gázt a szivattyú szellőztetéséhez. A szellőző porton lévő nyomásnak 2 barnál kisebbnek kell lennie (a légköri nyomás fölött). A partikulátumot vagy agresszív szennyeződést tartalmazó...
Seite 200: Karbantartás
Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A TwisTorr 74 FS típusú szivattyúk nem igényelnek karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...
Seite 201: Megsemmisítés
Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés Megsemmisítés A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. A lent látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű irányelvével összhangban kerül alkalmazásra. Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen megtalálható, NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari hulladékkal együtt megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív hulladékgyűjtő...
Seite 202: Szolgáltatások
Felhasználói Kézikönyv Szolgáltatások Szolgáltatások Amennyiben az ügyfél előrehozott csere- vagy javítási szolgáltatást szeretne igénybe venni, kérjük, vegye fel a kapcsolatot a helyi forgalmazóval, vagy küldjön e-mailt közvetlenül a következő címre: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Amennyiben a szivattyút javításra szeretné visszaküldeni az Agilenthez, kérjük, hogy töltse ki a "Visszaküldési kérelem" nyomtatványt (a kézikönyv végén található).
Seite 203: Podrecznik Instrukcji
TwisTorr 74 FS User Manual Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne Informacje Symbole związane z bezpieczeństwem Magazynowanie Przygotowanie do instalacji Instalacja Mocowanie pompy Użytkowanie pompy TwisTorr 74 FS Konserwacja Przetworstwo odpadow Serwis Tłumaczenie instrukcji oryginalnej 203/352...
Seite 204: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych
Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką ilość energii kinetycznej spowodowanej bardzo wysoką prędkością obrotową razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...
Seite 205: Ogólne Informacje
Podrecznik Instrukcji Ogólne Informacje Ogólne Informacje Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Agilent przed użytkowaniem aparatury. Firma Agilent uchyla się od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich...
Seite 206 Podrecznik Instrukcji Ogólne Informacje W tej instrukcji zastosowano następujące umowne znaczenia: ZAGROZENIE! Komunikaty zagrozeniu przyciągają uwagę operatora co do danej procedury lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować poważne uszkodzenia ciała. Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku UWAGA! ich braku przestrzegania, może dojść...
Seite 207: Symbole Związane Z Bezpieczeństwem
Podrecznik Instrukcji Ogólne Informacje Symbole związane z bezpieczeństwem SYMBOL OPIS SYMBOLU Na urządzeniu zostaje umieszczony ten symbol, kiedy operator musi zajrzeć do instrukcji obsługi, aby zabezpieczyć się przed zagrożeniem obrażenia i zabezpieczyć urządzenie przed ewentualnymi uszkodzeniami. Na urządzeniu zostaje umieszczony ten symbol, kiedy operator musi znajdować...
Seite 208: Magazynowanie
Podrecznik Instrukcji Magazynowanie Magazynowanie W celu zagwarantowania najwyższego poziomu funkcjonalności i niezawodności pomp Turbomolekularnych Agilent należy przestrzegać następujących zaleceń: podczas transportu, przestawiania i magazynowania pomp, nie  należy przekraczać następujących warunków środowiskowych: temperatura: od -40 °C do 70 °C  względna wilgoć·od 0 do 90 % ( bez opar) ...
Seite 209: Przygotowanie Do Instalacji
Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji Przygotowanie do instalacji Ponpa TwisTorr 74 FS jest dostarczana w specjanym ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń, do których mogłoby dojść podczas transportu, należy skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży. Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną uwagę, aby nie upuścić...
Seite 210 Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji Postać 1 X3502-64170, X3502-64171, X3502-64172, X3502-64173 210/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 211: Instalacja
Podrecznik Instrukcji Instalacja Instalacja ZAGROZENIE! Pompa procuje z dużą prędkością obrotową. Ponieważ pompa nie może działać bez sterownika, przed jej uruchomieniem należy ją odpowiednio zainstalować. Działanie pompy niepodłączonej do systemu umożliwia dotknięcie części będących w ruchu, co może być przyczyną poważnych nieszczęśliwych wypadków.
Seite 212 Podrecznik Instrukcji Instalacja Postać 2 Postać 3 212/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 213 Podrecznik Instrukcji Instalacja To urządznie należy instalować wyłącznie w pomieszczeniach zamkniętych i w żadnym przypadku nie wykorzystywać pompy w pomieszczeniach narażonych na oddziaływanie czynników atmosferycznych (deszcz, mróz, śnieg), pyły, gazy chemiczne, w pomieszczeniach z atmosferą wybuchową lub z wysokim zagrożeniem pożaru.
Seite 214: Mocowanie Pompy
Podrecznik Instrukcji Mocowanie pompy Mocowanie pompy ZAGROZENIE! Nieprzestrzeganie tych instrukcji dotyczących instalacji może, w przypadku powstania usterki wirnika, spowodować odłączenie się pompy od systemu, a w konsekwencji doprowadzić do uszkodzeń sprzętu, obrażeń cielesnych osób a nawet śmierci. Pompa TwisTorr 74 FS może być zainstalowana w jakiejkolwiek pozycji.
