Verwandte Anleitungen für Busch COMBI DS 3161 C
Inhaltszusammenfassung für Busch COMBI DS 3161 C
- Seite 1 Betriebsanleitung COMBI Schrauben-Vakuumpumpen und Vakuum-Booster COBRA DS 3161 C 0870739180 | A0003_de | Übersetzung der Originalbetriebsanleitung 20/04/2023...
- Seite 2 Inhaltsverzeichnis ..COBRA DS 3161 C ..COBRA DP . . . Produktbeschreibung ..Verwendung ..Funktionsweise .
- Seite 3 COBRA DS 3161 C Sauganschluss Vorvakuumpumpe DP 600 C MSH Hauptschalter Notausschalter OUT Gasauslass (zum Schalldämpfer) Pumpenklemmenkasten Fernbedienung ECO Elektrischer Anschluss COBRA DS 3161 C DS 3161 C Seite 3 0870739180 (De)
- Seite 4 OSG 1 TS 1 TS 2 CWO CWI DGR 1 FS 2 DGR 2 TS 3 FS 1 TS 5 TS 4 OSG 2 COBRA DP 600 C CLP Kühlflüssigkeitspumpe ECO Elektrischer Anschluss TS 2 Temperaturschalter für Glykol, 100°C CWI Kühlwassereintritt FME Durchflussmeter, Stickstoff TS 3 Temperaturschalter PT100 CWO Kühlwasseraustritt...
- Seite 5 OSG 3 OSG 4 Kühlflüssigkeit TS 3 TS 4 TS 6 OSG 1 OSG 2 TS 5 TS 2 FS 2 120°C TS 3 Temperatursensor PT100 FS 1 Öltemperatur,140°C DGR 1 DGR 1 DGR 2 TS 6 Temperatursensor 155°C Ì Sauganschluss Gasauslass Öl...
- Seite 6 Ölkreislauf Produktbeschreibung Aufgrund der Tatsache, dass die gesamte Funktionsweise ohne Kontakt Verwendung auskommt, ist kein Ölkreislauf innerhalb des Arbeitsbereichs erforderlich. Die Vakuumpumpen COBRA DS sind für die Verwendung im Bereich der Mikroelektronik und vergleichbarer Bereiche ausgelegt. Kühlung Sie können zum Ansaugen von Gasen und Gasgemischen eingesetzt Die Kühlung der Vakuumpumpe COBRA NS erfolgt durch werden.
- Seite 7 Sicherheitshinweise. Es ist absolut erforderlich, dass diese Auslassdruck (Option) – Hinweise befolgt werden. Sie erkennen diese Hinweise aufgrund der Siehe “Installations- und Betriebsanleitung, Busch PLC und Busch LCD Schlagworte GEFAHR, WARNUNG und ACHTUNG, diese werden wie folgt definiert: (No. 0870758077).
- Seite 8 COBRA NS Schrauben-Vakuumpumpe COBRA DS Vakuumpumpe WARNUNG! Kühlflüssigkeit Heisse Oberfläche! einfüllen (CLF) Nicht zu berühren! Öl einfüllen (OFP) WARNUNG! Heisse Oberfläche! Nicht zu berühren! Ölschauglas (OSG) Ölablassschraube (ODP) Kühlflüssigkeits- ablassschraube (CLD) Abführen, Kühlflüssigkeit (CLV) Öl einfüllen (OFP) Geräuschemission WARNUNG! Nehmen Sie Bezug auf die Tabelle “Technische Daten” bezüglich des Heisse Oberfläche! zulässigen Geräuschpegels im freien Feld gemäss EN ISO 2151.
- Seite 9 Transport in verpacktem Zustand Potentieller Kontakt zu hochfrequenzen Strömen, induziert oder direkt, überschreiten die Werte gemäss Tabelle A5-1, Anhang 5 der aktuellen Richtlinie SEMI S2. Auf einer Palette verpackt, kann die Vakuumpumpe mittels Hand-Gabelhubwagen bewegt werden. System ausschalten (Typ 1 elektrischer Transport in unverpacktem Zustand Arbeiten) l Pumpe ausschalten mittels Fernbedienung (STOP-Knopf drücken...
