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Installations- und
Wartungsanleitung
Combi Schrauben-Vakuumpumpen
und Wälzkolbenpumpen
COBRA DS 5161A
Standard-Version
Busch Manufacturing Korea, Ltd.
189-51, Soicheon-ro, Majang-myun
Icheon-si, Gyunggi-do, 467-813
Republic of Korea
0870772511/
/ Originalbetriebsanleitung/ Änderungen vorbehalten
171128
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Verwandte Anleitungen für Busch COBRA DS 5161A
Inhaltszusammenfassung für Busch COBRA DS 5161A
- Seite 1 Installations- und Wartungsanleitung Combi Schrauben-Vakuumpumpen und Wälzkolbenpumpen COBRA DS 5161A Standard-Version Busch Manufacturing Korea, Ltd. 189-51, Soicheon-ro, Majang-myun Icheon-si, Gyunggi-do, 467-813 Republic of Korea 0870772511/ / Originalbetriebsanleitung/ Änderungen vorbehalten 171128...
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Seite 2: Inhaltsverzeichnis
WY (MB) Wälzkolbenvakuumpumpe ... 14 Herzlichen Glückwunsch zu der Vakuumpumpe von Busch. Mit COBRA DS Vakuumpumpe ....15 aufmerksamer Beobachtung der Bedürfnisse der Anwender, mit... -
Seite 3: Cobra Ds 5161 A
COBRA DS 5161 A IN Sauganschluss OUT Gasauslass (zum Schalldämpfer) NC Stickstoffanschluss CLP Kühlflüssigkeitspumpe EC Strom- und Sensorenanschluss CWC Kühlwassereintritt und -austritt (CWi & CWo) DGC Stickstoffanschluss EV Expansiongefäss DS 5161 A COBRA DS 5161 A Seite 3 0870772511 (De) -
Seite 4: Cobra Dp 600 C
OSG1 CWO CWI DGR2 DGR1 TS4 OSG2 TR COBRA DP 600 C TS 1 Temperaturschalter für Öl, 120°C CWR Kühlwasserregulierhahn SC Sensoranschluss EC Stromanschluss TS 2 Temperaturschalter für Glykol, 100°C PRV Stickstoffregulierhahn NC Stickstoffanschluss TS 3 Temperaturschalter PT100 DGR 2 Stickstoffregulierhahn, CWI Kühlwassereintritt TS 4 Temperaturschalter für Öl, 140°C Verdünnungsgas (Zylindersende) - Seite 5 CWR 1 Kühlwasserregulierhahn CWR 2 Kühlwasserregulierhahn PRV Stickstoffregulierhahn DGR 2 Regulierhahn, Verdünnungsgas DGR 1 Regulierhahn, Verdünnungsgas OSG 3 DGF Stickstoffdurchflussmesser OSG 4 FCV Flusskontrolle OSG 1 Ölschauglas (DP) CWR 2 OSG 2 Ölschauglas (DP) OSG 3 Ölschauglas (MB) TS 3 OSG 4 Ölschauglas (MB) TS 4 TS 5...