Seite 215: Użytkowanie Pompy Twistorr 74 Fs
Podrecznik Instrukcji Użytkowanie pompy TwisTorr 74 FS Użytkowanie pompy TwisTorr 74 FS ZAGROZENIE! Należy zapewnić poprawne użytkowanie urządzenia. Zaleca się, aby operator tego urządzenia pracował ze sprzętem w sposób określony w niniejszej instrukcji. Nieprzestrzeganie zaleceń podanych w niniejszej instrukcji może wpłynąć negatywnie na zabezpieczenie zapewniane przez urządzenie.
Seite 216 Podrecznik Instrukcji Użytkowanie pompy TwisTorr 74 FS Unikać uderzeń, wahań lub gwałtownych przesunięć turbopompy podczas jej UWAGA! działania. Mogą uszkodzić się łożyska. Dla wlotu do powietrza pompy zastosować powietrze lub obojętny gaz bez pyłu lub innych cząstek. Ciśnienie wejściowe poprzez odpowiedni wlot musi być niższe od 2 bar (ponad ciśnienie atmosferyczne).
Seite 217: Konserwacja
Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja Pompa TwisTorr 74 FS nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROZENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać...
Seite 218: Przetworstwo Odpadow
Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow Przetworstwo odpadow Objaśnienie znajdującego sie na etykiecie znaczenia logo “WEEE”. Użyty poniżej symbol jest zgodny z wymogiem dyrektywy Unii Europejskiej nazywanej WEEE. Symbol ten (obowiązujący tylko w krajach Unii Europejskiej) oznacza, że wyrób, który nim został oznaczony NIE może być...
Seite 219: Serwis
Podrecznik Instrukcji Serwis Serwis W przypadku gdy klient potrzebuje zaawansowanej usługi wymiany lub naprawy, prosimy o kontakt z lokalnym dystrybutorem lub bezpośrednio na adres e-mail: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Aby zwrócić pompę do firmy Agilent w celu naprawy, należy wypełnić formularz „Request for Return” (Wniosek o zwrot) (znajduje się...
Seite 220: Návod K Použití
TwisTorr 74 FS User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Všeobecné informace Bezpečnostní symboly Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Upevnění vývěvy Použití vývěvy TwisTorr 74 FS Údržba Likvidace Servis Překlad originálního návodu 220/352...
Seite 221: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy
Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefunkčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení...
Seite 222: Všeobecné Informace
Návod k Použití Všeobecné informace Všeobecné informace Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace dodané firmou Agilent. Firma Agilent neodpovídá za jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými osobami, neoprávněným zásahem do zařízení...
Seite 223 Návod k Použití Všeobecné informace Tento manuál používá následující standardní protokol: NEBEZPEČÍ! Varovná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Výstražná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení POZOR! mohly poškodit zařízení.
Seite 224: Bezpečnostní Symboly
Návod k Použití Všeobecné informace Bezpečnostní symboly POPIS SYMBOLŮ SYMBOL Zařízení je označeno tímto symbolem, když musí obsluha vycházet z návodu, aby byla chráněna před riziky ublížení na zdraví a poškození zařízení. Zařízení je označeno tímto symbolem, když se obsluha musí během činnosti zařízení...
Seite 225: Uskladnění
Návod k Použití Uskladnění Uskladnění Aby byla zajištěna maximální provozuschopnost a spolehlivost turbomolekulárních vývěv firmy Agilent, musíte dodržovat následující pokyny: Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste neměli  překračovat následující technické podmínky prostředí: Teplotní rozpětí: -40 °C až 70 °C ...
Seite 226: Příprava K Instalaci
Návod k Použití Příprava k instalaci Příprava k instalaci Vývěva TwisTorr 74 FS se dodává ve speciálním ochranném obalu. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku. Při vybalování dávejte pozor, aby vývěva TwisTorr 74 FS nespadla a chraňte ji před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi.
Seite 227 Návod k Použití Příprava k instalaci Obrázek 1 X3502-64170, X3502-64171, X3502-64172, X3502-64173 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 227/352...
Seite 228: Instalace
Návod k Použití Instalace Instalace NEBEZPEČÍ! Vývěva se během své činnosti otáčí vysokou rychlostí. Vzhledem k tomu, že vývěva nemůže pracovat bez řídící jednotky, prosíme vás o provedení instalace vývěvy před jejím uvedením do chodu. Činnost vývěvy bez připojení k systému umožňuje dotknout se pohybujících se součástí, které mohou způsobit vážné...
Seite 229 Návod k Použití Instalace Obrázek 2 Obrázek 3 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 229/352...
Seite 230 Návod k Použití Instalace Toto zařízení instalujte výhradně do uzavřeného prostředí a nepoužívejte je v prostředí, které je vystaveno atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním plynům, ve výbušném prostředí nebo v prostředí s vysokým nebezpečím požáru. Za provozu je třeba dodržovat následující podmínky dané prostředím: maximální...
Seite 231: Upevnění Vývěvy
Návod k Použití Upevnění vývěvy Upevnění vývěvy NEBEZPEČÍ! Nedodržení těchto pokynů pro instalaci může v případě výskytu poruchy rotoru způsobit oddělení čerpadla od systému, s následným vážným zraněním nebo dokonce smrtí. Vývěvu TwisTorr 74 FS lze instalovat do libovolné polohy. Upevněte vývěvu TwisTorr 74 FS ve stabilní...
