Användning - Agilent Technologies TV 303 Bedienungshandbuch

8 Bruksanvisning
Användning
Användning
Anvisningar för riktig användning finns i styrenhetens
bruksanvisning.
Innan du använder systemet ska du utföra alla elektriska och
pneumatiska anslutningar. Om vakuumkammaren uppvärms får
temperaturen vid inloppet aldrig överstiga 120 °C.
VARNING! Sätt aldrig igång pumpen om intagsflänsen varken är kopplad till
vakuumkammaren eller är blockerad på plats med låsflänsen.
Vidrör inte turbopumpen eller några tillbehör under uppvärmningen för att
undvika brännskador.
Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga förflyttningar av
OBSERVER!
turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli skadade.
Pumpen ska förses med luft eller med ädelgaser som ärfria från damn eller
andra partiklar. Ingångstrycket mot rätt dörr måsteunderstiga 2 bar (utöver det
atmosfäriska trycket).
För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda med en speciell
öppning igenom vilken man ska leda en ström av ädelgas (kväve eller argon) för
att skydda lagren (se bilagan "Technical information").
104/268 TV 303 User Manual / 87-901-019-01 (A)