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Bestimmungsgemäße Verwendung
– Die Turbomolekularpumpe TMH 071 P/TMU 071 P darf nur
zur Vakuumerzeugung eingesetzt werden.
– Mit den Turbopumpen dürfen nur solche Medien gepumpt
werden, gegen die sie chemisch beständig sind. Bei ande-
ren Medien müssen die Pumpen für diese Prozesse durch
den Anwender qualifiziert werden.
– Bei Anfall von Prozessstaub sind prozessabhängige
Wartungsintervalle festzulegen und es ist Sperrgas zu
verwenden.
– Wird die Pumpe mit mehr als 50% der zulässigen Gaslast
betrieben, so ist Sperrgas zu verwenden.
– Die Turbopumpe muss an eine Vorvakuumpumpe nach
Abschnitt 3.3. angeschlossen sein.
– Zum Betrieb dürfen nur Netzteile von Pfeiffer Vacuum
verwendet werden. Verwendung anderer Netzteile nur in
Absprache mit dem Hersteller und Abgleich mit der
gültigen Spezifikation.
– Einsatz der Pumpen mit TC 100 nur bei Einhaltung der
Umgebungsbedingungen nach Schutzart IP 30.
Nicht bestimmungsgemäße Verwendung
Als nicht bestimmungsgemäß gilt u. a.:
– Das Pumpen von korrosiven oder explosiven Gasen,
– das Einsetzen der Pumpe in explosionsgefährdeten
Bereichen,
– das Einsetzen der Pumpen in radioaktiven Bereichen,
– das Pumpen von Gasen und Dämpfen, die die Materialien
der Pumpe angreifen,
– das Pumpen von korrosiven Gasen ohne Sperrgas,
– das Pumpen von kondensierenden Dämpfen,
– der Betrieb mit unzulässig hohen Gaslasten,
– der Betrieb mit falschen Gas-Mode,
– der Betrieb mit einer zu hohen eingestrahlten
Wärmeleistung (siehe 9. Technische Daten),
– der Einsatz in Umgebungen die eine Schutzart besser IP 30
verlangen,
– das Einsetzen der Pumpen in Anlagen von denen stoßarti-
ge Belastungen und Vibrationen oder periodische Kräfte
auf die Pumpe einwirken,
– der Betrieb ohne Kühleinrichtung,
– das Verwenden von anderen Netz- und Zubehörteilen, die
nicht in dieser Anleitung genannt werden oder mit dem
Hersteller nicht abgesprochen wurden.
Bei nicht bestimmungsgemäßem Einsatz erlischt jeglicher
Haftungs- und Gewährleistungsanspruch.
2.2. Unterschiede zwischen den Pumpen-
typen
Merkmal
TMH 071 P
HV-Flansch
ISO-KF / ISO-K
HV-Dichtung
Elastomer
< 1 · 10 -7 mbar
Erreichbarer
Enddruck
(ohne Ausheizen)
Abkürzungen auf dem Typenschild der Turbopumpe
Zusatz " " P P " " : Sperrgasanschluss zur Verhinderung des
Eindringens aggressiver Gase in den Motor-
und Lagerraum.
2.3. Lieferumfang
Turbomolekularpumpe mit:
- Antriebselektronik TC 100,
- Schutzdeckel für den Hochvakuumflansch,
- Schutzdeckel für den Vorvakuumflansch,
- Nur bei DN 63 ISO-K: 2 Klammerschrauben.
TMU 071 P
CF-F
Metall
< 5 · 10 -10 mbar
(mit Ausheizen)
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