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Manuell geregelte Vakuum-Anwendungen:
Allgemein: Parallele Prozesse mit stark unterschiedlichen Anforderungen an Saugvermögen bzw. End-
druck und gleichzeitigen Betrieb vermeiden.
Werden manuell geregelte Anschlussstellen zeitgleich betrieben, sollten diese über eine Durchflussregelung
so weit reduziert werden, dass der Prozessdruck der Anwendung gerade noch erreicht wird. Die permanen-
te Gasströmung durch die manuellen Anschlussstellen wirkt wie eine große Leckage und führt über einen
Druckausgleich zu einem Druckanstieg im System.
Ist der Druck im Netzwerk höher als der Solldruck in einer parallelen Anwendung, wird diese zwar über das
Rückschlagventil vor Rückströmung bzw. Kontamination geschützt, kann aber nicht weiter evakuiert oder
geregelt werden!
Maßnahme: Weitere Durchflussreduzierung an der manuellen Anschlussstelle, bis Systemdruck im Netz-
werk unterhalb des kleinsten Prozessdrucks einer parallelen Anwendung sinkt.
Automatisch geregelte Vakuum-Anwendungen:
Werden automatisch geregelte Anschlussstellen zeitgleich an einem Vakuumnetzwerk betrieben, kann es
je nach Gasanfall (z. B. beim Abpumpen) und programmierten Regeldrücken auch zu einem Druckanstieg
im System kommen. Dieser tritt im Allgemeinen jedoch nur als Druckspitze auf und unterbricht die Vakuum-
versorgung von parallelen Anwendungen i.a. nur vorübergehend, die Rückschlagventile wirken einer ge-
genseitigen Beeinflussung entgegen.
Allgemein: Das Saugvermögen an automatisch geregelten Anschlussstellen sollte ebenfalls über eine
zusätzliche Durchflussregelung reduziert werden. Dadurch werden die Druckstöße in der Anwendung und
im Vakuumnetzwerk minimiert. Die Einstellung der Regel-Hysterese (Δp) am Vakuum-Controller der An-
schlussstelle sollte nicht zu klein gewählt werden (Δp= ca. ±10%p
Hysterese des Controllers verwenden.
Anmerkungen: Bei steigendem Systemdruck wird die Anwendung mit dem niedrigsten Solldruck zuerst
geschlossen. Bei sinkendem Systemdruck wird die Anwendung mit dem höchsten Solldruck zuerst geöff-
net.
Wirkung der integrierten Rückschlagventile:
Jede Anschlussstelle hat ein integriertes Rückschlagventil gegen Druckanstieg bzw. Kontamination, es
besteht folgender Zusammenhang zwischen dem Solldruck der verschiedenen Anwendungen und dem
Systemdruck im Vakuumnetzwerk:
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Rückschlagventil zu
Anmerkungen: Bei steigendem Systemdruck wird die Anwendung mit dem niedrigsten Solldruck zuerst
geschlossen. Bei sinkendem Systemdruck wird die Anwendung mit dem höchsten Solldruck zuerst geöff-
net.
Das Dokument darf nur vollständig und unverändert verwendet und weitergegeben werden. Es liegt in der Verantwortung des
Anwenders, die Gültigkeit dieses Dokumentes bezüglich seines Produktes sicher zu stellen. BA-Nr.: 999084 / 05/10/2009
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