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Seite 6: Produktbeschreibung
Ölkreislauf Produktbeschreibung Aufgrund der Tatsache, dass die gesamte Funktionsweise ohne Kontakt Verwendung auskommt, ist kein Ölkreislauf innerhalb des Arbeitsbereichs erforderlich. Die Vakuumpumpen COBRA DS sind für die Verwendung im Bereich der Mikroelektronik und vergleichbarer Bereiche ausgelegt. Kühlung Sie können zum Ansaugen von Gasen und Gasgemischen eingesetzt Die Kühlung der Vakuumpumpe COBRA NS erfolgt durch werden. -
Seite 7: Überwachung Der Vakuumpumpe
In vorliegendem Handbuch und auf der Pumpe finden sich – verschiedene Sicherheitshinweise. Es ist absolut erforderlich, dass diese Siehe “Installations- und Betriebsanleitung, Busch PLC und Busch LCD Hinweise befolgt werden. Sie erkennen diese Hinweise aufgrund der (No. 0870758077). Schlagworte GEFAHR, WARNUNG und ACHTUNG, diese werden wie... -
Seite 8: Geräuschemission
COBRA NS Vakuumpumpe COBRA DS Vakuumpumpe WARNUNG! Heisse Oberfläche! Kühlflüssigkeit einfüllen (CLF) Nicht zu berühren! Öl einfüllen (OFP) WARNUNG! Heisse Oberfläche! Nicht zu berühren! Ölschauglas (OSG) Ölablassschraube (ODP) Kühlflüssigkeits- ablassschraube (CLD) Abführen, Kühlflüssigkeit (CLV) Öl einfüllen (OFP) Geräuschemission WARNUNG! Heisse Oberfläche! Nicht zu berühren! Nehmen Sie Bezug auf die Tabelle “Technische Daten”... -
Seite 9: System Ausschalten (Typ 1 Elektrischer Arbeiten)
Massblatt 1549.7 1609.8 532.1 1077.7 Einlass Stromsteuerkasten DN 200 ISO-K Kühlwasser- auslass(1/2") Kühlwasser- einlass(1/2" ) Stickstoffs- einlass(1/4" ) Kühlwasser- auslass(3/8") m in Kühlwasser- einlass(3/8") Auslass DN 63 ISO-K DP Stromanschluss Beschreibung der Not-Aus-Verriegelung Potentieller Kontakt zu hochfrequenzen Strömen, induziert oder direkt, überschreiten die Werte gemäss Tabelle A5-1, Anhang 5 der aktuellen l Der Not-Aus Schaltkreis wird geöffnet durch das Drücken des Richtlinie SEMI S2. -
Seite 10: Transport
Transport Pflege Die COBRA DS Vakuumpumpen werden vor der sorgfältigen Ist die Vakuumpumpe ungünstigen Umgebungsbedingungen Verpackung in unserem Werk getestet und geprüft. Beim Empfang der ausgesetzt (beispielsweise aggressive Umgebung, häufige Ware kontrollieren Sie die Verpackung auf Transportschäden. Während Temperaturwechsel), beginnen Sie unverzüglich mit der Pflege der des Transports kann die Pumpe Temperaturen zwischen -25°C und Vakuumpumpe. -
Seite 11: Aufstellort Und Einbau
1 m beträgt, um eine gute Kühlung zu gewährleisten Ansaugflansch sein, um eine Leistungsverminderung der Vakuumpumpe zu vermeiden. Liegen Zweifel vor, wenden Sie sich an l Sicherstellen, dass die Vakuumpumpe leicht zugänglich ist und das den Busch-Vertreter. der gewählte Aufstellort den Anforderungen bezüglich Montage/ Demontage genügt Gasauslass... -
Seite 12: Kühlwasseranschluss
Sicherstellen, dass ein Überlastschutz gemäss der Normen EN 60204-1 für die Motoren vorgesehen ist l Sicherstellen, dass der Antrieb der Vakuumpumpe von keinerlei elektrischen oder elektromagnetischen Interferenzen gestört wird. Liegen Zweifel vor, wenden Sie sich an den Busch-Vertreter Installation Montage l Sicherstellen, dass die “Erforderlichen Einbauvorschriften”... - Seite 13 Motorenanschluss Stern-Stern (niedrige Spannung) l Die Schraube der Anschlussseite gänzlich los schrauben l Kabel durchführen und direkt an die entsprechenden Klemmen (R, S, T, E) anschliessen Motorenanschluss Stern (hohe Spannung) ACHTUNG Sollte die Vakuumpumpe mit einem Motor betrieben werden welcher sich in falscher Drehrichtung bewegt, auch wenn dies nur für einen kurzen Moment der Fall ist, kann diese zerstört werden.