Seite 232: Použití Vývěvy Twistorr 74 Fs
Návod k Použití Použití vývěvy TwisTorr 74 FS Použití vývěvy TwisTorr 74 FS NEBEZPEČÍ! Ujistěte se o správném použití zařízení. Doporučujeme obsluze tohoto přístroje používat zařízení způsobem uvedeným v tomto návodu. Nedodržení pokynů uvedených v tomto návodu může ohrozit ochranu poskytovanou zařízením.
Seite 233 Návod k Použití Použití vývěvy TwisTorr 74 FS Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a prudkými pohyby. Mohly POZOR! by se poškodit ložiska. Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn, který je zbaven prachu a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru musí být menší než 2 bary (nad atmosférickým tlakem).
Seite 234: Údržba
Návod k Použití Údržba Údržba Vývěva TwisTorr 74 FS nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...
Seite 235: Likvidace
Návod k Použití Likvidace Likvidace Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je takto označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho předat do patřičných provozních sběren, kde musí...
Seite 236: Servis
Návod k Použití Servis Servis Pokud zákazník potřebuje rozšířenou výměnu nebo opravu, obraťte se na místního distributora nebo přímo na adresu: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Pro vrácení čerpadla do servisu společnosti Agilent je nutné vyplnit formulář “Žádost o vrácení” (je uveden na konci této příručky). 236/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 237: Návod Na Obsluhu
TwisTorr 74 FS User Manual Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie Bezpečnostné symboly Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Upevnenie vývevy Použitie vývevy TwisTorr 74 FS Údržba Likvidácia Služba Preklad originálneho návodu 237/352...
Seite 238: Bezpečnostné Návod Pre Turbomolekulárne Vývevy
Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, opísané v nasledujúcej príručke, sa vyznačujú vysokou kinetickou energiou, a to vďaka vysokej rýchlosti otáčania v kombinácii so špecifickou hmotnosťou svojich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontakte rotora a statora alebo pri zlomení...
Seite 239: Všeobecné Informácie
Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Všeobecné informácie Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Agilent. Spoločnosť Agilent nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi, zapríčinené...
Seite 240 Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia: NEBEZPEČÍ! Nebezpečie majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Pozor označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia. Poznámky upozorňujú...
Seite 241: Bezpečnostné Symboly
Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Bezpečnostné symboly SYMBOL POPIS SYMBOLOV Zariadenie je označené týmto symbolom, keď musí pracovník vychádzať z návodu, aby chránil sám seba, predchádzal rizikám úrazu a poškodenia zariadenia. Zariadenie je označené týmto symbolom, keď sa pracovník musí počas činnosti zariadenia zdržiavať...
Seite 242: Uchovávanie
Návod na Obsluhu Uchovávanie Uchovávanie Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy značky Agilent podávali maximálny a spoľahlivý výkon, dodržiavajte nasledujúce pokyny: neprekračujte nasledujúce podmienky prostredia počas prevozu,  prenášania a uchovávania vývev: rozsah teplôt: -40 °C až 70 °C  rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 90 % (bez kondenzácie) ...
Seite 243: Príprava Na Inštaláciu
Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Príprava na inštaláciu Výveva TwisTorr 74 FS sa dodáva v špeciálnom ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent. Pri vybaľovaní dávajte pozor, aby výveva TwisTorr 74 FS nespadla a chráňte ju pred náhodnými nárazmi, otrasmi alebo vibráciami.
Seite 244 Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Obrázok 1 X3502-64170, X3502-64171, X3502-64172, X3502-64173 244/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 245: Inštalácia
Návod na Obsluhu Inštalácia Inštalácia NEBEZPEČÍ! Výveva sa počas svojej činnosti otáča vysokou rýchlosťou. Vzhľadom k tomu, že výveva nemôže pracovať bez riadiacej jednotky, prosíme vás o inštaláciu vývevy pred jej uvedením do chodu. Ak nie je výveva pripojená k systému, počas jej činnosti je možný...
Seite 246 Návod na Obsluhu Inštalácia Obrázok 2 Obrázok 3 246/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 247 Návod na Obsluhu Inštalácia Toto zariadenie inštalujte výhradne do uzavretého prostredia a nepoužívajte ho v prostredí, ktoré je vystavené vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach, korozívne plyny, ani vo výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje vysoké riziko požiaru. Počas činnosti zariadenia je potrebné zabezpečiť tieto vlastnosti prostredia: maximálny pretlak: 2 bary nad úrovňou atmosférického tlaku;...
Seite 248: Upevnenie Vývevy
Návod na Obsluhu Upevnenie vývevy Upevnenie vývevy NEBEZPEČÍ! Nedodržanie týchto pokynov pre inštaláciu môže, v prípade výskytu poruchy rotora, spôsobiť oddelenie vývevy od systému, s následným vážnym zranením alebo dokonca smrťou. Vývevu TwisTorr 74 FS je možné inštalovať v ľubovoľnej polohe. Upevnite vývevu TwisTorr 74 FS do stabilnej polohy, a to tak, že vstupnú...