- Seite 10 Inbetriebnahme der Vakuumpumpe nach l Alle offenen Anschlüsse mit Schutzkappen verschlieen (Eindringen von Schmultz und Wasser wird verhindert) Lagerung: l Lose Kabel sichern l Sicherstellen, dass alle vor der Pflege angebrachten l Vor Erschütterungen sichern Schutzelemente, Stöpsel oder Klebebänder entfernt wurden l Alle Prozess- und Betriebsmedien ablassen l Schalten Sie die Vakuumpumpe gemäss der zu beachtenden Reihenfolge beschrieben in Kapitel “Installation und...
- Seite 11 Ansaugflansch sein, um eine Leistungsverminderung der der gewählte Aufstellort den Anforderungen bezüglich Montage/ Vakuumpumpe zu vermeiden. Liegen Zweifel vor, wenden Sie sich an Demontage genügt den Busch-Vertreter. l Sicherstellen, dass keine temperaturempfindlichen Teile Gasauslass (beispielsweise aus Kunststoff, Holz, Karton, Papier, elektronische Teile) mit den heissen Oberflächen der Vakuumpumpe in...
- Seite 12 Sicherstellen, dass ein Überlastschutz gemäss der Normen EN 60204-1 für die Motoren vorgesehen ist l Sicherstellen, dass der Antrieb der Vakuumpumpe von keinerlei elektrischen oder elektromagnetischen Interferenzen gestört wird. Liegen Zweifel vor, wenden Sie sich an den Busch-Vertreter Installation Motorenanschluss Stern-Stern (niedrige Spannung) Montage l Sicherstellen, dass die “Erforderlichen Einbauvorschriften”...
- Seite 13 Phase L1 Ethernet-Anschluss (Busch Monitoring System) (Option) Interface Anschluss (50-polig) (Option) Phase L3 Phase L3 Erde Die Informationen über den Betrieb des Busch PLCs und des Busch Erde LCDs befinden sich in der Installations- und Betriebsanleitung (Art. Nr. 0870758077). Pumpenseite Mating-Anschlüsse...
- Seite 14 COBRA NS (DP) Schrauben-Vakuumpumpe ACHTUNG l Bereiten Sie die in der Tabelle “Ölmenge” angegebene Menge vor HINWEIS: Die im Installationshandbuch angegebene Ölmenge ist ein Ist das Öl eingefüllt, muss die Vakuumpumpe in horizontaler Richtwert. Prüfen Sie den Ölstand mittels der verschiedenen Stellung bleiben.
- Seite 15 WY (MB) Vakuum-Booster l Stoppen Sie die Vakuumpumpe und warten Sie einige Minuten l Sicherstellen, dass sich der Ölstand immer noch im Zielkreis der l Kühlflüssigkeitsentleerungsschraube an der Oberseite des Zylinders Ölstandsgläser befindet aufdrehen Sollte sich der Ölstand unter dem Zielkreis befinden: l Überprüfen, ob der Füllstand der Kühlflüssigkeit gerade noch an der Unterkante der Zylinderoberfläche ist u Füllen Sie Öl nach...
- Seite 16 Die zulässige Höchsttemperatur des eingesaugten Gases hängt vom l Sicherstellen, dass die “Erforderlichen Einbauvorschriften” Ansaugdruck und von der Art der angesaugten Gase ab. Je niedriger eingehalten werden und dass vor allem eine ausreichende Kühlung der Ansaugdruck (Pa), desto höher darf die Temperatur des gewährleistet ist eingesaugten Gases (TGas) sein.