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Seite 14: Verbindungen Der Ausstattung (Mit Optionen)
PID-Interface (9-polig) (Option) ACHTUNG Wenn die Vakuumpumpe mit Öl gefüllt wird, sicherstellen dass der Die Informationen über den Betrieb des Busch PLCs und des Busch Neigungswinkel der Vakuumpumpe bei der Erhöhung nicht 5° LCDs befinden sich in der Installations- und Betriebsanleitung hinsichtlich des horizontalen überschreitet. -
Seite 15: Cobra Ds Vakuumpumpe
Einfüllen der Kühlflüssigkeit l Sicherstellen, dass der Ölstand sich zwischen den Markierungen MIN und MAX der Ölstandsgläser befindet Die COBRA DS Vakuumpumpen werden im allgemeinen mit der l Sicherstellen, dass die Dichtungen der Öleinfüllstutzen nicht Kühlflüssigkeit schon in der Vakuumpumpe gesendet. Vor der ersten beschädigt sind, falls notwendig, wechseln Sie diese aus Inbetriebnahme der Vakuumpumpe kontrollieren die verschiedenen Niveau der Kühlflüssigkeit. -
Seite 16: Überprüfung Der Stickstoffzuführung
Überprüfung der Stickstoffzuführung ACHTUNG Der Durchfluss des Stickstoffs wird mittels Durchflussmesser DGF überprüft. Der Durchflussmesser muss so angeschlossen sein, dass bei Wenn die Vakuumpumpe in Betrieb ist, kann die Unterschreiten der eingestellten Durchflussmenge, ein Alarm ausgelöst Oberflächentemperatur der Vakuumpumpe 50 °C übersteigen. wird. -
Seite 17: Vakuumpumpe Ein-/ Ausschalten
Bei einem längeren Stillstand der Pumpe, muss Folgendes beachtet l Sicherstellen, dass das System stromlos ist werden: Wartung ACHTUNG GEFAHR Besteht ein Frostrisiko, muss bei einem längeren Stillstand das gesamte Kühlwasser aus der Vakuumpumpe geleert werden! Wenn mit der Vakuumpumpe Gase gefördert wurden, die mit Entleeren Sie die Kühlflüssigkeit gesundheitsgefährdenden Fremdstoffen belastet waren, sind Öl und –... -
Seite 18: Wartungsprogramm
Den Schaltkasten öffnen und prüfen, ob das thermische Relays FDP1 in Position «ON»- Position ist l Untersuchen Sie die Vakuumpumpe auf Leckagen von Kühlwasser - ist dies der Fall, reparieren Sie die Vakuumpumpe (Firma Busch) l Den Schaltkasten schliessen Monatlich: l Den Not-Ausschalter lösen und verriegeln... -
Seite 19: Prüfung Des Öls
Entleeren Sie das Öl (siehe “Öl entleeren”) Öl nachfüllen Wenn dunkel verfärbtes Öl ähnlich dem abgebildeten Beispiel festgestellt wird, müssen Sie unverzüglich den Busch HINWEIS: Normalerweise muss ausserhalb der empfohlenen Kundenservice kontaktieren. Ölwechselintervalle kein Öl nachgefüllt werden. Ein Sinken des Ölwechsel... -
Seite 20: Wy (Mb) Wälzkolbenvakuumpumpe
WY (MB) Wälzkolbenvakuumpumpe l Die Verschlussschrauben der Ölablassöffnungen wieder entfernen und das restliche Öl ablassen l Bereiten Sie die notwendige Ölmenge vor (siehe l Sicherstellen, dass keine metallischen Rückstände am magnetischen “Ölsorte/-Menge”) Teil der Ablassschraube hängen, falls nötig, reinigen HINWEIS: Die im Installationshandbuch angegebene Ölmenge ist rein l Die Verschlussschrauben der Ölablassöffnungen wieder informativer Natur. -