Seite 249: Použitie Vývevy Twistorr 74 Fs
Návod na Obsluhu Použitie vývevy TwisTorr 74 FS Použitie vývevy TwisTorr 74 FS NEBEZPEČÍ! Dbajte na to, aby bolo zariadenie používane správnym spôsobom. Odporúčame obsluhujúcemu pracovníkovi tohto prístroja, aby ho používal spôsobom uvedeným v tomto návode. Nedodržanie pokynov uvedených v tomto návode môže ohroziť ochranné funkcie zariadenia.
Seite 250 Návod na Obsluhu Použitie vývevy TwisTorr 74 FS Dbajte na to, aby výveva počas činnosti nebola vystavená nárazom, kmitaniu POZOR! alebo prudkým pohybom. Mohli by sa poškodiť ložiská. Vývevu preplachujte pomocou vzduchu alebo inertného plynu, zbaveného prachu a častíc. Tlak na preplachovacom vstupe musí...
Seite 251: Údržba
Návod na Obsluhu Údržba Údržba Výveva TwisTorr 74 FS nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. NEBEZPEČÍ! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...
Seite 252: Likvidácia
Návod na Obsluhu Likvidácia Likvidácia Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE". Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí...
Seite 253: Služba
Návod na Obsluhu Služba Služba Ak zákazník potreboval pokročilú výmenu alebo opravy, prosím kontaktujte miestneho distribútora alebo priamo na e-mail: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Je vyžadované úplné vyplnenie „Žiadosti o vrátenie“ pre vrátenie Vášho čerpadla Agilentu na servis(dostupné na konci tejto príručky). TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 253/352...
Seite 254: Priročnik Za Navodila
TwisTorr 74 FS User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Splošne informacije Varnostni znaki Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Pritrditev črpalke Uporaba črpalke TwisTorr 74 FS Vzdrževanje Odlaganje opadkov Servis Prevod navodil v izvirniku 254/352...
Seite 255: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke
Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija.
Seite 256: Splošne Informacije
Priročnik za Navodila Splošne informacije Splošne informacije Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije, ki mu jih je posredoval Agilent. Agilent ni odgovoren za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi.
Seite 257 Priročnik za Navodila Splošne informacije Navodila so napisana po naslednjem standardnem protokolu: SVARILO! Svarilo so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na določene postopke pri katerih lahko pride do resnih poškodb, če se jih ne drži. Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe opreme. POZOR! Opombe vsebujejo vse najbolj pomembne informacije iz besedila.
Seite 258: Varnostni Znaki
Priročnik za Navodila Splošne informacije Varnostni znaki ZNAK OPIS ZNAKOV Ta znak na napravi pomeni, da mora upravljavec v uporabniškem priročniku poiskati navodila glede zaščite pred tveganji telesnih poškodb in poškodb naprave. Ta znak na napravi pomeni, da se upravljavec delujoči napravi ne sme približevati.
Seite 259: Shranjevanje
Priročnik za Navodila Shranjevanje Shranjevanje Da bi zagotovili maksimalni učinek in zanesljivost črpalk Agilent Turbomolecular se morate držati naslednjih vodil: Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete  preseči naslednjih specifikacij: temperaturno območje: -40 °C do 70 °C  območje relativne vlažnosti: 0 do 90 % (brez kondenza) ...
Seite 260: Priprava Za Montažo
Priročnik za Navodila Priprava za montažo Priprava za montažo Črpalka TwisTorr 74 FS je dobavljena v posebni zaščitni embalaži Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju embalaže pazite pazite, da vam črpalka TwisTorr 74 FS ne pade iz rok in ne izpostavljajte je udarcem ali tresljajem. Embalaže ne odlagajte v okolje.
Seite 261 Priročnik za Navodila Priprava za montažo Slika 1 X3502-64170, X3502-64171, X3502-64172, X3502-64173 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 261/352...
Seite 262: Montaža
Priročnik za Navodila Montaža Montaža SVARILO! Črpalka deluje z visoko rotacijsko hitrostjo. Ker črpalka brez krmilnika ne more delovati, jo morate pred zagonom namestiti. V primeru delovanja črpalke brez vezave na sistem so gibljivi deli prosto dostopni, kar lahko povzročiti hude poškodbe. SVARILO! Električni napajalni kabel krmilnika služi tudi za izklop električnega napajanja krmilnika in črpalke v primeru sile.
Seite 263 Priročnik za Navodila Montaža Slika 2 Slika 3 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 263/352...
Seite 264 Priročnik za Navodila Montaža To napravo lahko namestite le v zaprte prostore, v nobenem primeru pa je ne uporabljajte v prostorih, ki so izpostavljeni vremenskim dejavnikome (dež, sneg, led), prahu, agresivnim plinom ali v okoljih kjer obstaja nevarnost požara. Tekom delovanja je treba spošotvati naslednje pogoje: Maksimalen pritisk: 2 bara nad pritiskom atmosfere;...