- Seite 17 Wenn das System mit einem Magnetventil (Kundenoption) am Kühlwasserkreislauf ausgestattet ist: ACHTUNG u Schliessen Sie den Magnetventil Der « Load Lock »-Modus funktioniert nicht, wenn: l Sicherstellen, dass das System stromlos ist - Der Vorwärmzyklus nicht abgeschlossen ist. - Der Wartungsmodus aktiviert ist. Funktionsbeschreibung des Load Lock Modus: ACHTUNG...
- Seite 18 Standard-Betriebszeitplan Signal-Steuerungsmodus (Modus LL = EXTERN wählen) LCD Start oder Remote Start (Gerät→Pumpe) 1) Kaltstart Aufschub (5 Sek.) 50/60Hz Pumpen Trockenpumpe 90Hz 30Hz Booster 2) Aufschub MB Pumpe bereit Process ein Pumpenstopp Pumpenanlauf Bearbeitung Standard-Betriebszeitplan DS 3161 C Seite 18 0870739180 (De)
- Seite 19 Aktueller Steuerungsmodus (Modus LL = AUTO wählen) LCD Start oder Remote Start (Gerät→Pumpe) 1) Kaltstart Aufschub (5 Sek.) 50/60Hz Pumpen Trockenpumpe 90Hz 30Hz Booster 2) Aufschub MB Pumpe bereit Schliessen(off) Schliessen(off) offen(on) offen(on) offen(on) Schliessen(off) Kammer öffnen/ schliessen Pumpenstopp Pumenanlauf Bearbeitung DP Strom 35 A...
- Seite 20 (Kundenausstattung) ausgestattet ist: den Not-Ausschalter drücken l Untersuchen Sie die Vakuumpumpe auf Leckagen von Kühlwasser – wenn die Vakuumpumpe mit einem Hauptschalter - ist dies der Fall, reparieren Sie die Vakuumpumpe (Firma Busch) (Kundenausstattung) ausgestattet ist: den Hauptschalter ausschalten und verriegeln Monatlich: Stromversorgung kundenseitig ausschalten –...
- Seite 21 4 Jahren: u Prüfen Sie den Kondensatablauf l Das Öl entleeren (siehe “Öl entleeren”) l Entleeren Sie das Öl (siehe “Öl entleeren”) l Eine Hauptprüfung der Vakuumpumpe (Firma Busch) WY (MB) Vakuum-Booster Ausschalten Wartung Wenn der Ölstand den Zielkreis nicht erreicht: u Füllen Sie Öl nach (siehe “Öl nachfüllen”)
- Seite 22 Die Verschlussschrauben der Ölablassöffnungen (ODP) entfernen l Das Öl ablassen Wenn dunkel verfärbtes Öl ähnlich dem abgebildeten Beispiel Wenn der Ölfluss nachlässt: festgestellt wird, müssen Sie unverzüglich den Busch l Die Verschlussschrauben der Ölablassöffnungen (ODP) wieder Kundenservice kontaktieren. einsetzen Ölwechsel...
- Seite 23 Ölstand, Pumpe nicht in Betrieb Kühlflüssigkeit nachfüllen HINWEIS: Normalerweise muss ausserhalb der empfohlenen Wechselintervalle keine Kühlflüssigkeit nachgefüllt werden. Ein Sinken des Flüssigkeitsstandes weist auf eine Störung hin (siehe “Störungssuche”). l Sicherstellen, dass die Vakuumpumpe ausgeschaltet ist und das ein versehentliches Wiedereinschalten nicht möglich ist l Die Kühlflüssigkeitseinfüllschraube (CLF) an der oberen Seite des Zylinders öffnen l Kühlflüssigkeitsentleerungsschraube (CLV) an der Oberseite des...
