Použití - Agilent Technologies TV 303 Bedienungshandbuch

Použití
Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních postupů.
Před použitím systému proveďte všechna elektrická a pneumatická
připojení. Při zahřívání vakuové komory teplota přívodní příruby
nesmí překročit 120 °C
NEBEZPEČÍ! Turbovývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li vstupní příruba připojená k
vakuové komoře.
Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství nedotýkejte. Vysoká
teplota může způsobit popáleniny.
Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a prudkými pohyby.
POZOR!
Mohly by se poškodit ložiska.
Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn, který je zbaven
prachu a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru musí být menší než 2 bary (nad
atmosférickým tlakem).
Pro čerpání agresivních plynů jsou tyto vývěvy vybaveny speciálním otvorem,
který umožňuje plynulý přítok inertního plynu (např. N2, Ar) pro ochranu
ložisek vývěvy (viz přílohu "Technical Information").
NEBEZPEČÍ! Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo
radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci
každého plynu.
Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů.
TV 303 User Manual / 87-901-019-01 (A)
13
Návod k Použití
Použití
167/268