Seite 265: Pritrditev Črpalke
Priročnik za Navodila Pritrditev črpalke Pritrditev črpalke SVARILO! Neupoštevanje teh navodil glede namestitve lahko v primeru okvare rotorja povzroči odklop črpalke s sistema s posledičnimi okvarami, hudimi poškodbami ali celo smrtjo. TwisTorr 74 FS lahko montirate v številne pozicije. TwisTorr 74 FS namestite v stabilen položaj tako, da pritrdite vhodno prirobnico turbočrpalke na števno prirobnico s tako spojko, ki lahko prenaša navor 250 Nm okoli svoje osi.
Seite 266: Uporaba Črpalke Twistorr 74 Fs
Priročnik za Navodila Uporaba črpalke TwisTorr 74 FS Uporaba črpalke TwisTorr 74 FS SVARILO! Poskrbite za pravilno uporabo naprave. Upravljavcu tega orodja svetujemo, da napravo uporablja v skladu z navodili iz tega priročnika. V primeru neupoštevanja navodil iz tega priročnika je zaščita, ki jo naprava zagotavlja, lahko okrnjena.
Seite 267 Priročnik za Navodila Uporaba črpalke TwisTorr 74 FS Izogibajte se udarcem, oscilacijam ali nenadnim premikom črpalke tekom POZOR! delovanja. Nosilci se lahko poškodujejo. Za prezračevanje črpalke uporabite zrak ali inertni plin brez prahu ali delcev. Pritisk na oddušniku mora biti manjši od 2 bara (nad pritiskom atmosfere).
Seite 268: Vzdrževanje
Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Črpalke TwisTorr 74 FS ne potrebujejo nikakršnega vzdrževanja. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
Seite 269: Odlaganje Opadkov
Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov Odlaganje opadkov Pomen znamke "WEEE" na etiketah. Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom "WEEE". Ta simbol (ki velja samo v državah Evropske Skupnosti) pomeni, da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki, temveč...
Seite 270: Servis
Priročnik za Navodila Servis Servis Če stranka potrebuje zahtevnejšo menjavo ali popravilo, se obrnite na lokalnega distributerja ali neposredno po pošti na naslov: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Za vrnitev črpalke v servis Agilent je potrebno izpolniti obrazec “Zahteva za vračilo” (na koncu tega priročnika). 270/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 271: Instructions For Use
TwisTorr 74 FS User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps General Information Safety Symbols Storage Preparation for installation Installation Pump Fixing Use of TwisTorr 74 FS Maintenance Disposal Service Original instructions 271/352...
Seite 272: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps
Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors.
Seite 273: General Information
Instructions for Use General Information General Information This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Agilent before operating the equipment. Agilent will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards.
Seite 274 Instructions for Use General Information This manual uses the following standard protocol: The warning messages are for attracting the attention of the operator to a WARNING! particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury. The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment.
Seite 275: Safety Symbols
Instructions for Use General Information Safety Symbols SYMBOL SYMBOL DESCRIPTION The apparatus is marked with this symbol when the user should refer to the instruction manual in order to protect risk of harm to the operator and to protect the apparatus against damage. The apparatus is marked with this symbol when the user should stay clear during operation of the apparatus.
Seite 276: Storage
Instructions for Use Storage Storage In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Agilent Turbomolecular pumps, the following guidelines must be followed: when shipping, moving and storing pumps, the following  environmental specifications should not be exceeded: temperature range: -40 °C to 70 °C ...
Seite 277: Preparation For Installation
Instructions for Use Preparation for installation Preparation for installation The TwisTorr 74 FS pump is supplied in a special protective pack- ing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the pump, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to the TwisTorr 74 FS pump.
Seite 278 Instructions for Use Preparation for installation Figure 1 X3502-64170, X3502-64171, X3502-64172, X3502-64173 278/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 279: Installation
Instructions for Use Installation Installation WARNING! The pump is running at high speed. Please install the pump first before running it. Operating the pump without connecting it to your system gives access to the rotating parts which may cause heavy injuries. WARNING! The power cord of the controller is defined as disconnecting device in order to remove the power from the pump and the contoller in case of an emergency.
Seite 280 Instructions for Use Installation Figure 2 Figure 3 280/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 281 Instructions for Use Installation Install this device indoors only, and in any case do not use the pump in an environment exposed to atmospheric agents (rain, ice, snow), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk. During operation, the following environmental conditions must be respected: maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure;...
Seite 282: Pump Fixing
Instructions for Use Pump Fixing Pump Fixing WARNING! Failure to comply with these installation instructions could result in the pump detaching from the system in the event of a rotor failure, which could cause property damage or serious injury or death. The TwisTorr 74 FS can be installed in any position.
Seite 283: Use Of Twistorr 74 Fs
Instructions for Use Use of TwisTorr 74 FS Use of TwisTorr 74 FS Ensure the proper usage of the equipment. WARNING! The operator of this instrument is advised to use the equipment in a manner as specified in this manual. If the guidance of this manual is not followed, the protection provided by the equipment may be impaired.
Seite 284 Instructions for Use Use of TwisTorr 74 FS Never use the pump with corrosive gases or vapor to avoid damage to the CAUTION! internal materials of the pump. When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive WARNING! gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not use the pump in presence of explosive gases.