- Seite 24 (”Declaration of Decontamination”), Formblatt bei Prüfen des Stickstoffs www.buschvacuum.com herunterladbar. Die Vakuumpumpe wird vom Busch Service nur mit einer vollständig Prüfen des Stickstoffdurchflusses ausgefüllten und mit einer rechtsverbindlichen Unterschrift versehenen Erklärung über die Kontaminierung (“Declaration of l Prüfen Sie regelmässig den Stickstoffdurchfluss...
- Seite 25 Zerlegung und Entsorgung GEFAHR Wenn die Vakuumpumpe Gase geführt hat, welche mit Fremdkörpern kontaminiert waren die gesundheitsgefährdend sind, so sind das Öl und das Kondensat ebenfalls mit diesen Fremdkörpern kontaminiert. Diese Fremdkörper können in Poren, Spalten und weitere interne Bereiche der Vakuumpumpe eindringen. Es besteht Gesundheitsgefahr während der Demontage der Vakuumpumpe.
- Seite 26 Ölsorte/ -menge Ölsorte l Sicherstellen, dass das Öl den angegebenen Daten entspricht: Busch YLC 250 B, Art. Nr. 0831 131 400 (0,5 l @ 1 kg) – WARNUNG Die Verwendung von chemisch verunreinigtem oder verschmutztem Öl kann zu einem gefährlichen Pumpenzustand führen der einen Personenschaden verursachen kann.
- Seite 27 Kühlflüssigkeitssorte/ -menge Kühlflüssigkeitssorte l Sicherstellen, dass die Kühlflüssigkeit den angegebenen Daten entspricht: Bezeichnung Zitrec M-25 (fertiggemisch) 20 l Gebinde 5 l Gebinde Teilenr. 0831 238 761 Teilenr. 0831 563 469 Kühlflüssigkeitsmenge Die in diesem Handbuch angegebene Kühlflüssigkeitsmenge ist ein Richtwert. Beachten Sie die Beschreibung des Füllvorgangs für die Kühlflüssigkeit. Menge Zitrec M-25 (bereits gemischt und fertiggemisch) DS 3161 C...
- Seite 28 Technische Daten Technische Daten DS 3161 C Nennsaugvermögen 60 Hz /h (cfm) 3200 (1883) 7,5 x 10 Torr Enddruck mbar 1,0 x 10 11,8 kW (MB: 90 Hz) Leistungsaufnahme 60 Hz kW im Leerlaufbetrieb beim Enddruck (MB: 30 Hz) 60 Hz Motorleistung 90 Hz 3600...
- Seite 29 Die vorliegende EU-Konformitätserklärung und die auf dem Typenschild angebrachte CE-Kennzeichnung gelten für die Maschine im Rahmen des Lieferumfangs von Busch. Die alleinige Verantwortung für die Ausstellung dieser Konformitätserklärung trägt der Hersteller. Wird die Maschine in eine übergeordnete Maschinenanlage integriert, muss der Hersteller dieser Anlage (ggf. das die Anlage betreibende Unternehmen) die übergeordnete Maschine bzw.
- Seite 30 Die vorliegende Konformitätserklärung und die auf dem Typenschild angebrachte UKCA-Kennzeichnung gelten für die Maschine im Rahmen des Lieferumfangs von Busch. Die alleinige Verantwortung für die Ausstellung dieser Konformitätserklärung trägt der Hersteller. Wird die Maschine in eine übergeordnete Maschinenanlage integriert, muss der Hersteller dieser Anlage (ggf. das die Anlage betreibende Unternehmen) der übergeordneten Maschine bzw.
- Seite 31 Hinweise Instruction Manual COBRA DS 3161 C_DE_de 31 | 32...
- Seite 32 Vacuum Solutions Mit einem Netzwerk aus mehr als 60 Gesellschaften in über 40 Ländern und Vertretungen weltweit ist Busch rund um den Globus präsent. In jedem Land verfügen wir über kompetentes, lokales Personal, das maßgeschneiderte Unterstützung anbietet und dabei von einem globalen Expertennetzwerk unterstützt wird. An jedem Ort. In jedem Industriezweig.