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Erweiterte Konfiguration
Korrektur
Fehlstellen auf der Probenoberfläche
wie Krater oder Kratzer können große
Fehler in den Messwerten bewirken.
Bei eingeschalteter Korrektur werden
die betroffenen Scanbereiche heraus-
geschnitten und aus den bereinigten
Daten die Messwerte berechnet. Ein
Druck auf operate schaltet die Korrek-
tur ein bzw. aus.
Plausibilitätskontrolle
Ist eine Option zum Vergleich von kor-
rigiertem und unkorrigiertem Mess-
wert: Je größer die Differenz zwischen
korrigiertem und unkorrigiertem Mess-
wert ist, desto schwerwiegender ist die
Fehlstelle auf der Oberfläche. Ist die
Differenz größer als 20 %, so wird die
Messung als Fehlmessung gewertet.
Gegebenenfalls erscheint eine Fehler-
meldung und Sie müssen die Messung
wiederholen.
Ein Druck auf "operate" schaltet die
Plausibilitätskontrolle ein bzw. aus.
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