Seite 285: Maintenance
Instructions for Use Maintenance Maintenance The TwisTorr 74 FS does not require any maintenance. Any work must be carried out by authorized personnel. Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains, WARNING! vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped rotating and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 °C.
Seite 286: Disposal
Instructions for Use Disposal Disposal Meaning of the "WEEE" logo found in labels. The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in countries of the European Community) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system.
Seite 287: Service
Instructions for Use Service Service Should a customer need an advanced exchange or repair service, please contact local distributor or directly mail to: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Completion of the “Request for Return” form is required to return your pump to Agilent for service (provided at the end of this manual).
Seite 289: Technical Information
TwisTorr 74 FS User Manual Technical Information Description of the TwisTorr 74 FS Pump Description Technical Specification TwisTorr 74 FS Outline Interconnections Earth (Ground) Connection Connection C – Electrical Soft Start Inlet screen installation Air Cooling Kit Installation Water Cooling Kit Connection Vent Accessories Vibration Isolator Installation Purge Valve Installation...
Seite 290 Technical Information Connection of the Fore-Vacuum Pump Pump Used with Corrosive Gases Venting Procedure (without Contaminants and/or Corrosive Gases) – Manual Venting Pump Used in Presence of Magnetic Fields Accessories and Spare Parts 290/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 291: Description Of The Twistorr 74 Fs
The TwisTorr 74 FS pump is available in various models that differ in the high vacuum flange. The TwisTorr 74 FS pump models are: Model X3502-64170 with ISO 63 high vacuum flange;  Model X3502-64171 with KF40 high vacuum flange;...
Seite 292 Technical Information Description of the TwisTorr 74 FS Figure 5 Model X3502-64171 Figure 6 Model X3502-64172 292/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 293: Pump Description
Technical Information Description of the TwisTorr 74 FS Figure 7 Model X3502-64173 Pump Description The TwisTorr 74 pump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted with 9 bladed stages and 3 TwisTorr drag stages. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end.
Seite 294 Technical Information Description of the TwisTorr 74 FS The TwisTorr stators are in the form of selfpositioning machined disks. On each disk there are parallel spiral pumping channels designed to pump in centrifugal direction on one side and in centripetal direction on the other side. These are made of aluminium alloy.
Seite 295: Technical Specification
Technical Information Technical Specification Technical Specification Max gas throughput: water cooling (ambient temperature=35°C; water temperature= 25°C; backing • pump 5 m3/h) air cooling (ambient temperature=35°C; backing pump 5 m3/h) • Tab. 3 Technical Specification Pumping speed ISO 63 / CFF 4.5” CFF 2.75”...
Seite 296 Technical Information Technical Specification Inlet flange CFF 4.5" O.D. ISO 63 CFF 2.75” O.D. KF 40 Foreline flange KF16 NW Rotational speed 70000 rpm (1167 Hz driving frequency) Start-up time < 2 minutes Recommended forepump mechanical: Agilent DS 40M mechanical: Agilent DS 102 dry pump: Agilent IDP-3 dry pump: Agilent IDP-7 Operating position...
Seite 297 Technical Information Technical Specification Weight kg (lbs): Pump ISO 63 2.05 kg Pump CFF 4.5’’ 3.50 Kg Pump KF 40 2.37 kg Pump CFF 2.75’’ 3.34 kg TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 297/352...
Seite 298: Twistorr 74 Fs Outline
Technical Information TwisTorr 74 FS Outline TwisTorr 74 FS Outline The following figures show the TwisTorr 74 FS (dimensions are in mm [inches]). Figure 8 TwisTorr 74 FS ISO 63 (X3502-64170) 298/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 299 Technical Information TwisTorr 74 FS Outline Figure 9 TwisTorr 74 FS KF 40 (X3502-64171) TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 299/352...
Seite 300 Technical Information TwisTorr 74 FS Outline Figure 10 TwisTorr 74 FS CFF 4.5’’ (X3502-64172) 300/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 301 Technical Information TwisTorr 74 FS Outline Figure 11 TwisTorr 74 FS CFF 2.75’’ (X3502-64173) TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 301/352...
Seite 302 Technical Information TwisTorr 74 FS Outline Figure 12 TwisTorr 74 FS ISO 63 (X3502-64170) with air cooling kit 302/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 303 Technical Information TwisTorr 74 FS Outline Figure 13 TwisTorr 74 FS CFF 4 ½ (X3502-64172) with air cooling kit TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 303/352...
Seite 304 Technical Information TwisTorr 74 FS Outline Figure 14 TwisTorr 74 FS CFF 2.75’’ (X3502-64173) with air cooling 304/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 305 Technical Information TwisTorr 74 FS Outline Figure 15 TwisTorr 74 FS KF 40 (X3502-64171)with air cooling kit TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 305/352...
Seite 306 Technical Information TwisTorr 74 FS Outline Figure 16 TwisTorr 74 FS ISO 63 (X3502-64170) with water cooling 306/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 307 Technical Information TwisTorr 74 FS Outline Figure 17 TwisTorr 74 FS CFF 4 ½ (X3502-64172) with water cooling TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 307/352...
