13.3
Timing-Diagramm der Fokusmessung
Messzyklus
Command.start
Command.messparameter
Laser On
status.ready
status.measurement running
status.measurement finished
status.measurement failure
status.idle
status.irradiation failure
status.start acknowledge
status.maximalwert+übersteuerung
Strahlparameter
Fehler/Warnungs-Kennung
Abb. 13.1:
Timing-Diagramm ungetriggerte und getriggerte Messung
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t0: Die Messparameter (Setup-Nr. oder detaillierte Messparameter) müssen gesetzt sein, ehe das Flag
„start" gesetzt wird.
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t1: Als Bestätigung, dass das Startkommando und die Messparameter empfangen wurden, wird das
Flag „start acknowledge" gesetzt, „idle" und „finished" gelöscht. Ebenso werden die Ergebnisregister, die
Fehlerflags und die Fehlerkennungen gelöscht.
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t2: Bei der ungetriggerten Messung wird gleichzeitig das Flag „ready" gesetzt als Zeichen, dass der Laser
angeschaltet werden kann.
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t3: Wenn „ready" gesetzt ist, sollte der Laserpuls ausgelöst werden „Laser on". Erst dann darf das Flag
„start" gelöscht werden, da danach die Messung beginnt (dies gilt nur für die ungetriggerte Messung; bei
der getriggerten Messung darf das „start acknowledge" direkt durch Löschen des „start" quittiert werden).
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t4: Wenn „start" wieder gelöscht ist, wird „start acknowledge" gelöscht und „measurement running" ge-
setzt.
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t5: Wenn „start acknowledge" wieder gelöscht ist, ist sichergestellt, dass die Messparameter eingelesen
wurden; sie können dann beliebig geändert werden (z. B. als Vorbereitung für die nächste Messung).
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t6: Wenn die eigentliche Messung beendet ist, werden „measurement" und „ready" gelöscht. Ab dann
kann der Laserpuls „Laser on" abgeschaltet werden, während der nun folgenden Berechnungen wird er
nicht mehr gebraucht.
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t7: Wenn die Berechnungen beendet sind (oder ein fataler Fehler aufgetreten ist), werden die Flags „fini-
shed" und „idle" gesetzt. Ist das Flag „measurement failure" gesetzt, so ist ein fataler Fehler aufgetreten
und die Messung oder Berechnung wurde abgebrochen. Die Ursache des Fehlers ist im Register „Fehler-
Kennung" codiert. Ist „measurement failure" nicht gesetzt, so wurde die Messung und Berechnung erfolgreich
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MicroSpotMonitor-Compact
Revision 01/2019 DE