20
7
Technische Daten
VSP63E
Messprinzip
Messbereich
Max. Überlast
Genauigkeit
Wiederholbarkeit
Materialien mit Vakuum-
kontakt
Reaktionszeit
Betriebstemperatur
Lagertemperatur
VSPE-de-171117
VSP64E
Wärmeleitfähigkeit Pirani,
gasartabhängig
VSP: 1000 - 1x10
VCP: 1000 - 5x10
10 bar abs.
VSP: 1000 - 20 mbar: ca. 30 % v. Messwert
20 - 0,002 mbar: 10 % v. Messwert
VCP: 1000 - 10mbar: ca. 30 % v. Messwert
10 - 0,01mbar: 10 % v. Messwert
VSP: 20 - 0,002 mbar: 2 % v. Messwert
VCP: 10 - 0,01 mbar: 5 % v. Messwert
VSP: Edelstahl 1.4307, Wolfram, Nickel, Glas
VCP: Edelstahl 1.4307, Platin/Rhodium, Nickel, Glas
40 ms
o
5...60
C
o
-40...+65
C
-4
-4
mbar (750 - 1x10
-4
-4
mbar (750 - 5x10
Torr)
Torr)