Seite 308 Technical Information TwisTorr 74 FS Outline Figure 18 TwisTorr 74 FS CFF 2.75’’ (X3502-64173) with water cooling kit 308/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 309 Technical Information TwisTorr 74 FS Outline Figure 19 TwisTorr 74 FS KF 40 (X3502-64171) with water cooling kit TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 309/352...
Seite 310 Technical Information TwisTorr 74 FS Outline Figure 20 Graph of Pumping Speed vs. Inlet Pressure for TwisTorr 74 FS pump Figure 21 Graph of Compression ratio vs. Foreline Pressure for TwisTorr 74 FS pump 310/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 311 Technical Information TwisTorr 74 FS Outline Figure 22 Graph of Iso Flow – Iso Power TwisTorr 74 FS pump: Nitrogen TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 311/352...
Seite 312 Technical Information TwisTorr 74 FS Outline Figure 23 Graph of Iso Flow – Iso Power TwisTorr 74 FS pump: Argon 312/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 313 Technical Information TwisTorr 74 FS Outline Figure 24 Graph of Iso Flow – Iso Power TwisTorr 74 FS pump: Helium TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 313/352...
Seite 314 Technical Information TwisTorr 74 FS Outline Figure 25 Graph of Iso Flow TwisTorr 74 FS pump: Hydrogen 314/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 315: Interconnections
Technical Information Interconnections Interconnections The following figure shows the TwisTorr 74 FS interconnections. Figure 26 Earth (Ground) Connection It is required to connect the pump body to protective earth with a M5 screw (marked thread in the pump body) using a green/yellow wire of size AWG 16.
Seite 316: Connection C - Electrical
Technical Information Interconnections Connection C – Electrical Figure 27 The turbopump is connected to the controller through a 6-pin connector. Pins B, C and D are the 3-phase supply to the motor, pin E is connected to the pump ground, pins A and F reserved for Agilent. If the temperature sensor is disconnected, the pump will not start.
Seite 317: Soft Start
Technical Information Soft Start Soft Start To start the pump after a protracted stop of the TwisTorr 74 FS, it’s recommended to enable the “Soft Start” function; this allows a better grease distribution in the bearings. The “Soft Start” mode is disabled by default. To enable the “Soft Start”...
Seite 318: Inlet Screen Installation
Technical Information Inlet screen installation Inlet screen installation Figure 28 Model X3502-68000 318/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 319 Technical Information Inlet screen installation Figure 29 Model X3502-68001 The inlet screen models are the following; • X3502-68001 (ISO 63) • X3502-68000 (CFF 4.5’’) • 9699309 (KF 40) • 9699328 (CFF 2.75’’) TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 319/352...
Seite 320 Technical Information Inlet screen installation prevent the rotor blades from being damaged by debris. The inlet screen, however, does reduce the pumping speed as per following table: Reduction in pumping speed (%) X3502-68000 X3502-68001 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure.
Seite 321 Technical Information Inlet screen installation The screen can be mounted on each pump. The screen can be removed as shown in the following figure. Figure 31 The overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump do not change as the inlet screen remains integrated into the center-ring.
Seite 322: Air Cooling Kit Installation
Technical Information Air Cooling Kit Installation Air Cooling Kit Installation An air cooling kit (9699290) is available to improve the TwisTorr 74 FS cooling during operational conditions. Fan specifications: air flow: 12.8 l/s (27.1 CFM)  input voltage: 24 Vdc ...
Seite 323 Technical Information Air Cooling Kit Installation To fix the fan to the TwisTorr 74 FS pump bottom, proceed as follows (see figure below): Fix the fan to the suitable bracket by means of the furnished screws; Fix the bracket to the pump body between the pump and the controller;...
Seite 324: Water Cooling Kit Connection
Technical Information Water Cooling Kit Connection Water Cooling Kit Connection A water cooling kit is available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. The model part numbers are: X3502-68002 (Metal), ...
Seite 325 Technical Information Water Cooling Kit Connection Figure 35 Model X3502-68002 The items of the plastic model kit must be assembled as shown in the following CAUTION! figure Figure 36 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 325/352...
Seite 326 Technical Information Water Cooling Kit Connection The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm. Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water, or using a closed circuit cooling system.
Seite 327: Vent Accessories
Technical Information Vent Accessories Vent Accessories The vent valve (9699844) allows to avoid undesired venting of the pump during temporary power failure and enables an automatic vent operation. This vent valve waits before opening a minimum time of about 5 sec. This time can be increased up to about 220 min.
Seite 328 Technical Information Vent Accessories Figure 38 Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. CAUTION! Then connect the cable from the valve to the suitable connector on the controller. 328/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 329: Vibration Isolator Installation
Technical Information Vibration Isolator Installation Vibration Isolator Installation Two vibration isolators for ISO and CFF inlet flange version pumps are available as accessories. The two model part numbers are the following: model 9699375 for ISO 63 flange;  model 9699376 for CFF 4.5” flange. ...
Seite 330: Purge Valve Installation
Technical Information Purge Valve Installation Purge Valve Installation A gas purge valve is available to protect the pump bearings against particulate and corrosive gases that could move into the pump. To install the gas purge valve it is necessary to unscrew the M12 screw from the purge port as shown in the following figure;...
