Használat - Agilent Technologies TV 303 Bedienungshandbuch

Használat
Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat.
Végezze el az összes elektromos és pneumatikus csatlakoztatást a
rendszer használata előtt.
A vákuumkamra melegítése közben a bemeneti szelep hőmérséklete
nem haladhatja meg a 120 °C-ot.
VESZÉLY! Soha ne használja a turbószivattyút, amikor a bemeneti karima nincs
csatlakoztatva a vákuumkamrához vagy nincs kiiktatva.
Ne érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a melegítési
folyamat közben. Magas hőmérséklet égést okozhat.
Kerülje a szivattyú ütését, rázását vagy durva mozgatását üzem közben. A
FIGYELEM!
csapágyak megsérülhetnek.
Használjon portól és szilárd részektől mentes levegőt vagy közömbös gázt a
szivattyú szellőztetéséhez. A szellőző porton lévő nyomásnak 2 barnál
kisebbnek kell lennie (a légköri nyomás fölött).
Agresszív gázok szivattyúzásához ezek a szivattyúk fel vannak szerelve egy
különleges porttal, hogy lehetővé tegyék közömbös gáz (pl. N2, Ar) stabil
áramlását védelmet viselő szivattyú számára (lásd „Technical Information"
függelék).
TV 303 User Manual / 87-901-019-01 (A)
Felhasználói Kézikönyv
Használat
141/268
11