Herunterladen Inhalt Inhalt Diese Seite drucken

Anvendelse - Agilent Technologies TPS-compact X3580-64000 Bedienungshandbuch

Inhaltsverzeichnis

Werbung

7
Istruktionsbog

Anvendelse

Anvendelse

Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer.
Inden anvendelse af systemet, bør samtlige elektriske og pneumatiske
tilslutninger udføres. I forbindelse med vakuumkammerets eventuelle
opvarmning, må indløbsflangens temperatur ikke overskride 120 °C
med flange af ConFlat-type, og 80 °C med flange af ISO-type.
ADVARSEL!
Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er tilsluttet
vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved hjælp af lukkeflangen.
ADVARSEL!
Rør aldrig turbopumpen eller dens tilbehør i forbindelse med
opvarmningsprocedurerne. Den høje temperatur kan resultere i skade på
personer.
ADVARSEL!
Undgå stød eller pludselige bevægelser af turbopumpen, mens den er
aktiveret. Der er risiko for beskadigelse af lejerne og det kan medføre skader
på personer eller ting.
Til pumpens luftafløb anvendes inaktiv luftart, der er fri for støv, partikler eller
FORSIGTIG!
fugtighed (eksempelvis kvælstof). Indgangstrykket gennem den særlige åbning
skal være under 2 bar (over det atmosfæriske tryk).
116/314
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01
(H)

Werbung

Inhaltsverzeichnis
loading

Inhaltsverzeichnis