Seite 331: Twistorr 74 Fs On Board Controller Installation
Technical Information TwisTorr 74 FS On Board Controller Installation TwisTorr 74 FS On Board Controller Installation The on board controller can be mounted in two position: bottom mounting (as per the complete system);  side mounting.  To install the controller proceed as described in the following procedures.
Seite 332: Side Mounting
Technical Information TwisTorr 74 FS On Board Controller Installation Figure 40 Mounting 1 Side Mounting NOTE The L-shaped bracket (P/N X3500-68006) is available as an option. See the following figure. Screw the 4 fixing studs (provided with the accessories bag) in the holes on the L-shaped bracket;...
Seite 333 Technical Information TwisTorr 74 FS On Board Controller Installation Tighten the screws properly; Turn the pump up again; 10 Plug the line cord and connect the pump cable to the pump; 11 Connect the mating connector with the jumper on the interlock signal to start the pump.
Seite 334: Connection Of The High Vacuum Flange
Technical Information Connection of the High Vacuum Flange Connection of the High Vacuum Flange In the case the rotor is suddenly blocked, the torque arising from the system and the high vacuum flange must be absorbed. Only the components listed in the following can be used to fasten the pump to the high vacuum flange.
Seite 335 Technical Information Connection of the High Vacuum Flange Figure 42 Use the required number of claw clamps: 4 for ISO 63 flange  Tighten the claw clamps with a torque of 22 Nm. TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 335/352...
Seite 336: Installation Of Conflat Flange (Cff 2 ¾)
Technical Information Connection of the High Vacuum Flange Installation of ConFlat Flange (CFF 2 ¾) For ConFlat flange connections, fix the two flanges with the screws as shown in the following figure (a protective screen can optionally be used). Screws length must be carefully chosen considering the thickness of customer flanges and the 12 mm deep of the threated holes in the TMP flange.
Seite 337 Technical Information Connection of the High Vacuum Flange Figure 44 Installation for CFF 4,5” Figure 45 Installation for CFF 4,5” Use the required number of screws: 6 for CFF 2.75”  8 for CFF 4.5”  TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 337/352...
Seite 338 Technical Information Connection of the High Vacuum Flange Attach the units and tighten each screw in turn. Repeat the sequential tightening until the flange faces meet. Tighten the screws with a torque of 20 Nm. For ConFlat flange connections we recommend using Agilent hardware.
Seite 339 Technical Information Connection of the High Vacuum Flange • Both flanges have through holes and nuts are tightened by the envelope flange. The nut can not rotate freely and it is mandatory to use a key to hold it while tightening the fixing screws.
Seite 340 Technical Information Connection of the High Vacuum Flange Figure 48 II Installation for CFF 4,5” The screws must be inserted from the top flange while nuts must be fixed below CAUTION! the flange. 340/352 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00)
Seite 341: Connection Of The Fore-Vacuum Pump
Technical Information Connection of the Fore-Vacuum Pump Connection of the Fore-Vacuum Pump A flange KF 16 NW is available to connect the TwisTorr 74 FS pump to the forevacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows.
Seite 342: Pump Used With Corrosive Gases
Technical Information Pump Used with Corrosive Gases Pump Used with Corrosive Gases To prevent damage to the bearings, an inert gas must flow into the pump body around the upper bearing towards the forevacuum line. To supply the inert purge gas (e. g. nitrogen) to the pump through the purge port, connect a gas purge valve between the pressure regulator and the pump.
Seite 343 Technical Information Pump Used with Corrosive Gases Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump Turbopump Vent valve Figure 49 Purge layout TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 (A.00) 343/352...
Seite 344: Venting Procedure (Without Contaminants And/Or Corrosive Gases) - Manual Venting
Technical Information Venting Procedure (without Contaminants and/or Corrosive Gases) – Manual Venting Venting Procedure (without Contaminants and/or Corrosive Gases) – Manual Venting Close the process gases flowing into the system before sending the STOP signal to the TwisTorr 74 FS pump. Close the gate valve connecting the Turbo pump to the chamber (if present).
Seite 345: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields
Technical Information Pump Used in Presence of Magnetic Fields Pump Used in Presence of Magnetic Fields Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation. The result is increased electrical power consumption by the motor, most of which is dissipated in the rotor.
Seite 346: Accessories And Spare Parts
Technical Information Accessories and Spare Parts Accessories and Spare Parts Tab. 4 Accessories and spare parts Description Part Numbers Mains cable NEMA plug, 3 m long 9699958 Mains cable European plug, 3 m long 9699957 Serial cable and A-plus software 9699883 Inlet screen ISO63 X3502-68001...
Seite 352 Request for Return Form United States India (Sales) India (Service) Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies India Pvt. Ltd. 121 Hartwell Avenue Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109 C-Block, RMZ Centennial Plot Number- 8A, 8B, 8C,...

Diese Anleitung auch für:

Twistorr 74 fs X3502-64171 X3502-64172 X3502-64173

Agilent Technologies X3502-64170 Bedienungshandbuch

Verfügbare Sprachen

Quicklinks

Kapitel

Verwandte Anleitungen für Agilent Technologies X3502-64170

Inhaltszusammenfassung für Agilent Technologies X3502-64170