Seite 21: Entleeren Der Kühlflüssigkeit
Entleeren der Kühlflüssigkeit l Entfernen Sie die Kühlflüssigkeit, die sich möglicherweise über die Oberflächen der Vakuumpumpe ergossen hat l Sicherstellen, dass die Vakuumpumpe ausgeschaltet ist und das ein Prüfen des Kühlwassers versehentliches Wiedereinschalten nicht möglich ist l Sicherstellen, dass die Vakuumpumpe dem atmosphärischen Druck Prüfen des Kühlwasserdurchflusses angepasst ist l Prüfen Sie regelmässig den Kühlwasserdurchfluss... -
Seite 22: Ausserbetriebnahme
Vakuumpumpe ist Pflicht. www.buschvacuum.com herunterladbar. Die Vakuumpumpe muss unbedingt vor dem Versand Die Vakuumpumpe wird vom Busch Service nur mit einer vollständig dekontaminiert werden, und der Kontaminationszustand ist in einer ausgefüllten und mit einer rechtsverbindlichen Unterschrift versehenen Erklärung über die Dekontaminierung der Vakuumpumpe zu Erklärung über die Kontaminierung (“Declaration of... -
Seite 23: Ölsorte/ -Menge
Ölsorte/ -menge Ölsorte l Sicherstellen, dass das Öl den angegebenen Daten entspricht: Busch YLC 250 B, Art. Nr. 0831 000 054 (0,5 l @ 1 kg) – WARNUNG Die Verwendung von chemisch verunreinigtem oder verschmutztem Öl kann zu einem gefährlichen Pumpenzustand führen der einen Personenschaden verursachen kann. -
Seite 24: Kühlflüssigkeitssorte/ -Menge
Kühlflüssigkeitssorte/ -menge Kühlflüssigkeitssorte l Sicherstellen, dass die Kühlflüssigkeit den angegebenen Daten entspricht: Bezeichnung Zitrec M-25 (Fertiggemisch) 25 l Gebinde 5 l Gebinde Teilenr. 0831 563 468 Teilenr. 0831 563 469 Kühlflüssigkeitsmenge Die in diesem Handbuch angegebene Kühlflüssigkeitsmenge ist ein Richtwert. Beachten Sie die Beschreibung des Füllvorgangs für die Kühlflüssigkeit. Menge Zitrec M-25 (bereits gemischt und fertiggemisch) DS 5161 A... -
Seite 25: Technische Daten
Technische Daten Technische Daten DS 5161 A Nennsaugvermögen 60 Hz /h (cfm) 4300 (2530) 2,25 x 10 Torr Enddruck mbar 3 x 10 kW (MB: 60 Hz) Leistungsaufnahme 12.5 kW im Leerlaufbetrieb beim Enddruck 10.0 (MB: 20 Hz) 60 Hz Motorleistung 60 Hz Motornenndrehzahl... -
Seite 27: Eu-Konformitätserklärung
Die vorliegende EU-Konformitätserklärung und die auf dem Typenschild angebrachte CE-Kennzeichnung gelten für die Maschine im Rahmen des Lieferumfangs von Busch. Die alleinige Verantwortung für die Ausstellung dieser Konformitätserklärung trägt der Hersteller. Wird die Maschine in eine übergeordnete Maschinenanlage integriert, muss der Hersteller dieser Anlage (ggf. das die Anlage betreibende Unternehmen) die übergeordnete Maschine bzw. -
Seite 28: Busch - All Over The World In Industry
Busch – All over the World in Industry www.buschvacuum.com Finland Malaysia Spain Argentina Busch Malaysia Sdn Bhd. Busch Vakuumteknik Oy Busch Argentina S.R.L. Busch Ibérica S.A. 4&6, Jalan Taboh 33/22, Seksyen 33 Sinikellontie 4 Santo Domingo 3076 Pol. Ind. Coll de la Manya...